外观检查装置及外观检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术提高检测工件的表面的异常的精度。一种检测工件(W)的外观的外观检查装置(500)，其检查工件(W)的外观，且包括：第一照明部(110)，其对工件(W)照射光；第一拍摄部(120)，其拍摄被第一照明部(110)照射的工件(W)；第一检测部(130)，其根据第一拍摄部(120)拍摄出的图像(P1)检测第一不良；第二照明部(210)，其对工件(W)照射光；第二拍摄部(220)，其拍摄被第二照明部(210)照射的工件(W)；以及第二检测部(230)，其根据第二拍摄部(220)拍摄出的图像检测第二不良，第一照明部(110)使用同轴落射照明，第二照明部(210)使用同轴落射照明及穹顶照明。

Appearance inspection device and method

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】外观检查装置及外观检查方法
本专利技术涉及一种外观检查装置及外观检查方法。
技术介绍
以往，已知一种使用同轴落射照明及穹顶照明的外观检查装置。例如，在专利文献1中公开了一种外观检查装置，其包括使用蓝色LED穹顶照明及蓝色LED同轴落射照明的拍摄单元和使用白色LED穹顶照明及白色LED同轴落射照明的拍摄单元。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2015-137921号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题近年来，在检查硬盘驱动器的基板的外观时，使用外观检查装置，检查的自动化被推进。作为外观检测装置，例如，应用上述的使用同轴落射照明及穹顶照明的外观检查装置。在通过铸造成形基板时，在基板的表面形成有皱纹、浅凹凸或粗糙面。以下，将形成于基板的表面的皱纹、浅凹凸或粗糙面总称为底纹。此外，底纹不是基板的外观的不良。在利用使用同轴落射照明及穹顶照明的外观检查装置检查基板的外观的情况下，在拍摄出的图像中，在基板的底纹产生的阴影被消除。通过基板的底纹被消除，能够仅检测基板的表面形状的异常。即，使用同轴落射照明及穹顶照明的外观检查装置能够检测基板的表面的缺损、表面涂层的剥落或毛刺。在此，表面涂层是指施加于基板表面的表面膜。该表面处理为了基板表面的防锈、绝缘以及防尘而进行。另一方面，例如，有时如粘接剂这样的附着于基板的表面的异物在拍摄出的图像中不能与基板的底纹区分开。也就是，在使用同轴落射照明及穹顶照明的外观检查装置中，在拍摄出的图像中，有时与因底纹而产生的阴影同等的阴影消失。其结果，在使用同轴落射照明及穹顶照明的外观检查装置中，有时无法检测附着于工件的表面的异物。鉴于上述问题，本专利技术的目的在于提高检测工件的表面的异常的精度。用于解决课题的方案本申请的示例性的一实施方式的外观检查装置为检查工件的外观的外观检查装置，其包括：第一照明部，其对上述工件照射光；第一拍摄部，其拍摄被上述第一照明部照射的上述工件；第一检测部，其根据上述第一拍摄部拍摄出的图像检测第一不良；第二照明部，其对上述工件照射光；第二拍摄部，其拍摄被上述第二照明部照射的上述工件；以及第二检测部，其根据上述第二拍摄部拍摄出的图像检测第二不良，上述第一照明部使用同轴落射照明，上述第二照明部使用同轴落射照明及穹顶照明。专利技术效果根据本申请的示例性的实施方式，能够在拍摄出的图像中检测难以与底纹区分开的附着于工件的表面的异物，并且在拍摄的图像中消除工件的底纹，检测工件的表面的异常。附图说明图1是外观检查装置的示意图。图2是第一照明部的示意图。图3是第二照明部的示意图。图4是表示搬送部的示意图。图5是硬盘驱动器的基板的俯视图。图6是表示外观检查工序的流程图。图7是表示在第一拍摄工序中拍摄出的图像的示意图。图8是表示在第二拍摄工序中拍摄出的图像的示意图。具体实施方式以下，参照附图，对本专利技术的实施方式进行说明。此外，本专利技术的范围不限于以下的实施方式，能够在本专利技术的技术思想的范围内任意地变更。在以下的说明中，在外观检查装置500中，将工件W被搬送的方向称为搬送方向。另外，将沿着搬送方向的一方称为上游侧，将另一方称为下游侧。而且，将与搬送方向正交的方向称为铅垂方向。在以下的说明中使用的附图由于强调特征部分的目的，有时为了便于说明将成为特征的部分放大表示。由此，各构成要素的尺寸及比率不一定与实际相同。另外，由于同样地目的，有时省略不是特征的部分而图示。＜1.外观检查装置＞使用图1～图3，对外观检查装置500进行说明。如图1所示，外观检查装置500是检查工件W的外观的装置。将工件W设为例如硬盘驱动器的基板。外观检查装置500包括第一检查部100、第二检查部200以及搬送部300。＜1－1.第一检查部＞如图1所示，第一检查部100使用同轴落射照明检查工件W的外观。