【技术实现步骤摘要】
一种六氟丁二烯的除水装置及除水方法
本专利技术属于精细化工和环保领域，涉及一种六氟丁二烯的除水装置及除水方法。
技术介绍
在全球电子气体市场上，含氟电子气体约占30％，主要用作蚀刻剂和清洗剂，目前广泛使用的全氟烷烃类化合物虽然不破坏臭氧层，但是被认定为较强的温室气体，传统含氟电子气体的使用降火受到极大的限制。六氟丁二烯凭借各方面的优异性能成为传统含氟电子气体的最佳替代品之一，是具备多种含氟聚合物材料的单体，是一种绿色环保的高效干蚀刻气体。六氟丁二烯(HFBD)主要用作高选择性掺杂刻蚀气和低电阻率绝缘膜用化学气相沉积(CVD)气体，随着半导体工业的快速发展，对其纯度有了更高的要求，如要求其体积分数>99.999％通常需要进行精制。现有技术中精制HFBD的方式包括：1、用氧化铝或平均孔径为0.35-1.1nm的沸石做吸附剂来精制HFBD，但是容易导致产品吸附并重排为六氟-2-丁炔，同时体系温度和压力上升，也可以采用5A分子筛做吸附剂减少明显重排现象，同时脱除HFBD中的水、醇、HF及其他氟代...
【技术保护点】
1.一种六氟丁二烯的除水装置，其特征在于，包括：萃取精馏塔(1)和回收塔(5)；萃取精馏塔(1)下部设置第一入口(2)，中部设置第二入口(3)，顶部设置第一出口(4)，底部设置第二出口(5)；回收塔(6)中部设置第三入口(7)，上部设置第三出口(8)，底部设置第四出口(9)；/n萃取精馏塔(1)底部第二出口(5)与回收塔(6)中部第三入口(7)管线连接，回收塔(6)底部第四出口(9)与萃取精馏塔(1)第二入口(3)管线连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种六氟丁二烯的除水装置，其特征在于，包括：萃取精馏塔(1)和回收塔(5)；萃取精馏塔(1)下部设置第一入口(2)，中部设置第二入口(3)，顶部设置第一出口(4)，底部设置第二出口(5)；回收塔(6)中部设置第三入口(7)，上部设置第三出口(8)，底部设置第四出口(9)；
萃取精馏塔(1)底部第二出口(5)与回收塔(6)中部第三入口(7)管线连接，回收塔(6)底部第四出口(9)与萃取精馏塔(1)第二入口(3)管线连接。
2.一种六氟丁二烯的除水方法，其特征在于，包括下列步骤：
步骤1，将待除水的六氟丁二烯从萃取精馏塔(1)下部的第一入口(2)进料；
步骤2，将萃取剂从萃取精馏塔(1)中部第二入口(3)进料；
步骤3，进行萃取精馏后的六氟丁二烯从萃取精馏塔(1)顶...
【专利技术属性】
技术研发人员：张浩，徐海云，郑秋艳，张明杰，郭君，姚刚，赵星，胡帅，
申请(专利权)人：中国船舶重工集团公司第七一八研究所，
类型：发明
国别省市：河北;13
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