一种用于PECVD真空腔体的接地铜棒制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于PECVD真空腔体的接地铜棒，包括：圆柱形铜材质棒体及圆筒形棒套，棒体的外圆周上形成有环状第一法兰，棒套一端设置有第二法兰，棒套套在棒体上，第二法兰对应第一法兰，两者之间夹设有第二橡胶圈，使用卡箍同时套固在第一、第二法兰上，第二橡胶圈被两法兰密封压紧；使用时，棒套穿插固定在真空腔体的壁体上，棒体的一端连接一铜线与腔体内部的接地铜排相连接、另一端连接另一铜线接地。本实用新型专利技术采用铜棒从真空腔体内引出作为接地端，金属铜导电性能优越，可以有效传导对地电压；同时在铜棒上加工出法兰连接结构，棒套利用密封件与铜棒法兰密封连接，确保穿插真空腔体的密闭性以及安装的稳定性。

A kind of ground copper rod for PECVD vacuum cavity

【技术实现步骤摘要】
一种用于PECVD真空腔体的接地铜棒
本技术涉及一种接地结构，更具体地涉及一种用于PECVD真空腔体的接地铜棒。
技术介绍
PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)是指等离子体增强化学气相沉积法。弱光型非晶硅太阳能电池通常采用PECVD工艺生产，其中，现有的PECVD真空腔体的射频接地都是从真空腔体外壁引出，射频是一种频率较高的电磁频率，对地也会有一定的频率，但受真空腔体的材质影响，现有的接地效果不太理想，接地方式简陋、粗略。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是克服上述现有技术的不足，提供一种用于PECVD真空腔体的接地铜棒。本技术解决上述技术问题采用的技术方案是：一种用于PECVD真空腔体的接地铜棒，包括：圆柱形铜材质棒体及圆筒形棒套，棒体的外圆周上形成有环状第一法兰，棒套一端设置有第二法兰，棒套套在棒体上，第二法兰对应第一法兰，两者之间夹设有第二橡胶圈，使用卡箍同时套固在第一、第二法兰上，第二橡胶圈被两法兰密封压紧；使用时，棒套穿插固定在真空腔体的壁体上，棒体的一端连接一铜线与腔体内部的接地铜排相连接、另一端连接另一铜线接地。所述棒套由两部分组装而成，前部分呈中空的圆筒形结构，其一端设置有一圈前法兰，前法兰的环形折边上均匀开孔，后部分也呈中空的圆筒形结构，其一端设置有一圈后法兰，后法兰的环形折边上也均匀开孔，前、后法兰相互对接，使用螺纹件通过前、后法兰上的开孔插固连接。所述前法兰内圆周的端口上留有密封圈安装半槽位，所述后法兰内圆周的端口上也留有密封圈安装半槽位，两密封圈安装半槽位对接构成完整的密封圈安装槽，密封圈安装槽内装有第一橡胶圈，第一橡胶圈被前、后法兰密封压紧。所述棒体的一端开有叉口，叉口上插接一铜线与腔体内部的接地铜排相连接，棒体的另一端具有阶梯轴结构，且靠近端部的轴直径最大，棒体的阶梯轴端通过套固卡夹连接另一铜线直接接地，所述第一法兰设置在棒体的阶梯轴起始位置上。所述棒体由一根直径40mm的黄铜棒加工而成。所述棒套选用不锈钢材质。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术采用铜棒从真空腔体内引出作为接地端，金属铜导电性能优越，几乎优于所有的常见金属，可以有效传导对地电压；同时在铜棒上加工出法兰连接结构，棒套利用密封件与铜棒法兰密封连接，确保穿插真空腔体的密闭性以及安装的稳定性。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，其中：图1为本技术较佳实施例的结构示意图；图2为本技术较佳实施例的棒体结构图。具体实施方式下面将结合附图以及具体实施方式，对本技术做进一步描述。较佳实施例中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等用语，仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。