【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】激光加工装置
本专利技术涉及对透明基板上的薄膜进行图案加工的激光加工装置。
技术介绍
当在玻璃基板那样的透明基板上对薄膜图案进行激光加工的情况下，有时通过了该透明基板的激光束被载置该透明基板的载置台的正面吸收而在该载置台的正面上产生加工痕。当在载置台上产生加工痕时，会导致在透明基板背面上附着伤痕或灰尘从而影响品质。为了抑制在载置台上产生加工痕，以往在透明基板中的加工部位固定的情况下对与载置台的该加工部位对应的位置实施锪孔加工而减少激光束的影响，或者使载置台成为装卸式而定期地更换产生了加工痕的载置台，或者利用1000～2000根这样大量的支承销对透明基板进行支承而减少激光束的影响。专利文献1中记载了一种结构，其利用大量的由钼等构成的针状的支承销对透明基板进行支承而抑制激光束的影响。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开昭63-52790号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题但是，专利文献1所记载的结构存在如下的问题：分别调整大量的支承销的高度要花费工夫...
【技术保护点】
1.一种激光加工装置，其通过激光束照射而对透明基板上的薄膜进行图案加工，其特征在于，/n该激光加工装置具有：/n激光束照射部；以及/n载置台，其由顶板和底板构成，载置所述透明基板，/n所述顶板由使从所述激光束照射部照射的激光束透过的部件构成，并且具有对所述透明基板进行真空吸附的透明基板吸引路，/n所述底板具有：对所述顶板进行支承的顶板支承部；从正面下挖而得的开口部；以及与该开口部连接的顶板吸引路。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171115 JP 2017-2198031.一种激光加工装置，其通过激光束照射而对透明基板上的薄膜进行图案加工，其特征在于，
该激光加工装置具有：
激光束照射部；以及
载置台，其由顶板和底板构成，载置所述透明基板，
所述顶板由使从所述激光束照射部照射的激光束透过的部件构成，并且具有对所述透明基板进行真空吸附的透明基板吸引路，
所述底板具有：对所述顶板进行支承的顶板支承部；从正面下挖而得的开口部；以及与该开口部连接的顶板吸引路。
2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：和田浩光，村尾幸一，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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