具有预先调整温度的卷带式覆晶薄膜测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种具有预先调整温度的卷带式覆晶薄膜测试装置，包含：一第一腔室，一覆晶薄膜进入或离开第一腔室，并于第一腔室中进行覆晶薄膜的测试；一温度调整腔，覆晶薄膜进入温度调整腔后，覆晶薄膜的温度获得预先调整至一第一设定温度；一温度回温腔，覆晶薄膜进入温度回温腔后，覆晶薄膜的温度获得回温至一第二设定温度；一通道，连通温度调整腔与温度回温腔，并让覆晶薄膜于通道中移动；以及一推板，推板预先调整至第一设定温度后，用以支撑通道中的覆晶薄膜，使通道中的覆晶薄膜于开口中测试区以接触一探针卡，并在测试规范温度中测试该覆晶薄膜；其中，第一腔室包覆温度调整腔、温度回温腔、通道、以及推板。

A test device with pre-set temperature for ribbon type coating film

【技术实现步骤摘要】
具有预先调整温度的卷带式覆晶薄膜测试装置
本专利技术关于一种卷带式覆晶薄膜(Chiponfilm，COF)测试装置，尤指一种具有预先调整温度的卷带式覆晶薄膜测试装置。
技术介绍
目前卷带式覆晶薄膜测试装置由于缺乏预先调整温度的机制，只针对推板(Pusherplate)进行温度调整，但由于覆晶薄膜为不易传导温度的材质，且推板接触覆晶薄膜时间极短，覆晶薄膜温度尚未达到预设温度时已测试完毕，故无法使覆晶薄膜真正在预设温度中进行测试。除此之外，在车用规范低温、或军用规范低温、或工业用规范低温下进行测试时，覆晶薄膜因冷凝水气造成结霜或结冰而导致测试不良、以及损坏覆晶薄膜及机台相关器件，也是欲解决的问题。
技术实现思路
本专利技术目的之一，在于提供预先调整温度与回温的机制。本专利技术目的之一，在于提供缓冲调整温度与回温的机制。本专利技术目的之一，可避免覆晶薄膜冷凝水气造成结霜或结冰。本专利技术目的之一，能使覆晶薄膜在测试规范温度范围内进行测试。本专利技术为一种具有预先调整温度的卷带式覆晶薄膜测试装置，包含：一第一腔室(Chamber)，一覆晶薄膜进入或离开第一腔室，并于第一腔室中进行覆晶薄膜的测试；一温度调整腔，覆晶薄膜进入温度调整腔后，覆晶薄膜的温度获得预先调整至第一设定温度；一温度回温腔，覆晶薄膜进入温度回温腔后，覆晶薄膜的温度获得回温至第二设定温度；一通道，连通温度调整腔与温度回温腔，并让覆晶薄膜于通道中移动；以及一推板(Pusherplate)，推板预先调整至第一设定温度后，用以支撑通道中的覆晶薄膜，使通道中的覆晶薄膜于开口中测试区以接触一探针卡，并在测试规范温度中测试该覆晶薄膜；其中，第一腔室包覆温度调整腔、温度回温腔、通道、以及推板。在本专利技术一实施例中，具有预先调整温度的卷带式覆晶薄膜测试装置更包含：一第二腔室，连通第一腔室并用以提供一干燥空气输入至第二腔室；一第三腔室，连通第一腔室，接收干燥空气，且第三腔室以供该温度调整腔的温度与湿度缓冲；一第四腔室，连通第一腔室，接收干燥空气，且第四腔室以供该温度回温腔的温度与湿度缓冲；其中，第一腔室接收干燥空气，且该第一腔室的侧壁与探针卡交界面具有一孔洞，孔洞被管路所衔接。附图说明图1A显示本专利技术具有预先调整温度的卷带式覆晶薄膜测试装置于一实施例的侧剖面示意图；图1B显示腔室A～E、管路T及孔洞H的立体示意图；图1C显示图1A虚框N处放大图；图1D显示图腔室A的立体示意图；图1E显示图1B移除管路T与感光器件(TestSideCCD)的侧面示意图；图1F为图1E的X区域放大图；图2显示温度调整腔A1与温度调整缓冲腔10、或温度回温腔A2与温度回温缓冲腔11透视图。附图标记说明100、装置；N、虚框；O、开口；A～E、腔室；MS1、MS2、主炼轮；COF、覆晶薄膜；A1、温度调整腔；A2、温度回温腔、101、通道；102、推板；SS1、SS2、TestSideCCD、副炼轮；P、感光器件；103、隔帘；K、底面；T、通管；H、孔洞；10、温度调整缓冲腔；11、温度回温缓冲腔；TZ、测试区；U1、U2、轮组；10-1～10-2、11-1～11-2、空间；X、区域；BM、正负离子源出口；TM、温度调整吹口。