一种透射电子显微镜样品杆制造技术

本实用新型专利技术实施例公开了一种透射电子显微镜样品杆，包括一端设置有电学接口的杆身，杆身的另一端设置有端头，端头上表面设置有测试芯片槽，测试芯片槽一侧的端头上安装有压片，压片表面中间沿长度方向上设置有压片槽口，压片通过设置在压片槽口中的定位螺栓安装在端头上；端头的下表面设置有接线板和导电针，导电针通过螺栓安装在接线板上，接线板通过导线与电学接口电性连接，压片设计到端头背面，从芯片背面压住芯片，芯片背面没有电极，避免了因端头设计不合理而造成限制芯片上的电极排布空间大情况，并且无论芯片有多厚，芯片上安置样品的位置都是固定的，因此可以根据需要设计并安置不同厚度的芯片。

A sample rod of TEM

【技术实现步骤摘要】
一种透射电子显微镜样品杆
本技术实施例涉及透射电子显微镜
，具体涉及一种透射电子显微镜样品杆。
技术介绍
透射电子显微镜可以在纳米尺度对材料、生物制品、工业制品等进行结构解析和形貌表征。随着透射电子显微镜技术的发展，人们不再仅仅满足于使用透射电镜“看”样品，而是希望能在“看”的同时对样品施加各种激励，从而实现对样品的原位表征。近几年来，利用MEMS微纳加工工艺制成的测试芯片开始逐渐被用于透射电镜中的原位观测。但是，由于人们测试的需求存在差异，并且使用的电子显微镜型号存在差异：(1)市面上存在各种长、宽、厚度各不相同的测试芯片常规利用芯片测试的透射电镜样品杆装样和电学导通的结构都在端头一侧，只能安放电极排布比较稀疏、集中的测试芯片。(2)由于透射电镜测试芯片必须被装样槽完全限制住才稳，因此芯片尺寸必须与装样槽一致才行，使得每一种测试芯片都需要搭配不同样品槽形状的样品杆，这导致了透射电镜用户往往需要配各种各样款式的的样品杆才能满足不同的芯片尺寸和测试需求。(3)透射电镜测试时需要聚焦，但电子束聚焦的Z轴方向往往本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种透射电子显微镜样品杆，包括一端设置有电学接口(3)的杆身(2)，其特征在于，所述杆身(2)的另一端设置有端头(1)，所述端头(1)上表面设置有测试芯片槽(101)，所述测试芯片槽(101)一侧的端头(1)上安装有压片(102)，所述压片(102)表面中间沿长度方向上设置有压片槽口(104)，且所述压片(102)通过设置在压片槽口(104)中的定位螺栓(103)安装在端头(1)上；/n所述端头(1)的下表面设置有接线板(105)和导电针(108)，所述导电针(108)通过螺栓(107)安装在接线板(105)上，所述接线板(105)通过与螺栓(107)配合的转轴(106)安装在端头(1)上...

【技术特征摘要】
1.一种透射电子显微镜样品杆，包括一端设置有电学接口(3)的杆身(2)，其特征在于，所述杆身(2)的另一端设置有端头(1)，所述端头(1)上表面设置有测试芯片槽(101)，所述测试芯片槽(101)一侧的端头(1)上安装有压片(102)，所述压片(102)表面中间沿长度方向上设置有压片槽口(104)，且所述压片(102)通过设置在压片槽口(104)中的定位螺栓(103)安装在端头(1)上；
所述端头(1)的下表面设置有接线板(105)和导电针(108)，所述导电针(108)通过螺栓(107)安装在接线板(105)上，所述接线板(105)通过与螺栓(107)配合的转轴(106)安装在端头(1)上，所述接线板(105)通过导线(109)与电学接口(3)电性连接。


2.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵晓灿，许智，
申请(专利权)人：安徽泽攸科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34