一种基于微纳光纤法布里珀罗双腔结构的多功能传感器制造技术

本发明专利技术属于传感器技术领域，具体涉及一种基于微纳光纤法布里珀罗双腔结构的多功能传感器，包括光源、微纳光纤、测量室、参考室、光电探测器，所述光源通过微纳光纤依次连接有测量室、参考室、光电探测器，所述微纳光纤上分别设置有测量腔和参考腔，所述测量腔设置在测量室的内部，所述参考腔设置在参考室的内部，所述光源发出的宽谱信号光耦合入微纳光纤，并经过测量腔和参考腔，最终由光电探测器接收并探测。本发明专利技术基于单根微纳光纤，结构简单，本发明专利技术直接在微纳光纤上制备谐振腔，避免光纤熔接、套装等复杂工艺；本发明专利技术利用双腔选频效应，便于集成，且避免了外接光谱仪等大型设备。本发明专利技术用于温度、湿度等多种物理变量的检测。

A multifunctional sensor based on Fabry Perot double cavity structure

【技术实现步骤摘要】
一种基于微纳光纤法布里珀罗双腔结构的多功能传感器
本专利技术属于传感器
，具体涉及一种基于微纳光纤法布里珀罗双腔结构的多功能传感器。
技术介绍
传感器作为信息处理系统中的重要组成元件，在通信技术、生物医药、国防科技等众多领域发挥着重要作用。相对于电学传感器，光学传感器具有灵敏度高、响应速度快、抗电磁干扰等优点，因此在极端环境下的物理量监测、实时测量等应用场景中展现出了巨大优势。其中，基于微纳光纤的传感器（CN109342363A_一种基于微纳光纤环的折射率传感器及其封装方法；CN105300926A_基于微光纤环谐振腔的折射率传感器；CN102621099A_一种微纳光纤折射率传感器及其制备方法）因其具有抗电磁干扰、机械性能优良、灵敏度高等优点，并在光通信、建筑工程等诸多领域展现出了良好的应用前景。其中，微纳光纤法布里珀罗光学传感器因其结构简单、尺寸小巧而备受关注。目前，微纳光纤法布里珀罗光学传感器主要由熔接光纤或空心管构成，基于单谐振腔结构（CN104880267A_一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器及其制作方法；CN101158本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于微纳光纤法布里珀罗双腔结构的多功能传感器，其特征在于：包括光源（1）、微纳光纤（2）、测量室（3）、参考室（4）、光电探测器（6），所述光源（1）通过微纳光纤（2）依次连接有测量室（3）、参考室（4）、光电探测器（6），所述微纳光纤（2）上分别设置有测量腔（21）和参考腔（22），所述测量腔（21）设置在测量室（3）的内部，所述参考腔（22）设置在参考室（4）的内部，所述光源（1）发出的宽谱信号光耦合入微纳光纤（2），并经过测量腔（21）和参考腔（22），最终由光电探测器（6）接收并探测。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于微纳光纤法布里珀罗双腔结构的多功能传感器，其特征在于：包括光源（1）、微纳光纤（2）、测量室（3）、参考室（4）、光电探测器（6），所述光源（1）通过微纳光纤（2）依次连接有测量室（3）、参考室（4）、光电探测器（6），所述微纳光纤（2）上分别设置有测量腔（21）和参考腔（22），所述测量腔（21）设置在测量室（3）的内部，所述参考腔（22）设置在参考室（4）的内部，所述光源（1）发出的宽谱信号光耦合入微纳光纤（2），并经过测量腔（21）和参考腔（22），最终由光电探测器（6）接收并探测。


2.根据权利要求1所述的一种基于微纳光纤法布里珀罗双腔结构的多功能传感器，其特征在于：所述光源（1）可采用LED光源、LD光源、ASE光源、SLD光源、超连续光源，所述光源（1）发出的宽谱信号光波长为500nm–1750nm，所述宽谱信号光的光谱半高宽不小于100nm。


3.根据权利要求1所述的一种基于微纳光纤法布里珀罗双腔结构的多功能传感器，其特征在于：所述微纳光纤（2）直径的范围为0.5–5μm，所述微纳光纤（2）通过光刻胶固定在氟化镁衬底上，所述氟化镁衬底上设置有浅槽，所述浅槽的宽度小于微纳光纤（2）的直径，所述浅槽的深度大于50nm、小于四分之一微纳光纤（2）直径，所述微纳光纤（2）固定在氟化镁衬底的浅槽内，所述光学胶折射率范围为1.1~1.5...

【专利技术属性】
技术研发人员：辛晨光，李孟委，金丽，张瑞，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：山西;14