用于缺陷检查的知识推荐制造技术

技术编号:23774562 阅读:35 留言:0更新日期:2020-04-12 03:23
一种用于缺陷检查的知识推荐的服务器。服务器包括处理器,处理器电子地耦合到存储与晶片缺陷相关的多个知识文件的电子存储设备。处理器被配置成执行指令的集合以使得服务器:从缺陷分类服务器接收针对用于对检验图像进行检验的知识推荐的请求;搜索电子存储设备中与检验图像相匹配的知识文件;以及向缺陷分类服务器传输搜索结果。

Knowledge recommendation for defect inspection

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于缺陷检查的知识推荐相关申请的交叉引用本申请是基于并且要求于2017年1月18日提交的并且题为“AutoLoadingKnowledgeforDefectReview”的美国临时申请No.62/447,565以及于2017年12月31日提交的并且题为“KnowledgeRecommendationforDefectReview”的美国临时申请No.62/612,593的优先权,并且通过引用以其整体将两个申请的公开内容并入本文。
本公开总体上涉及用于推荐用于缺陷检查的知识文件的系统和方法。
技术介绍
随着对低成本和高性能电子设备的需求的持续增长,控制包括在电子设备中的集成电路的制造过程以便减少影响产量的缺陷的数目至关重要。缺陷检查过程已被集成到制造过程的控制中。在缺陷检查过程期间,半导体晶片上的缺陷被自动标识并分类为各种缺陷类型。虽然可以自动执行缺陷分类,但是总是需要用户的干预来选择执行自动缺陷分类所基于的知识文件。用户的干预显著降低了制造过程的吞吐量。
技术实现思路
根据本公开的一些实施例,提供了一种用于缺本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于缺陷检查的知识推荐的服务器,包括:/n处理器,电子地耦合到存储与晶片缺陷相关的多个知识文件的电子存储设备,所述处理器被配置成执行指令的集合以使得所述服务器:/n从缺陷分类服务器接收针对用于对检验图像进行检验的知识推荐的请求;/n搜索所述电子存储设备中与所述检验图像相匹配的知识文件;以及/n向所述缺陷分类服务器传输搜索结果。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170118 US 62/447,565;20171231 US 62/612,5931.一种用于缺陷检查的知识推荐的服务器,包括:
处理器,电子地耦合到存储与晶片缺陷相关的多个知识文件的电子存储设备,所述处理器被配置成执行指令的集合以使得所述服务器:
从缺陷分类服务器接收针对用于对检验图像进行检验的知识推荐的请求;
搜索所述电子存储设备中与所述检验图像相匹配的知识文件;以及
向所述缺陷分类服务器传输搜索结果。


2.根据权利要求1所述的服务器,其中所述处理器被配置成执行所述指令的集合以使得所述服务器:
从所述电子存储设备中的所述知识文件中获取多个缺陷补块图像;
从所述多个缺陷补块图像中提取特征参数,并且归一化所述特征参数;
基于归一化的所述特征参数生成多个加权表示模型,每个加权表示模型表示缺陷类型;以及
将所述加权表示模型存储在所述电子存储设备中。


3.根据权利要求1所述的服务器,其中针对知识推荐的所述请求包括所述检验图像中被标识的多个缺陷的特征参数,并且
在搜索与所述检验图像相匹配的知识文件中,所述处理器被配置成执行所述指令的集合以使得所述服务器:
将所述检验图像中被标识的所述多个缺陷的所述特征参数与所述电子存储设备中的所述知识文件中的所述特征参数进行比较;以及
搜索具有与新获得的所述检验图像中被标识的所述多个缺陷的所述特征参数相匹配的特征参数的知识文件。


4.根据权利要求1所述的服务器,其中每个知识文件包括相同的晶片工艺层中并且由检验工具在相同的检验条件下生成的不同类型缺陷的多个缺陷补块图像和特征参数。


5.根据权利要求1所述的服务器,其中所述缺陷补块图像由电子束检验工具生成。


6.一种用于缺陷分类的服务器,包括:
处理器,被配置成执行指令的集合以使得所述服务器:
从检验工具接收晶片的检验图像;
向知识推荐服务器发送针对知识推荐的请求;
从所述知识推荐服务器接收知识推荐结果;
确定所述知识推荐结果是否包括知识文件;以及
响应于确定知识推荐结果包括知识文件,通过使用所述知识文件对所述检验图像执行自动缺陷分类。...

【专利技术属性】
技术研发人员:方伟郑楚发简儒浩王怡颖陈诗丛廖建民李川郭朝晖黄邦瑄赖绍伟徐世宗
申请(专利权)人:ASML荷兰有限公司
类型:发明
国别省市:荷兰;NL

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