具体实施方式请参考图1A与图1B，图1A显示本专利技术具有预先调整温度的卷带式覆晶薄膜测试装置于一实施例的侧剖面示意图，图1B显示腔室A～E、管路T及孔洞H的立体示意图。在本专利技术一实施例中，具有预先调整温度的卷带式覆晶薄膜测试装置100包含：腔室A～E，其中，腔室E连通腔室A，腔室A连通腔室B～D，且腔室E用以提供一干燥空气输入。腔室D中置放有初始对位用的感光器件(AlignmentCCD)(图未示)、腔室E中置放校正测试位置用的感光器件(TestSideCCD)；由于感光器件(AlignmentCCD或TestSideCCD)需要处于干燥环境，腔室E因有干燥空气输入，故可维持腔室A～E内的空气干燥。其中，感光器件(AlignmentCCD)用以初始时测试探针的针尖对位于覆晶薄膜COF的接触点(InputPinorOutputPin)使用，其中接触点位本图未示出；感光器件(TestSideCCD)用以校正每一个覆晶薄膜COF的接触点位置使用。在本专利技术中，覆晶薄膜COF在腔室中移动的路线依序为腔室B、A、C；且腔室E位于腔室A的侧边，且腔室E通过一管路T连通腔室A；另外腔室B位于腔室A的上侧，腔室C位于腔室A的下侧，而腔室D与腔室E相对于腔室A设置于同一侧边。腔室A中包含有：两个主炼轮(MainSprocket)MS1与MS2、温度调整腔A1、温度回温腔A2、通道101、推板102；请注意，主炼轮MS1与MS2、温度调整腔A1、温度回温腔A2、通道101、推板102被腔室A所包覆。在本实施例中，测试规范温度为一车用规范低温、或军用规范低温、或工业用规范低温，为求简洁，本实施例用车用规范低温进行说明，但本专利技术不应以此为限。主炼轮MS1与MS2分别设置于推板102的两侧边，主炼轮MS1与MS2通过旋转使覆晶薄膜COF进入或离开腔室A；当覆晶薄膜COF进入腔室A的温度调整腔A1后，覆晶薄膜COF的温度在温度调整腔A1获得预先调整至一设定温度。在一实施例中，温度调整腔A1输入低温空气。通道101具有一开口O，如图1C的通道101放大图所示。其中，温度调整腔A1与温度回温腔A2的开口相对而设置，且通道101连通温度调整腔A1与温度回温腔A2，通道101的宽度与高度均大于覆晶薄膜COF的宽度与厚度。在本实施例中，温度调整腔A1与温度回温腔A2的开口位于同一铅垂线上。接着请同时参考图1D，推板102在测试过程中，推板102将预先调整至设定温度后，推板102用以支撑该通道中的覆晶薄膜COF，使覆晶薄膜COF抵靠推板102而平整，最后通道101中的覆晶薄膜COF于开口O中测试区TZ以接触一探针卡P，并在设定温度中测试覆晶薄膜COF；当测试完成后，覆晶薄膜COF移动至度温度回温腔A2进行温度回温，意即覆晶薄膜COF获得温度补偿回到接近常温，以避免覆晶薄膜COF立即接触腔室A或腔室A之外的温度，造成冷凝现象。本实施例中车用规范低温为-40～-55℃，亦即测试规范温度可实质上为-40～-55℃；因温度调整腔A1预先将覆晶薄膜COF进行降温至接近-65℃，当覆晶薄膜COF在温度调整腔A1降温后，主炼轮MS1与MS2进行旋转而连带使覆晶薄膜COF由上往向下移动至通道101内，且通道101为垂直地面；接着，推板102亦已预先降温至接近-65℃，已降温的推板102左移接触位于通道101内的覆晶薄膜COF，推板102用以支撑通道101中的覆晶薄膜C本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有预先调整温度的卷带式覆晶薄膜测试装置，其特征在于，所述装置包含：/n一第一腔室，一覆晶薄膜进入或离开所述第一腔室，并于所述第一腔室中进行所述覆晶薄膜的测试；/n一温度调整腔，所述覆晶薄膜进入所述温度调整腔后，所述覆晶薄膜的温度获得预先调整至一第一设定温度；/n一温度回温腔，所述覆晶薄膜进入所述温度回温腔后，所述覆晶薄膜的温度获得回温至一第二设定温度；/n一通道，连通所述温度调整腔与所述温度回温腔，并让所述覆晶薄膜于所述通道中移动；以及/n一推板，所述推板预先调整至所述第一设定温度后，用以支撑所述通道中的所述覆晶薄膜，使所述通道中的所述覆晶薄膜于一开口的一测试区以接触一探针卡，并在一测试规范温度中测试所述覆晶薄膜；/n其中，所述第一腔室包覆所述温度调整腔、所述温度回温腔、所述通道、以及所述推板。/n

