一种新型区熔单晶保温装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种新型区熔单晶保温装置，包括冷却水环和保温板，所述的保温板固定在冷却水环的下方；所述的保温板围绕呈锥形结构，所述的保温板的上部的直径为260‑280mm，且保温板的下部的直径为280‑320mm；所述的保温板包括保温环片和若干的保温锯齿，所述的保温环片固定在所述的冷却水环的下方，所述的保温锯齿固定在保温环片的下方，所述的保温锯齿之间设有缝隙。本实用新型专利技术所述的一种新型区熔单晶保温装置，锯齿状的金属板可以将原金属板内产生的涡流分散到若干个条状锯齿中，降低涡流大小，从而有效地降低保温装置因高频感应的涡流发热，冷却水可以降低保温装置因自身发热对单晶轴向温度梯度产生的影响。

A new type of heat preservation device for zone melting single crystal

【技术实现步骤摘要】
一种新型区熔单晶保温装置
本技术属于单晶硅保温
，尤其是涉及一种新型区熔单晶保温装置。
技术介绍
在区熔大直径单晶的生产保持的过程中，为了保证单晶轴向稳定合理的温度梯度，降低三相点的热应力与位错密度，减少位错发生，保温装置的设置是一个非常重要的环节。不合理的保温结构，会使单晶因轴向温度梯度过小而引起三相点位置位错密度急剧增大，造成单晶保持过程中断棱；反之，也会因为单晶轴向温度梯度增大，单晶三相界面热应力过大，而造成的单晶开裂。
技术实现思路
有鉴于此，本技术旨在提出一种新型区熔单晶保温装置，以有效地改善单晶断棱或开裂的现象。为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：一种新型区熔单晶保温装置，包括冷却水环和保温板，所述的保温板固定在冷却水环的下方；所述的保温板围绕呈锥形结构，所述的保温板的上部的直径为260-280mm，且保温板的下部的直径为280-320mm；所述的保温板包括保温环片和若干的保温锯齿，所述的保温环片固定在所述的冷却水环的下方，所述的保温锯齿固定在保温环片的下方，所述的保温锯齿之间设有缝隙。进一步的，所述的保温板的厚度为1-2mm。进一步的，所述的保温锯齿与水平面之间的夹角为75-80°。进一步的，所述的冷却水环围绕形成圆环状结构。进一步的，所述的冷却水环设有进水口和出水口，所述的进水口和出水口分别位于冷却水环的两端。进一步的，所述的冷却水环与保温板的材质均为金属。进一步的，所述的保温板的材质为铜或钼。进一步的，所述的冷却水环的材质为铜。相对于现有技术，本技术所述的一种新型区熔单晶保温装置具有以下优势：(1)本技术所述的一种新型区熔单晶保温装置，锯齿状的金属板可以将原金属板内产生的涡流分散到若干个条状锯齿中，降低涡流大小，从而有效地降低保温装置因高频感应的涡流发热，冷却水可以降低保温装置因自身发热对单晶轴向温度梯度产生的影响。(2)本技术所述的一种新型区熔单晶保温装置，通过10-15°的锯齿金属板倾斜角度，可以增大金属板反射的热辐射对单晶的作用区域，降低单晶轴向温度梯度，进而让单晶熔区维持在稳定的结晶状态，有效地改善了单晶断棱或开裂的现象。附图说明构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1为本技术实施例所述的保温装置的结构示意图；图2为本技术实施例所述的保温装置的侧视图；图3为本技术实施例所述的保温装置使用状态示意图。附图标记说明：1、冷却水环；11、进水口；12、出水口；2、保温板；21、保温环片；22、保温锯齿；23、缝隙；3、单晶。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。如图1-3所示，一种新型区熔单晶保温装置，包括冷却水环1和保温板2，所述的保温板2固定在冷却水环1的下方；所述的保温板2围绕呈锥形结构，所述的保温板2的上部的直径为260-280mm，且保温板2的下部的直径为280-320mm；保温板2上部的直径与冷却水环1的直径相同。所述的保温板2包括保温环片21和若干的保温锯齿22，所述的保温环片21固定在所述的冷却水环1的下方，所述的保温锯齿22固定在保温环片21的下方，所述的保温锯齿22之间设有缝隙23。保温锯齿22可以将原金属板(原金属板为一块完成的金属平板)内产生的涡流分散到若干个条状锯齿中，降低涡流大小，从而有效地降低保温装置因高频感应的涡流发热，冷却水可以降低保温装置因自身发热对单晶3轴向温度梯度产生的影响。所述的保温板2的厚度为1-2mm。所述的保温锯齿22与水平面之间的夹角为75-80°。通过10-15°的保温锯齿22倾斜角度，可以增大保温板2反射的热辐射对单晶3的作用区域，降低单晶3轴向温度梯度，进而让单晶3熔区维持在稳定的结晶状态，有效地改善了单晶3断棱或开裂的现象。所述的冷却水环1围绕形成圆环状结构。所述的冷却水环1设有进水口11和出水口12，所述的进水口11和出水口12分别位于冷却水环1的两端。冷却水由进水口11加入冷却水环1，冷却完形成的废水再由出水口12排出冷却水环1。所述的冷却水环1与保温板2的材质均为金属。所述的保温板2的材质为铜或钼。所述的冷却水环1的材质为铜。使用时，将保温装置套在单晶3的外侧，并保持冷却水环1在上，保温板2在下的状态，由进水口11不断的向冷却水环1内通入冷却水，进而降低保温装置因自身发热对单晶3轴向温度梯度产生的影响。同时利用倾斜的保温锯齿22让单晶3熔区维持在稳定的结晶状态，改善单晶3断棱或开裂的现象。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型区熔单晶保温装置，其特征在于：包括冷却水环和保温板，所述的保温板固定在冷却水环的下方；/n所述的保温板围绕呈锥形结构，所述的保温板的上部的直径为260-280mm，且保温板的下部的直径为280-320mm；/n所述的保温板包括保温环片和若干的保温锯齿，所述的保温环片固定在所述的冷却水环的下方，所述的保温锯齿固定在保温环片的下方，所述的保温锯齿之间设有缝隙。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型区熔单晶保温装置，其特征在于：包括冷却水环和保温板，所述的保温板固定在冷却水环的下方；
所述的保温板围绕呈锥形结构，所述的保温板的上部的直径为260-280mm，且保温板的下部的直径为280-320mm；
所述的保温板包括保温环片和若干的保温锯齿，所述的保温环片固定在所述的冷却水环的下方，所述的保温锯齿固定在保温环片的下方，所述的保温锯齿之间设有缝隙。


2.根据权利要求1所述的新型区熔单晶保温装置，其特征在于：所述的保温板的厚度为1-2mm。


3.根据权利要求1所述的新型区熔单晶保温装置，其特征在于：所述的保温锯齿与水平面之间的夹角为75-80...

【专利技术属性】
技术研发人员：万静，王遵义，郝大伟，刘琨，吴磊，李皓，刘承劼，代常雷，
申请(专利权)人：天津中环领先材料技术有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12