一种新型区熔单晶保温装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种新型区熔单晶保温装置，包括冷却水环和保温板，所述的保温板固定在冷却水环的下方；所述的保温板围绕呈锥形结构，所述的保温板的上部的直径为260‑280mm，且保温板的下部的直径为280‑320mm；所述的保温板包括保温环片和若干的保温锯齿，所述的保温环片固定在所述的冷却水环的下方，所述的保温锯齿固定在保温环片的下方，所述的保温锯齿之间设有缝隙。本实用新型专利技术所述的一种新型区熔单晶保温装置，锯齿状的金属板可以将原金属板内产生的涡流分散到若干个条状锯齿中，降低涡流大小，从而有效地降低保温装置因高频感应的涡流发热，冷却水可以降低保温装置因自身发热对单晶轴向温度梯度产生的影响。

A new type of heat preservation device for zone melting single crystal

【技术实现步骤摘要】
一种新型区熔单晶保温装置
本技术属于单晶硅保温
，尤其是涉及一种新型区熔单晶保温装置。
技术介绍
在区熔大直径单晶的生产保持的过程中，为了保证单晶轴向稳定合理的温度梯度，降低三相点的热应力与位错密度，减少位错发生，保温装置的设置是一个非常重要的环节。不合理的保温结构，会使单晶因轴向温度梯度过小而引起三相点位置位错密度急剧增大，造成单晶保持过程中断棱；反之，也会因为单晶轴向温度梯度增大，单晶三相界面热应力过大，而造成的单晶开裂。
技术实现思路
有鉴于此，本技术旨在提出一种新型区熔单晶保温装置，以有效地改善单晶断棱或开裂的现象。为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：一种新型区熔单晶保温装置，包括冷却水环和保温板，所述的保温板固定在冷却水环的下方；所述的保温板围绕呈锥形结构，所述的保温板的上部的直径为260-280mm，且保温板的下部的直径为280-320mm；所述的保温板包括保温环片和若干的保温锯齿，所述的保温环片固定在所述的冷却水环的下方，所述的保温锯齿固定在保温环片的下方，所述的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型区熔单晶保温装置，其特征在于：包括冷却水环和保温板，所述的保温板固定在冷却水环的下方；/n所述的保温板围绕呈锥形结构，所述的保温板的上部的直径为260-280mm，且保温板的下部的直径为280-320mm；/n所述的保温板包括保温环片和若干的保温锯齿，所述的保温环片固定在所述的冷却水环的下方，所述的保温锯齿固定在保温环片的下方，所述的保温锯齿之间设有缝隙。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型区熔单晶保温装置，其特征在于：包括冷却水环和保温板，所述的保温板固定在冷却水环的下方；
所述的保温板围绕呈锥形结构，所述的保温板的上部的直径为260-280mm，且保温板的下部的直径为280-320mm；
所述的保温板包括保温环片和若干的保温锯齿，所述的保温环片固定在所述的冷却水环的下方，所述的保温锯齿固定在保温环片的下方，所述的保温锯齿之间设有缝隙。


2.根据权利要求1所述的新型区熔单晶保温装置，其特征在于：所述的保温板的厚度为1-2mm。


3.根据权利要求1所述的新型区熔单晶保温装置，其特征在于：所述的保温锯齿与水平面之间的夹角为75-80...

【专利技术属性】
技术研发人员：万静，王遵义，郝大伟，刘琨，吴磊，李皓，刘承劼，代常雷，
申请(专利权)人：天津中环领先材料技术有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12