一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及机械设备技术领域，尤其为一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置，包括底座，所述底座上端开设有放置槽，且放置槽的上方平行设有吸附板，所述吸附板内设有空腔，且吸附板位于放置槽的表面安装有吸盘，所述吸盘与空腔连通，所述吸附板的上端平行设有移动板，所述移动板和吸附板之间通过电动伸缩杆连接。本实用新型专利技术通过在底座上方设置吸附板，并将吸附板可伸缩的安装在移动板上，同时利用制动盒内的电机和丝杆控制移动板的左右移动，使用过程中，采用吸附板将硅片吸附后移动到底座的放置槽内，该种方式改变了传统再用手工将硅片r放入花篮内带来的效率低下问题，一次可放入多组，提高工作效率。

An 8-inch open flower basket base device for 12 inch equipment

【技术实现步骤摘要】
一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置
本技术涉及机械设备
，具体为一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置。
技术介绍
在集成电路芯片的生产过程中，芯片的设计图形在硅片表面光刻胶上的曝光转印(光刻)是其中最重要的工序之一，该工序所用的设备称为光刻机(曝光机)。光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。而光刻机对硅片进行表面光刻时，需要将硅片从放入到花篮底座内，现有的一般采用人工手工放入，该种方式造成效率低下，且人工支出的费用大，提高了成本支出，因此，针对上述问题提出一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置，包括底座，所述底座上端开设有放置槽，且放置槽的上方平行设有吸附板，所述吸附板内设有空腔，且吸附板位于放置槽的表面安装有吸盘，所述吸盘与空腔连通，所述吸附板的上端平行设有移动板，所述移动板和吸附板之间通过电动伸缩杆连接，且吸附板的中间位置设有伸缩软管，所述移动板的一侧焊接有支撑杆，所述支撑杆连接在制动盒，以及制动盒安装在底座侧边。进一步地，所述支撑杆并排设有两组，且支撑杆与移动板垂直设置。进一步地，所述支撑杆之间设有抽风机，所述抽风机的输出端连接管道，所述管道的另一端贯穿移动板。进一步地，所述管道与伸缩软管连通。进一步地，所述制动盒内设有移动腔，以及移动腔内的一端安装有电机，所述电机的输出轴连接丝杆，且丝杆上螺纹连接有螺纹环，所述制动盒的上端面开设有连通移动腔的开口滑动槽，所述支撑杆穿过与螺纹环焊接。与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：1、本技术通过在底座上方设置吸附板，并将吸附板可伸缩的安装在移动板上，同时利用制动盒内的电机和丝杆控制移动板的左右移动，使用过程中，采用吸附板将硅片吸附后移动到底座的放置槽内，该种方式改变了传统再用手工将硅片r放入12英寸的花篮内带来的效率低下问题，一次可放入多组，提高工作效率。2、本技术通过在吸附板上述设置多组吸盘，并将吸附板连接吸盘的空腔与抽风机连接，使用时，将吸盘与硅片接触，然后在抽风机的作用下，将吸盘与硅片之间的空气抽走，两者之间产生吸附力，从而硅片吸起移动，该种方式不易损坏硅片的表面。附图说明图1为本技术一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置的整体结构示意图。图2为本技术一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置的侧视结构示意图。图3为本技术一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置的吸附板结构示意图。图中：1-底座；2-放置槽；3-制动盒；4-丝杆；5-螺纹环；6-开口滑动槽；7-支撑杆；8-抽风机；9-管道；10-移动板；11-电动伸缩杆；12-吸附板；13-伸缩软管；14-电机；15-移动腔；16-吸盘；17-空腔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置，包括底座1，所述底座1上端开设有放置槽2，且放置槽2的上方平行设有吸附板12，所述吸附板12内设有空腔17，且吸附板12位于放置槽2的表面安装有吸盘16，所述吸盘16与空腔17连通，所述吸附板12的上端平行设有移动板10，所述移动板10和吸附板12之间通过电动伸缩杆11连接，且吸附板12的中间位置设有伸缩软管13，所述移动板10的一侧焊接有支撑杆7，所述支撑杆7连接在制动盒3，以及制动盒3安装在底座1侧边。