【技术特征摘要】
20181023 TW 1071373591.一种具有预先调整温度的卷带式覆晶薄膜测试装置，其特征在于，所述装置包含：
一第一腔室，一覆晶薄膜进入或离开所述第一腔室，并于所述第一腔室中进行所述覆晶薄膜的测试；
一温度调整腔，所述覆晶薄膜进入所述温度调整腔后，所述覆晶薄膜的温度获得预先调整至一第一设定温度；
一温度回温腔，所述覆晶薄膜进入所述温度回温腔后，所述覆晶薄膜的温度获得回温至一第二设定温度；
一通道，连通所述温度调整腔与所述温度回温腔，并让所述覆晶薄膜于所述通道中移动；以及
一推板，所述推板预先调整至所述第一设定温度后，用以支撑所述通道中的所述覆晶薄膜，使所述通道中的所述覆晶薄膜于一开口的一测试区以接触一探针卡，并在一测试规范温度中测试所述覆晶薄膜；
其中，所述第一腔室包覆所述温度调整腔、所述温度回温腔、所述通道、以及所述推板。


2.根据权利要求1所述的具有预先调整温度的卷带式覆晶薄膜测试装置，其特征在于，所述装置更包含：
一第二腔室，连通所述第一腔室并用以提供一干燥空气输入至所述第二腔室，且所述第二腔室与所述第一腔室之间具有一管路；
一第三腔室，连通所述第一腔室，接收所述干燥空气，且所述第三腔室以供所述温度调整腔的温度与湿度缓冲；以及
一第四腔室，连通所述第一腔室，接收所述干燥空气，且所述第四腔室以供所述温度回温腔的温度与湿度缓冲；
其中，所述第一腔室接收所述干燥空气，且所述第一腔室的侧壁与所述探针卡交界面具有一孔洞，所述孔洞被所述管路所衔接。


3.根据权利要求2所述的具有预先调整温度的卷带式覆晶薄膜测试装置，其特征在于，所述第二腔室用以置放一第一感光器件。


4.根据权利要求3所述的具有预先调整温度的卷带式覆晶薄膜测试装置，其特征在于，所述第一腔室更包覆一温度调整缓冲腔与一温度回温缓冲腔，且所述温度调整缓冲腔输入一第...

【专利技术属性】
技术研发人员：甘中元，
申请(专利权)人：锋华科技股份有限公司，甘中元，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71