一种飞秒激光加工锥度可控的打孔装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种飞秒激光加工锥度可控的打孔装置，包括飞秒激光器和精密运动平台，所述精密运动平台的主轴上设有支撑机构，支撑机构的顶部设有夹具；所述飞秒激光器的输出端设有扩束器，所述扩束器的输出端设有反射镜，反射镜的输出端设有光束扫描模块，所述光束扫描模块的输出端设有半聚焦镜，半聚焦镜的输出端设有45度设置的半透反射镜，半透反射镜的反射输出端设有高精度三维在线监测模块，半透反射镜的透射输出端正对精密运动平台上的夹具。本实用新型专利技术通过高精度三维在线监测模块来对加工过程中的光束偏移量进行实时检测，并进行相应的调整，有效的提高加工质量与精度；此外本实用新型专利技术还具有加工精度高、稳定性高的优点。

A drilling device with controllable taper for femtosecond laser processing

【技术实现步骤摘要】
一种飞秒激光加工锥度可控的打孔装置
本技术涉及激光加工领域，特别涉及一种飞秒激光加工锥度可控的打孔装置。
技术介绍
在汽车行业中，燃油喷射结构中的喷油孔是直接影响内燃机燃烧性能的重要因数。喷孔的几何精度包括位置度、圆度、孔壁的表面粗糙度、孔的相关角度。喷油嘴的喷口锥度对燃油雾化有重要的影响，高度雾化的汽油燃烧效率高，节约燃油。另外，航空发动机叶片在高温燃气中高速旋转，承受气体负荷、质量负荷和热负荷，工作环境恶劣。在高温区工作的叶片叶身上有气膜孔，高温气流通过气膜孔在叶身表面形成快速流动的低温气膜，隔离高温燃气，对叶片起冷却保护作用。气膜孔加工极易产生再铸层，再铸层质量对叶片工作的可靠性和寿命影响很大。目前，用于锥孔加工的方法主要有四种：在变频或风动高速台上采用手工钻削；采用数控高速多轴钻床钻削；采用电火花喷孔机床加工喷孔；采用激光钻系统加工喷孔。但是，上述方法的缺点比较多。钻削加工工艺加工后喷孔毛刺较大、表面质量不好，加工小孔径、大深径比孔局限性等；电火花加工工艺，其加工孔径受电极丝限制，加工倒锥孔需要增加特殊机构且有不可避免的误差；激本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种飞秒激光加工锥度可控的打孔装置，包括飞秒激光器（1）和精密运动平台（2），所述精密运动平台（2）的主轴上设有支撑机构（3），支撑机构（3）的顶部设有夹具（4）；其特征在于：所述飞秒激光器（1）的输出端设有扩束器（5），所述扩束器（5）的输出端设有反射镜（6），反射镜（6）的输出端设有光束扫描模块（7），所述光束扫描模块（7）的输出端设有半聚焦镜（18），半聚焦镜（18）的输出端设有45度设置的半透反射镜（8），半透反射镜（8）的反射输出端设有高精度三维在线监测模块（9），半透反射镜（8）的透射输出端正对精密运动平台（2）上的夹具（4）。/n

【技术特征摘要】
1.一种飞秒激光加工锥度可控的打孔装置，包括飞秒激光器（1）和精密运动平台（2），所述精密运动平台（2）的主轴上设有支撑机构（3），支撑机构（3）的顶部设有夹具（4）；其特征在于：所述飞秒激光器（1）的输出端设有扩束器（5），所述扩束器（5）的输出端设有反射镜（6），反射镜（6）的输出端设有光束扫描模块（7），所述光束扫描模块（7）的输出端设有半聚焦镜（18），半聚焦镜（18）的输出端设有45度设置的半透反射镜（8），半透反射镜（8）的反射输出端设有高精度三维在线监测模块（9），半透反射镜（8）的透射输出端正对精密运动平台（2）上的夹具（4）。


2.根据权利要求1所述的飞秒激光加工锥度可控的打孔装置，其特征在于：所述光束扫描模块（7）包括位移光楔组和偏转光楔组，位移光楔组包括楔角相同的第一位移光楔（10）和第二位移光楔（11），第一位移光楔（10）和第二位移光楔（11）经上下直线运动机构联动；所述偏转光楔组包括楔角相同的第一偏转光楔（12）和第二偏转光楔（13），...

【专利技术属性】
技术研发人员：李峰平，冯光，李小刚，马光，薛遥，钟蓉，朱德华，庞继红，林礼区，卢成绩，
申请(专利权)人：温州大学，领伟创新智能系统浙江有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33