本实施例中(如图1-3所示)，通过在底座1上方设置吸附板12，并将吸附板12可伸缩的安装在移动板10上，同时利用制动盒3控制移动板10的左右移动，使用过程中，采用吸附板12将硅片吸附后移动到底座1的放置槽2内，该种方式改变了传统再用手工将硅片r放入12英寸的花篮内带来的效率低下问题，一次可放入多组，提高工作效率。其中，所述支撑杆7并排设有两组，且支撑杆7与移动板10垂直设置。本实施例中(如图2所示)，提供良好的支撑力。其中，所述支撑杆7之间设有抽风机8，所述抽风机8的输出端连接管道9，所述管道9的另一端贯穿移动板10。本实施例中(如图1-2所示)，利用抽风机8产生的吸附力来固定硅片。其中，所述管道9与伸缩软管13连通。本实施例中(如图1-2所示)，便于将吸附板12与抽风机8连通。其中，所述制动盒3内设有移动腔15，以及移动腔15内的一端安装有电机14，所述电机14的输出轴连接丝杆4，且丝杆4上螺纹连接有螺纹环5，所述制动盒3的上端面开设有连通移动腔15的开口滑动槽6，所述支撑杆7穿过与螺纹环5焊接。本实施例中(如图1所示)，便于利用制动盒3带动移动板10的移动。本技术工作流程：需要说明的是，本技术为一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置，由于吸附板12利用电动伸缩杆11安装在移动板10上，且移动板10利用支撑杆7滑动连接在制动盒3上，工作时，将需要放置到花篮底座装置的硅片排列在底座1一侧，然后启动制动盒3内的电机14，利用电机14的转动带动丝杆4的转动，从而与丝杆4连接的螺纹环5和支撑杆7开始移动，当支撑杆7顶端的移动板10上的吸附板12移动到硅片上方后，启动电动伸缩杆11，利用电动伸缩杆11带动吸附板12下移，使得吸附板12上的吸盘16与硅片接触，开启抽风机8，利用抽风机8将吸盘16与硅片之间的空气抽走，从而将吸盘16将硅片吸附固定，然后利用电动伸缩杆11回缩吸附板12，再次利用制动盒3带动移动板10移动到底座1放置槽2的上方，利用电动伸缩杆11下移吸附板12，使得吸附板12上吸附的硅片与放置槽2接触，切断抽风机8，使得吸盘16与硅片之间空气回流，失去吸附力，该种方式可一次吸附多组硅片，提高工作效率，且吸盘16不易损坏硅片，改变了传统采用手工将硅片r放入12英寸的花篮内带来的效率低下问题。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上端开设有放置槽(2)，且放置槽(2)的上方平行设有吸附板(12)，所述吸附板(12)内设有空腔(17)，且吸附板(12)位于放置槽(2)的表面安装有吸盘(16)，所述吸盘(16)与空腔(17)连通，所述吸附板(12)的上端平行设有移动板(10)，所述移动板(10)和吸附板(12)之间通过电动伸缩杆(11)连接，且吸附板(12)的中间位置设有伸缩软管(13)，所述移动板(10)的一侧焊接有支撑杆(7)，所述支撑杆(7)连接在制动盒(3)，以及制动盒(3)安装在底座(1)侧边。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上端开设有放置槽(2)，且放置槽(2)的上方平行设有吸附板(12)，所述吸附板(12)内设有空腔(17)，且吸附板(12)位于放置槽(2)的表面安装有吸盘(16)，所述吸盘(16)与空腔(17)连通，所述吸附板(12)的上端平行设有移动板(10)，所述移动板(10)和吸附板(12)之间通过电动伸缩杆(11)连接，且吸附板(12)的中间位置设有伸缩软管(13)，所述移动板(10)的一侧焊接有支撑杆(7)，所述支撑杆(7)连接在制动盒(3)，以及制动盒(3)安装在底座(1)侧边。


2.根据权利要求1所述的一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置，其特征在于：所述支撑杆(7)并排设有两组，且支撑杆(7)与移动板(10)垂直设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱倩倩，江董玉，宋佳娜，
申请(专利权)人：无锡职业技术学院，
类型：新型
国别省市：江苏;32