第一检查部100包括第一照明部110、第一拍摄部120以及第一检测部130。第一检查部100设于第二检查部200的搬送方向的上游侧。第一检查部100和第二检查部200分别独立设置。第一检查部100与第二检查部200隔开预定距离设置。后述第一照明部110的详细的说明。第一拍摄部120拍摄被第一照明部110照射的工件W。例如将第一拍摄部120设为面阵传感器照相机。第一拍摄部120与第一检测部130电连接。第一检测部130根据第一拍摄部120拍摄的图像检测第一不良。第一检测部130为例如计算机系统，包括CPU(CentralProcessingUnit)、ROM(ReadOnlyMemory)、RAM(RandomAccessMemory)以及HDD(HardDiskDrive)。第一检测部130检测第一不良。第一不良包括附着于工件W的表面的异物。也就是，第一不良包括工件W的表面的底纹以外的异常。底纹例如包括在通过铸造成形基板时形成的皱纹、浅凹凸或粗糙面。此外，底纹不是工件W的外观的不良。＜1－1－1.第一照明部＞如图2所示，第一照明部110使用同轴落射照明。第一照明部110包括第一照明111、半反射镜112以及第一壳体113。第一照明部110经由半反射镜112从与第一拍摄部120的拍摄方向相同的轴上照射光。将第一拍摄部120的拍摄方向设为大致铅垂方向。第一照明111例如使用LED(LightEmittingDiode)照明。另外，第一照明111使用白色光。半反射镜112反射入射的光的一部分，且使一部分透过。半反射镜112设于第一壳体113的内部。半反射镜112朝向第一照明111及铅垂方向的下方相对于水平面倾斜大致45°。第一壳体113为箱体。第一壳体113包括第一开口部113A和第二开口部113B。第一开口部113A形成于第一壳体113的铅垂方向的上方。第二开口部113B形成于第一壳体113的铅垂方向的下方。通过设为这样的结构，在第一照明部110中，从第一照明111照射出的光被半反射镜112朝向铅垂方向的下方反射。被半反射镜112朝向铅垂方向的下方反射的光穿过第二开口部113B，被工件W镜面反射及漫反射。被工件W进行了镜面反射及漫反射的光穿过半反射镜112，穿过第一开口部113A，进入第一拍摄部120。这样，在第一照明部110中，能够用与第一拍摄部120的拍摄方向平行的光均匀地照射工件W，使工件W的底纹显露。即，工件W的表面平坦的部分变白，表面倾斜的部分变黑，能够将底纹描绘成阴影。在工件W产生有附着粘接剂的缺陷的情况下，在工件W的表面上，粘接剂的薄的层沿着表面形状附着。其结果，附着有粘接剂的部分比通常的(未附着粘接剂的)底纹的亮度暗。＜1－2.第二检查部＞如图1所示，第二检查部200使用同轴落射照明及穹顶照明检查工件W的外观。第二检查部200包括第二照明部210、第二拍摄部220以及第二检测部230。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种外观检查装置，其检查工件的外观，该外观检查装置的特征在于，包括：/n第一照明部，其对上述工件照射光；/n第一拍摄部，其拍摄被上述第一照明部照射的上述工件；/n第一检测部，其根据上述第一拍摄部拍摄出的图像检测第一不良；/n第二照明部，其对上述工件照射光；/n第二拍摄部，其拍摄被上述第二照明部照射的上述工件；以及/n第二检测部，其根据上述第二拍摄部拍摄出的图像检测第二不良，/n上述第一照明部使用同轴落射照明，/n上述第二照明部使用同轴落射照明及穹顶照明。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170928 JP 2017-1888531.一种外观检查装置，其检查工件的外观，该外观检查装置的特征在于，包括：
第一照明部，其对上述工件照射光；
第一拍摄部，其拍摄被上述第一照明部照射的上述工件；
第一检测部，其根据上述第一拍摄部拍摄出的图像检测第一不良；
第二照明部，其对上述工件照射光；
第二拍摄部，其拍摄被上述第二照明部照射的上述工件；以及
第二检测部，其根据上述第二拍摄部拍摄出的图像检测第二不良，
上述第一照明部使用同轴落射照明，
上述第二照明部使用同轴落射照明及穹顶照明。


2.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，
包括使上述工件朝向上述第二照明部上升或下降的升降部，
上述升降部设于上述第二照明部的铅垂方向的下方。


3.根据权利要求1或2所述的外观检查装置，其特征在于，
上述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：山田荣二，
申请(专利权)人：日本电产株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP