超纯水制造系统的微粒管理方法技术方案

子系统(1)具有：用于储存一次纯水(W)的子罐(2)、在该子罐(2)中储存的一次纯水(W)的供给线(3)的根端部设置的泵(4)、在该泵(4)的后段设置的热交换器(5)、低压紫外线(UV)照射氧化装置(6)、非再生型混床式离子交换装置(7)和作为微粒去除膜装置的超滤膜(UF膜)分离装置(8)。另外，连接有能分别切换至UF膜分离装置(8)的出口侧和非再生型混床式离子交换装置(7)的出口侧对微粒个数进行测量的机构即微粒计(PC)(9)。根据所述超纯水制造系统的微粒管理方法，能够将超纯水中的微粒个数维持在已被减少化后的状态下。

Particle management in ultra pure water manufacturing system

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】超纯水制造系统的微粒管理方法
本专利技术涉及超纯水制造系统的微粒管理方法，特别涉及能将超纯水中的微粒个数维持在已被减少化后的状态下的超纯水制造系统的微粒管理方法。
技术介绍
电子工业领域中使用的超纯水的制造装置大致分为：从工业用水、自来水等常用的水中去除悬浊物等的前处理装置；对前处理装置的处理水进行精制来制造去除了大部分杂质后的纯水的一次纯水装置；以及对一次纯水进一步高度地精制来制造几乎完全去除杂质后的超纯水的二次纯水装置(子系统)。其中，二次纯水装置(子系统)基本上作为基础构成具备分解有机物的低压紫外线(UV)照射氧化装置、填充了吸附去除离子型杂质的离子交换树脂的非再生型混床式离子交换装置以及用于完全去除微粒的超滤膜(UF膜)分离装置，将水的纯度进一步提高而制成超纯水。在此，在低压UV照射氧化装置中，通过低压UV灯发射的波长185nm的紫外线将TOC分解为有机酸并进一步成为CO2。分解生成的有机酸以及CO2通过后段的离子交换树脂被去除。在UF膜分离装置中，从离子交换树脂中流出的粒子等微小粒子被去除。如此地，以往通过在子系统的末端设置U本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超纯水制造系统的微粒管理方法，其是用子系统对由一次纯水系统制造的一次纯水进行处理的超纯水制造系统的微粒管理方法，所述子系统依次具备非再生型混床式离子交换装置和微粒去除膜装置，所述超纯水制造系统的微粒管理方法中，/n通过利用微粒个数测量机构测量所述微粒去除膜装置的出口的超纯水中的微粒个数来进行监控，/n另一方面，利用微粒个数测量机构测量所述非再生型混床式离子交换装置的处理水的微粒个数，当所述非再生型混床式离子交换装置的处理水的微粒个数超过了规定值时，更换所述非再生型混床式离子交换装置。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180207 JP 2018-0198531.一种超纯水制造系统的微粒管理方法，其是用子系统对由一次纯水系统制造的一次纯水进行处理的超纯水制造系统的微粒管理方法，所述子系统依次具备非再生型混床式离子交换装置和微粒去除膜装置，所述超纯水制造系统的微粒管理方法中，
通过利用微粒个数测量机构测量所述微粒去除膜装置的出口的超纯水中的微粒个数来进行监控，
另一方面，利用微粒个数测量机构测量所述非再生型混床式离子交换装置的处理水的微粒个数，当所述非再生型混床式离子交换装置的处理水的微粒个数超过了规定值时，更换所述非再生型混床式离子交换装置。


2.如权利要求1所述的超纯水制造系统的微粒管理方法，其中，所述子系统依次具备低压紫外线照射氧化装置、非再生型混床式离子交换装置和作为所述微粒去除膜装置的超滤膜分离装置。


3.如权利要求1所述的超纯水制造系统的微粒管理方法，其中，所述子系统依次具备低压紫外线照射氧化...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫地绿，宫崎洋一，
申请(专利权)人：栗田工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP