【技术实现步骤摘要】
一种宽谱高效率的超导纳米线单光子探测器
本专利技术涉及单光子探测器领域，尤其涉及一种宽谱高效率的超导纳米线单光子探测器。
技术介绍
超导材料的超低带隙能量使得超导纳米线单光子探测器(SNSPDs)在可见光波段至近红外光的宽谱波段都具有高效的探测能力。但直接制作在衬底上的SNSPDs对于入射光子的吸收很低，故SNSPDs需要额外的光学腔体结构来增强纳米线对于光子的吸收。带有光学腔体结构的SNSPDs在腔体谐振波长处可实现接近于100％的探测效率，但是SNSPDs本身的宽谱响应特性就会被腔体的窄带谐振特性所限制。在实际应用中探测器需要实现不同波长下的高效探测，如1064纳米处的卫星激光测距、1270纳米处的单线态分子氧荧光探测。为了实现不同波段下的高效探测，传统的单腔工艺需要制造具有不同腔体结构的多个芯片，以实现不同波长下的高效吸收，而这就额外增加了将SNSPDs应用于多个探测波长的复杂性。
技术实现思路
本专利技术提供了一种宽谱高效率的超导纳米线单光子探测器，本专利技术利用多谐振波长的组合光敏区技术...
【技术保护点】
1.一种宽谱高效率的超导纳米线单光子探测器，其特征在于，利用多谐振波长的组合光敏区技术，在单个超导纳米线单光子探测器上实现宽谱高效的探测，所述探测器包括：/n构建具有若干个光敏区的纳米线结构，将光敏区采用两两级联的结构；/n对上述每个光敏区分别添加不同的腔体结构，并对不同的腔体结构和对应的加工工艺进行设计，用以实现器件在可见光至近红外光波长范围内任一波段的高效吸收。/n
【技术特征摘要】
1.一种宽谱高效率的超导纳米线单光子探测器，其特征在于，利用多谐振波长的组合光敏区技术，在单个超导纳米线单光子探测器上实现宽谱高效的探测，所述探测器包括：
构建具有若干个光敏区的纳米线结构，将光敏区采用两两级联的结构；
对上述每个光敏区分别添加不同的腔体结构，并对不同的腔体结构和对应的加工工艺进行设计，用以实现器件在可见光至近红外光波长范围内任一波段的高效吸收。
2.根据权利要求1所述的一种宽谱高效率的超导纳米线单光子探测器，其特征在于，所述两两级联的结构具体为：
上下两个部分的光敏区域通过预设纳米宽的纳米线级联起来，而左右两侧级联的光敏区则通过另一预设宽的纳米线串联起来。
3.根据权利要求1或2所述的一种宽谱高效率的超导纳米线单光子探测器，其特征在于，所述纳米线为回形纳米线或分形纳米线。
4.根据权利要求1所述的一种宽谱高效率的超导纳米线单光...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡小龙，许亮，胡南，孟赟，邹锴，王昭，兰潇健，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：天津;12
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