用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置，包括容量槽、底座、支撑筛以及磁力搅拌子，其中，容量槽设有腔室以用于容纳待测溶液，支撑筛架设于容量槽的腔室中，磁力搅拌子放置于支撑筛上方以搅拌待测溶液，容量槽的底部设有与其腔室连通的开孔，容量槽与底座通过紧固件夹紧，容量槽的开孔处与底座之间用于夹紧基片，基片上布置有源漏极和沟道。本用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置，可用于半导体参数分析系统对栅极分离式液栅型晶体管传感器进行性能测试。

A test device for gate separated liquid gate transistor sensor

【技术实现步骤摘要】
用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置
本技术涉及电化学测试
，尤其涉及一种用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置。
技术介绍
栅极分离式液栅型晶体管传感器是目前传感器研究领域非常热门的一个分支。它结合了半导体、电化学和分析化学技术，利用场效应晶体管的自放大效应将电化学信号放大，能有效实现相比与传统电化学测试更精准更灵敏的测试；目前在生物分子识别，有毒化学物质检测，重金属离子检测，气体分子检测等领域研究火热，可以预见在不久将来，相关概念的商用产品将服务于人类生活的各个化学检测领域。因此，需要一种使用方便、操作简单的，能够把晶体管传感器稳定放置并方便后续溶液滴加等操作的测试样品台。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置，旨在适用于半导体参数分析系统对栅极分离式液栅型晶体管传感器进行性能测试。为实现上述目的，本技术提供一种用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置，包括容量槽、底座、支撑筛以及磁力搅拌子，其中，所述容量槽设有腔室以用于容纳待测溶液，支撑筛架设于容量槽的腔室中，磁力搅拌子放置于支撑筛上方以搅拌待测溶液，容量槽的底部设有与其腔室连通的开孔，容量槽与底座通过紧固件夹紧，容量槽的开孔处与底座之间用于夹紧基片，基片上布置有源漏极和沟道。优选地，所述基片的上方还设有硅胶垫圈，基片和硅胶垫圈被夹紧于容量槽与底座之间。优选地，所述容量槽底部设有两根自粘式铜箔作为电极的引出导线，两根自粘式铜箔分别与基片的源极和漏极连接。优选地，所述支撑筛的中部朝向底座一侧凹陷设置以供放置磁力搅拌子。优选地，所述容量槽和底座的高度方向上均设置有多个通孔，多个通孔在容量槽和底座的圆周方向均匀分布，螺栓依次穿过容量槽和底座的通孔将两者固定连接。优选地，所述容量槽的腔室包括由上至下同轴设置的第一空腔、第二空腔和第三空腔，其中，第一空腔和第三空腔均为圆柱体结构，第二空腔为圆台结构且其上表面面积大于下表面面积，支撑筛架设于第一空腔和第二空腔的边界处。优选地，所述第一空腔的底面直径大于第二空腔顶面直径以在第一空腔和第二空腔之间形成一台阶，支撑筛架的四周架设于台阶上。优选地，所述容量槽和底座均呈圆柱体结构。优选地，所述硅胶垫圈的内径大于容量槽上开孔的直径。优选地，所述支撑筛上的通孔分布有多圈。本技术提出的用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置，能较好固定栅极分离式液栅型晶体管传感器，并通过中置的磁力搅拌子适当搅拌，加快待测溶液的扩散，有利于检测的反应速度，能适用于半导体参数分析系统对栅极分离式液栅型晶体管传感器的检测性能测试。另外，本测试装置还具有结构简单、容易实现以及工作可靠的优点。附图说明图1为本技术用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置中容量槽的结构示意图；图2为本技术用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置中底座的结构示意图；图3为本技术用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置的立体结构示意图；图4为本技术用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置的俯视结构示意图；图5为图4所示的A-A方向的剖视结构示意图。图中，1-容量槽，2-底座，3-支撑筛，4-磁力搅拌子，5-螺栓，6-硅胶垫圈6，7-第一空腔，8-第二空腔，9-第三空腔。本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。具体实施方式应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。