异形钌产品的制备方法技术

本发明专利技术提供一种异形钌产品的制备方法。异形钌产品的制备方法，包括：将包括钌粉在内的原料压制成型，然后依次进行第一次烧结和粗加工得到粗工件；将所述粗工件进行第二次烧结，然后进行精加工得到所述异形钌产品；所述第一次烧结的温度为800‑1800℃，所述第二次烧结的温度为1600‑2300℃。本申请提供的异形钌产品的制备方法，成材率高、加工效率高，加工时间短、加工精度高。

Preparation method of irregular ruthenium products

【技术实现步骤摘要】
异形钌产品的制备方法
本专利技术涉及金属加工领域，尤其涉及一种异形钌产品的制备方法。
技术介绍
钌在铂族金属中性质比较特殊，其颜色为银白色，硬而脆，不易机械加工，粉末状颜色为灰色或深灰色由其粉末颗粒大小决定，熔点为2310℃，沸点为3900℃，密度为12.30g/cm3。其中溅射钌靶是钌的主要用途之一。磁控溅射法是半导体电路元件中制备薄膜的主要技术之一，钌靶是制造磁记录及电容元器件过程中磁控溅射成膜工序的关键耗材，其质量直接决定着溅射钌膜的质量。在钌靶的质量方面，有着严格的要求，纯度要至少能达到4N(99.99wt％)以上，相对密度至少不低于95％，且晶粒均匀细小。同时根据溅射机台的不同需求，钌靶按界面形状可分为圆形、矩形和异形等。针对异形的溅射钌靶而言，因金属钌的硬而脆的特性，非常不易加工。钌靶的异形加工一直是业界的一个难题。无论是用传统的粉末冶金工艺，还是采用熔铸工艺，在得到钌块后，进行异形的加工、以匹配专有的设备机台，当前都没有很成熟的工艺与方法。在钌产品的异形机械加工过程中，非常容易造成崩边、开裂等缺陷，导致成材率非常的低。...

【技术保护点】
1.一种异形钌产品的制备方法，其特征在于，包括：/n将包括钌粉在内的原料压制成型，然后依次进行第一次烧结和粗加工得到粗工件；/n将所述粗工件进行第二次烧结，然后进行精加工得到所述异形钌产品；/n所述第一次烧结的温度为800-1800℃，所述第二次烧结的温度为1600-2300℃。/n

【技术特征摘要】
1.一种异形钌产品的制备方法，其特征在于，包括：
将包括钌粉在内的原料压制成型，然后依次进行第一次烧结和粗加工得到粗工件；
将所述粗工件进行第二次烧结，然后进行精加工得到所述异形钌产品；
所述第一次烧结的温度为800-1800℃，所述第二次烧结的温度为1600-2300℃。


2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一次烧结的保温时间为3-6h，所述第二次烧结的保温时间为6-12h。


3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述钌粉使用前进行第一筛分；
优选地，所述第一筛分使用的筛网的目数为200-300目。


4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述原料还包括成型剂。


5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述成型剂包括甘油、聚乙烯和硬脂酸中的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：王龙，秦寒梅，
申请(专利权)人：湖南欧泰稀有金属有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南;43