一种提高温度稳定性的冰水系统技术方案

本实用新型专利技术公开的一种提高温度稳定性的冰水系统，包括依次连接的回水管路、一次侧供水部、冰水机组、二次侧供水部以及供水管路，二次侧供水部的末端设置有自动阀b，二次侧供水部靠近自动阀b的位置设置有温度传感器，回水管路还连接有冷却管路的一端，冷却管路的另一端连接于二次侧供水部上自动阀b和温度传感器之间，冷却管路上设置有自动阀a，一次侧供水部、二次侧供水部、自动阀a、自动阀b以及温度传感器均信号连接于中控室。本实用新型专利技术在冰水机组切换时，将经温度传感器检测温度不达标的冰水通过冷却管路重新回收到回水管路进行制冷，形成以切换机组为中心的局部循环，待水温达标后再汇入冰水供水管路，提高了冰水系统的温度稳定性。

An ice water system for improving temperature stability

【技术实现步骤摘要】
一种提高温度稳定性的冰水系统
本技术属于半导体生产设备
，具体涉及一种提高温度稳定性的冰水系统。
技术介绍
冰水系统在半导体洁净厂房能源动力PCW系统温度控制和洁净室厂房温度控制占有重要位置，PCW系统温度及半导体洁净厂房温度的稳定性取决于热交换的冰水流量及温度。但目前的冰水系统在冰水机组切换时会造成冰水系统温度波动，影响冰水系统温度的稳定性。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种提高温度稳定性的冰水系统，解决了目前的冰水系统在冰水机组切换时会造成冰水系统温度波动的问题。本技术所采用的技术方案是：一种提高温度稳定性的冰水系统，包括依次连接的回水管路、一次侧供水部、冰水机组、二次侧供水部以及供水管路，所述二次侧供水部的末端设置有自动阀b，所述二次侧供水部靠近自动阀b的位置设置有温度传感器，所述回水管路还连接有冷却管路的一端，所述冷却管路的另一端连接于所述二次侧供水部上自动阀b和温度传感器之间的位置，所述冷却管路上设置有自动阀a，所述一次侧供水部、二次侧供水部、自动阀a、自动阀b以及温度传感器均信号连接于所述冰水系统本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种提高温度稳定性的冰水系统，其特征在于，包括依次连接的回水管路、一次侧供水部、冰水机组、二次侧供水部以及供水管路，所述二次侧供水部的末端设置有自动阀b，所述二次侧供水部靠近自动阀b的位置设置有温度传感器，所述回水管路还连接有冷却管路的一端，所述冷却管路的另一端连接于所述二次侧供水部上自动阀b和温度传感器之间的位置，所述冷却管路上设置有自动阀a，所述一次侧供水部、二次侧供水部、自动阀a、自动阀b以及温度传感器均信号连接于所述冰水系统的中控室。/n

【技术特征摘要】
1.一种提高温度稳定性的冰水系统，其特征在于，包括依次连接的回水管路、一次侧供水部、冰水机组、二次侧供水部以及供水管路，所述二次侧供水部的末端设置有自动阀b，所述二次侧供水部靠近自动阀b的位置设置有温度传感器，所述回水管路还连接有冷却管路的一端，所述冷却管路的另一端连接于所述二次侧供水部上自动阀b和温度传感器之间的位置，所述冷却管路上...

【专利技术属性】
技术研发人员：张朋飞，
申请(专利权)人：陕西飞米企业管理合伙企业有限合伙，
类型：新型
国别省市：陕西;61