需要说明的是，在本技术的描述中，术语“横向”、“纵向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，并不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。参照图1至图5，本优选实施例中，一种用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置，包括容量槽1、底座2、支撑筛3以及磁力搅拌子4，其中，容量槽1设有腔室以用于容纳待测溶液，支撑筛3架设于容量槽1的腔室中，磁力搅拌子4放置于支撑筛3上方以搅拌待测溶液，容量槽1的底部设有与其腔室连通的开孔，容量槽1与底座2通过紧固件夹紧，容量槽1的开孔处与底座2之间用于夹紧基片，基片上布置有源漏极和沟道。进一步地，基片的上方还设有硅胶垫圈6，基片和硅胶垫圈6被夹紧于容量槽1与底座2之间。通过设置硅胶垫圈6，受到螺栓5的压力时能较好的密封基片与容量槽1底部的缝隙，防止漏液。容量槽1底部设有两根自粘式铜箔作为电极的引出导线，两根自粘式铜箔分别与基片的源极和漏极连接。进一步地，支撑筛3的中部朝向底座2一侧凹陷设置以供放置磁力搅拌子4，从而保证磁力搅拌子4在中间转动，不扰乱溶液。支撑筛3可以为圆形球面，材质为聚四氟乙烯，厚度为1mm，半径为19mm，中间部分相比于边缘凹陷1mm，支撑筛3上通孔孔径为3mm。本实施例中，容量槽1和底座2的高度方向上均设置有多个通孔，多个通孔在容量槽1和底座2的圆周方向均匀分布，螺栓5依次穿过容量槽1和底座2的通孔将两者固定连接。附图中以设置三个螺栓固定，容量槽1的腔室包括由上至下同轴设置的第一空腔7、第二空腔8和第三空腔9，其中，第一空腔7和第三空腔9均为圆柱体结构，第二空腔8为圆台结构且其上表面面积大于下表面面积，支撑筛3架设于第一空腔7和第二空腔8的边界处。第一空腔7的底面直径大于第二空腔8顶面直径以在第一空腔7和第二空腔8之间形成一台阶，支撑筛3架的四周架设于台阶上。第一空腔7为直径为20mm，高为25mm的圆柱，第二空腔8为顶面直径18mm，底面直径3mm的圆台，第三空腔9为直径为3mm，高1mm的圆柱。第一空腔7、第二空腔8和第三空腔9三段上下收尾相连贯穿部件。容量槽1和底座2均呈圆柱体结构。底座2为直径40mm，高7mm的圆柱体。容量槽1和底座2一起组成的测试台主体为圆柱形，整体直径40mm，高32mm。硅胶垫圈6的内径大于容量槽1上开孔的直径，从而有效避免在挤压后垫片挡住容量槽1底部孔，影响晶体管沟道实际与溶液的接触面积。本实施例中，硅胶垫圈6外径为12mm，内径4mm，厚度为1mm。支撑筛3上的通孔分布有多圈。本用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置其工作过程如下。1、在底座2上事先用自粘式铜箔做好电极的引出导线，再将布置有源漏极和沟道的基片放置于相应位置，保证源漏极电极分别接触两处铜箔，且沟道与垫片和容量槽1底孔对齐。2、底座2上方放置容量槽1，并通过螺栓5固定，力度适中，保证密封的前提下硅胶垫圈6不被本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置，其特征在于，包括容量槽、底座、支撑筛以及磁力搅拌子，其中，/n所述容量槽设有腔室以用于容纳待测溶液，支撑筛架设于容量槽的腔室中，磁力搅拌子放置于支撑筛上方以搅拌待测溶液，容量槽的底部设有与其腔室连通的开孔，容量槽与底座通过紧固件夹紧，容量槽的开孔处与底座之间用于夹紧基片，基片上布置有源漏极和沟道。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置，其特征在于，包括容量槽、底座、支撑筛以及磁力搅拌子，其中，
所述容量槽设有腔室以用于容纳待测溶液，支撑筛架设于容量槽的腔室中，磁力搅拌子放置于支撑筛上方以搅拌待测溶液，容量槽的底部设有与其腔室连通的开孔，容量槽与底座通过紧固件夹紧，容量槽的开孔处与底座之间用于夹紧基片，基片上布置有源漏极和沟道。


2.如权利要求1所述的用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置，其特征在于，所述基片的上方还设有硅胶垫圈，基片和硅胶垫圈被夹紧于容量槽与底座之间。


3.如权利要求1所述的用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置，其特征在于，所述容量槽底部设有两根自粘式铜箔作为电极的引出导线，两根自粘式铜箔分别与基片的源极和漏极连接。


4.如权利要求1所述的用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置，其特征在于，所述支撑筛的中部朝向底座一侧凹陷设置以供放置磁力搅拌子。


5.如权利要求1所述的用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置，其特征在于，所述容量槽和底座的高度方向上均设置有多个通...

【专利技术属性】
技术研发人员：常钢，马明宇，高难，周扬，陶甜，何云斌，
申请(专利权)人：湖北大学，
类型：新型
国别省市：湖北;42