请参见图1和图2，本技术较佳实施例设计的一种用于PECVD真空腔体的接地铜棒，其主要包括：棒体及棒套，下面具体描述各构件及连接关系。棒体1呈圆柱形，由一根直径40mm的黄铜棒加工而成。棒体1的一端开有叉口11，此端为插入真空腔体端，叉口11上插接一铜线，此铜线与腔体内部的接地铜排相连接。棒体1的另一端具有阶梯轴结构，且靠近端部的轴直径最大，在这一端部中心开有用于其他连接的孔，棒体1的阶梯轴端通过套固两个卡夹连接有另一铜线，此铜线直接接地。棒体1的阶梯轴起始位置的圆周上形成有环状第一法兰12，第一法兰12用于连接棒套。棒套是由两部分组装而成，前部分2呈中空的圆筒形结构，其一端设置有一圈前法兰21，前法兰21的环形折边上均匀开孔，前法兰21内圆周的端口上留有密封圈安装半槽位。后部分3也呈中空的圆筒形结构，其一端设置有一圈后法兰31，另一端设置有第二法兰32，后法兰31的环形折边上也均匀开孔，后法兰31内圆周的端口上也留有密封圈安装半槽位，前、后部分对接时，前法兰21对应后法兰31，两者的密封圈安装半槽位构成完整的密封圈安装槽，密封圈安装槽内装有第一橡胶圈，再使用螺纹件通过前、后法兰上的开孔插固连接，第一橡胶圈被前、后法兰密封压紧，从而将棒套组合完成。棒套连接棒体时，棒套套在棒体上，第二法兰32对应第一法兰12，两者之间夹设有第二橡胶圈，最后使用卡箍同时套固在第一、第二法兰的外圆周上，第二橡胶圈被第一、第二法兰密封压紧，从而将棒套套固在棒体上。棒套可以选用非铜的工业上常用的金属材质，例如不锈钢材质，强度及性能稳定性高。棒体是接地端，而棒套对棒体导电的影响应该是越小越好。使用时，棒套穿插固定在真空腔体的壁体上，棒体的叉口一端铜线连接接地铜排，棒体的阶梯轴一端铜线接地，实现有效传导对地电压，更安全、可靠、耐用。棒套的两部分及棒套对接棒体都采用密封连接安装方式，确保真空腔体的密封性，结构牢固、可靠。以上所述，仅是本技术的较佳实施例而已，并非对本技术作任何形式上的限制，任何本领域技术人员，在不脱离本技术技术方案范围内，依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本技术技术方案的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于PECVD真空腔体的接地铜棒，其特征在于，包括：圆柱形铜材质棒体及圆筒形棒套，棒体的外圆周上形成有环状第一法兰，棒套一端设置有第二法兰，棒套套在棒体上，第二法兰对应第一法兰，两者之间夹设有第二橡胶圈，使用卡箍同时套固在第一、第二法兰上，第二橡胶圈被两法兰密封压紧；使用时，棒套穿插固定在真空腔体的壁体上，棒体的一端连接一铜线与腔体内部的接地铜排相连接、另一端连接另一铜线接地。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于PECVD真空腔体的接地铜棒，其特征在于，包括：圆柱形铜材质棒体及圆筒形棒套，棒体的外圆周上形成有环状第一法兰，棒套一端设置有第二法兰，棒套套在棒体上，第二法兰对应第一法兰，两者之间夹设有第二橡胶圈，使用卡箍同时套固在第一、第二法兰上，第二橡胶圈被两法兰密封压紧；使用时，棒套穿插固定在真空腔体的壁体上，棒体的一端连接一铜线与腔体内部的接地铜排相连接、另一端连接另一铜线接地。


2.根据权利要求1所述的用于PECVD真空腔体的接地铜棒，其特征在于，所述棒套由两部分组装而成，前部分呈中空的圆筒形结构，其一端设置有一圈前法兰，前法兰的环形折边上均匀开孔，后部分也呈中空的圆筒形结构，其一端设置有一圈后法兰，后法兰的环形折边上也均匀开孔，前、后法兰相互对接，使用螺纹件通过前、后法兰上的开孔插固连接。


3.根据权利要求2所述的用于PECVD真空腔体的接地铜...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘海，刘亮，曾劲刚，
申请(专利权)人：深圳市辰翔新能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44