一种晶圆参数测量仪预定位校准台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆参数测量仪预定位校准台，包括机座和支撑台，所述机座顶端固定连接有支撑台，所述支撑台顶端固定设有校准台，所述校准台顶端固定设有承载台，所述承载台内侧壁固定连接有支撑板，所述支撑板表面固定连接有缓冲层，所述承载台两侧均固定连接有内螺纹套筒，所述内螺纹套筒内部活动连接有一号螺纹柱，所述校准台顶部固定设有滑动槽，所述滑动槽内部滑动连接有滑动凸起，所述支撑台内部固定连接有轴承。本实用新型专利技术设计新颖，结构简单，便于操作人员对晶圆进行校准，从而能够有效的提升装置在对晶圆进行测量时的准确度，且操作较为简单，便于操作人员对装置进行使用，进一步提升了装置的实用性能，适合被广泛推广和使用。

A pre positioning calibration platform for wafer parameter measuring instrument

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆参数测量仪预定位校准台
本技术涉及一种晶圆，特别涉及一种晶圆参数测量仪预定位校准台。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。而现有的装置在对晶圆进行测量时不能对晶圆进行良好的校准，从而导致装置对晶圆测量的数据具有较大的误差，且不具有良好的稳定性，使晶圆在装置内部较为容易出现位移现象，从而不利于装置对晶圆进行测量，已经满足不了人们的需求，为此，我们提出一种晶圆参数测量仪预定位校准台。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种晶圆参数测量仪预定位校准台，设计新颖，结构简单，便于操作人员对晶圆进行校准，从而能够有效的提升装置在对晶圆进行测量时的准确度，且操作较为简单，便于操作人员对装置进行使用，进一步提升了装置的实用性能，适合被广泛推广和使用，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种晶圆参数测量仪预定位校准台，包括机座和支撑台，所述机座顶端固定连接有支撑台，所述支撑台顶端固定设有校准台，所述校准台顶端固定设有承载台，所述承载台内侧壁固定连接有支撑板，所述支撑板表面固定连接有缓冲层，所述承载台两侧均固定连接有内螺纹套筒，所述内螺纹套筒内部活动连接有一号螺纹柱，所述校准台顶部固定设有滑动槽，所述滑动槽内部滑动连接有滑动凸起，所述支撑台内部固定连接有轴承，所述轴承内部转动连接有二号螺纹柱，所述校准台底端固定连接有内螺纹板。>进一步地，所述承载台一侧固定设有支撑杆，且支撑杆与机座固定连接，所述支撑杆一侧壁固定连接有测量箱，所述测量箱底端活动连接有测量头。进一步地，所述支撑台两侧均固定设有限位板，所述二号螺纹柱一端固定连接有转动把手，所述机座一侧壁固定设有操作按键。进一步地，所述承载台通过滑动槽和滑动凸起与校准台滑动连接，所述二号螺纹柱贯穿内螺纹板内部，所述校准台通过二号螺纹柱和内螺纹板与支撑台滑动连接。进一步地，所述测量箱通过导线与操作按键电性连接，所述缓冲层为硅橡胶材质制作的缓冲层。与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：通过一号螺纹柱和内螺纹套筒的结合，可以对承载台内部的晶圆进行良好的固定，防止装置在进行正常工作时晶圆发生位移，避免影响到装置对晶圆测量的准确对，且通过支撑板和缓冲层的结合，可以对晶圆进行良好的减震效果，使校准台在进行校准移动时不易使晶圆进行震动，避免影响都装置对晶圆的校准效果，进一步提升了装置的实用性能。通过滑动槽和滑动凸起的结合，使承载台可以在校准台顶部进行左右移动，从而便于操作人员对晶圆的左右位置进行良好的调节，其次通过二号螺纹柱和内螺纹板的结合，便于操作人员对校准台进行移动，以便于操作人员调节晶圆的前后位置，使晶圆可以满足装置的测量要求，以提升了装置对晶圆测量的准确度，操作较为简单，便于操作人员对晶圆的位置进行准确的矫正，大大的增加了装置的实用性能。通过限位板能够对校准台进行良好的限位，防止校准台在进行移动时发生左右位移的现象，避免影响到自身对晶圆的校准效果。附图说明图1为本技术一种晶圆参数测量仪预定位校准台的整体结构示意图。图2为本技术一种晶圆参数测量仪预定位校准台的承载台结构示意图。图3为本技术一种晶圆参数测量仪预定位校准台的滑动凸起结构示意图。图4为本技术一种晶圆参数测量仪预定位校准台的二号螺纹柱结构示意图。图中：1-机座；2-支撑台；3-校准台；4-承载台；5-支撑板；6-缓冲层；7-内螺纹套筒；8-一号螺纹柱；9-滑动槽；10-滑动凸起；11-轴承；12-二号螺纹柱；13-内螺纹板；14-支撑杆；15-测量箱；16-测量头；17-限位板；18-转动把手；19-操作按键。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。