高低通分布式单谱段集成型光谱成像芯片结构制造技术

本发明专利技术属于光谱成像技术领域，具体涉及一种高低通分布式单谱段集成型光谱成像芯片结构。所述芯片结构采用RGBG对应滤波单元呈两行两列排列的拜耳阵列结构，在CMOS传感器对应像素上集成不同滤波器，由四个微型滤波单元构成一个周期，按照该结构进行周期排列，形成单谱段光谱成像芯片的结构。其中，在每个所述周期中，包含两个相同中心波长的FPI滤波单元以及高通滤波单元、低通滤波单元；本发明专利技术中像素级微小高通滤波及低通滤波单元作为单谱段光谱成像微系统芯片结构组成部分，相对于现有技术依赖不同滤波器，该发明专利技术结构的单谱段光谱成像微系统结构应用简单，且半导体集成微小滤波单元相对于分立滤波器而言，成本较低，制作工艺成熟。

High low pass distributed single segment integrated spectral imaging chip structure

【技术实现步骤摘要】
高低通分布式单谱段集成型光谱成像芯片结构
本专利技术属于光谱成像
，具体涉及一种高低通分布式单谱段集成型光谱成像芯片结构。
技术介绍
物质光谱是一种连续的电磁波谱，可以用于表征不同物质自身物理特性，对于不同的物质，其对不同谱段的电磁波存在吸收及反射差异，故其光谱存在差异。光谱测量是一种非接触式的物质实时鉴别方法，相对于传统气相色谱法、生物酶检测法等物质检测方法而言，具有响应快、不接触样本、精度较高等明显优势。故成为最具有潜力的物质检测方法之一。光谱成像技术是一种物质三维信息获取方式，在传统光谱测量的基础上，可以同时获取物质二维空间信息，因此，在食品安全、环境监测、军事反伪及医疗探测等诸多领域具有广泛的应用前景。采用光谱成像技术，可以对目标物的图像信息中的每个像素点的光谱特性进行分析，从而对目标物进行分类识别。传统的光谱成像系统结构复杂、体积质量大、设计成本及制造成本均较高，多为实验室中应用或星载遥感应用。为了克服传统光谱成像系统结构、体积及成本等因素对光谱成像技术应用推广的限制，人们开展了微小型光谱成像系统的研制，利用CM本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高低通分布式单谱段集成型光谱成像芯片结构，其特征在于，所述高低通分布式单谱段集成型光谱成像芯片结构采用RGBG对应滤波单元呈两行两列排列的拜耳阵列结构，在CMOS传感器对应像素上集成不同滤波器，由四个微型滤波单元构成一个周期，按照该结构进行周期排列，形成单谱段光谱成像芯片的结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种高低通分布式单谱段集成型光谱成像芯片结构，其特征在于，所述高低通分布式单谱段集成型光谱成像芯片结构采用RGBG对应滤波单元呈两行两列排列的拜耳阵列结构，在CMOS传感器对应像素上集成不同滤波器，由四个微型滤波单元构成一个周期，按照该结构进行周期排列，形成单谱段光谱成像芯片的结构。


2.如权利要求1所述的高低通分布式单谱段集成型光谱成像芯片结构，其特征在于，在每个所述周期中，包含两个相同中心波长的FPI滤波单元以及高通滤波单元、低通滤波单元；其中，
所述两个相同...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘舒扬，赵安娜，吕津玮，张晨，周涛，贾晓东，
申请(专利权)人：天津津航技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：天津;12