如图1-4所示，一种晶圆参数测量仪预定位校准台，包括机座1和支撑台2，所述机座1顶端固定连接有支撑台2，所述支撑台2顶端固定设有校准台3，所述校准台3顶端固定设有承载台4，所述承载台4内侧壁固定连接有支撑板5，所述支撑板5表面固定连接有缓冲层6，所述承载台4两侧均固定连接有内螺纹套筒7，所述内螺纹套筒7内部活动连接有一号螺纹柱8，所述校准台3顶部固定设有滑动槽9，所述滑动槽9内部滑动连接有滑动凸起10，所述支撑台2内部固定连接有轴承11，所述轴承11内部转动连接有二号螺纹柱12，所述校准台3底端固定连接有内螺纹板13。本实施例中如图4所示，通过二号螺纹柱12和内螺纹板13的结合，便于操作人员对校准台3进行移动，以便于操作人员调节晶圆的前后位置，使晶圆可以满足装置的测量要求，以提升了装置对晶圆测量的准确度。其中，所述承载台4一侧固定设有支撑杆14，且支撑杆14与机座1固定连接，所述支撑杆14一侧壁固定连接有测量箱15，所述测量箱15底端活动连接有测量头16。本实施例中如图1所示，通过测量箱15可以带动测量头16对晶圆进行测量，以便于操作人员记录晶圆的具体数据，较为实用。其中，所述支撑台2两侧均固定设有限位板17，所述二号螺纹柱12一端固定连接有转动把手18，所述机座1一侧壁固定设有操作按键19。本实施例中如图1所示，通过限位板17能够对校准台3进行良好的限位，防止校准台3在进行移动时发生左右位移的现象，避免影响到自身对晶圆的校准效果。其中，所述承载台4通过滑动槽9和滑动凸起10与校准台3滑动连接，所述二号螺纹柱12贯穿内螺纹板13内部，所述校准台3通过二号螺纹柱12和内螺纹板13与支撑台2滑动连接。本实施例中如图3所示，通过滑动槽9和滑动凸起10的结合，使承载台4可以在校准台3顶部进行左右移动，从而便于操作人员对晶圆的左右位置进行良好的调节。其中，所述测量箱15通过导线与操作按键19电性连接，所述缓冲层6为硅橡胶材质制作的缓冲层。本实施例中如图2所示，通过缓冲层6可以对晶圆进行良好的减震效果，使校准台4在进行校准移动时不易使晶圆进行震动，避免影响都装置对晶圆的校准效果，进一步提升了装置的实用性能。需要说明的是，本技术为一种晶圆参数测量仪预定位校准台，工作时，本技术1、机座；2、支撑台；3、校准台；4、承载台；5、支撑板；6、缓冲层；7、内螺纹套筒；8、一号螺纹柱；9、滑动槽；10、滑动凸起；11、轴承；12、二号螺纹柱；13、内螺纹板；14、支撑杆；15、测量箱；16、测量头；17、限位板；18、转动把手；19、操作按键，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本技术操作人员通过将晶圆放置到承载台4内部，然后通过转动一号螺纹柱8使其与内螺纹套筒7相结合，从而可以对承载台4内部的晶圆进行良好的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆参数测量仪预定位校准台，包括机座(1)和支撑台(2)，所述机座(1)顶端固定连接有支撑台(2)，其特征在于：所述支撑台(2)顶端固定设有校准台(3)，所述校准台(3)顶端固定设有承载台(4)，所述承载台(4)内侧壁固定连接有支撑板(5)，所述支撑板(5)表面固定连接有缓冲层(6)，所述承载台(4)两侧均固定连接有内螺纹套筒(7)，所述内螺纹套筒(7)内部活动连接有一号螺纹柱(8)，所述校准台(3)顶部固定设有滑动槽(9)，所述滑动槽(9)内部滑动连接有滑动凸起(10)，所述支撑台(2)内部固定连接有轴承(11)，所述轴承(11)内部转动连接有二号螺纹柱(12)，所述校准台(3)底端固定连接有内螺纹板(13)。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆参数测量仪预定位校准台，包括机座(1)和支撑台(2)，所述机座(1)顶端固定连接有支撑台(2)，其特征在于：所述支撑台(2)顶端固定设有校准台(3)，所述校准台(3)顶端固定设有承载台(4)，所述承载台(4)内侧壁固定连接有支撑板(5)，所述支撑板(5)表面固定连接有缓冲层(6)，所述承载台(4)两侧均固定连接有内螺纹套筒(7)，所述内螺纹套筒(7)内部活动连接有一号螺纹柱(8)，所述校准台(3)顶部固定设有滑动槽(9)，所述滑动槽(9)内部滑动连接有滑动凸起(10)，所述支撑台(2)内部固定连接有轴承(11)，所述轴承(11)内部转动连接有二号螺纹柱(12)，所述校准台(3)底端固定连接有内螺纹板(13)。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆参数测量仪预定位校准台，其特征在于：所述承载台(4)一侧固定设有支撑杆(14)，且支撑杆(14)与机座(1)固定连接，所述支撑...

【专利技术属性】
技术研发人员：梅华斌，曹晓艳，张敏，
申请(专利权)人：无锡职业技术学院，
类型：新型
国别省市：江苏;32