一种超声旋涂机制造技术

本发明专利技术公开了一种超声旋涂机，包括外壳，所述外壳的内壁安装有内胆，所述外壳和内胆的下端内侧安装有电路，所述外壳的内壁下方安装有电机，所述内胆的内壁上方左侧安装有喷淋头，所述内胆的内壁上方安装有超声波发生片，所述外壳的外壁右侧安装有操作板。该超声旋涂机，结构科学合理，使用安全方便，设置有外壳、内胆、顶盖、喷淋头、吸附盘、超声波发生片、电机、电路和操作板之间的配合，使电机和喷淋头可对吸附在吸附盘上方的工件进行旋涂处理，同时超声波发生片可通电产生高频振荡，从而发出超声波，旋涂机在工作时具有了更好的涂覆效果，通过超声波对喷淋溶液的超声作用，解决了旋涂机存在的喷淋涂覆不均匀等问题。

An ultrasonic spin coating machine

【技术实现步骤摘要】
一种超声旋涂机
本专利技术涉及旋涂
，具体为一种超声旋涂机。
技术介绍
旋涂是一种广泛使用的多功能技术，用于将材料沉积到基材上，从而获得精确可控的薄膜厚度，适用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺，主要应用于溶胶-凝胶实验中的薄膜制作，其工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂布在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关，可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。虽然现有技术的旋涂机能够进行对工件的旋涂加工处理，但是现有技术仍存在旋涂机存在的喷淋涂覆不均匀等问题
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种超声旋涂机，以解决上述
技术介绍
中提出的旋涂机存在的喷淋涂覆不均匀等问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种超声旋涂机，包括外壳，所述外壳的内壁安装有内胆，所述外壳和内胆的下端内侧安装有电路，所述外壳的上方转动连接有顶盖，所述外壳的内壁下方安装有电机，所述电机的输出轴通过中空立柱与吸附盘转动相连，所述内胆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超声旋涂机，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)的内壁安装有内胆(2)，所述外壳(1)和内胆(2)的下端内侧安装有电路(8)，所述外壳(1)的上方转动连接有顶盖(3)，所述外壳(1)的内壁下方安装有电机(7)，所述电机(7)的输出轴通过中空立柱与吸附盘(5)转动相连，所述内胆(2)的内壁上方左侧安装有喷淋头(4)，所述内胆(2)的内壁上方安装有超声波发生片(6)，所述外壳(1)的外壁右侧安装有操作板(9)。/n

【技术特征摘要】
1.一种超声旋涂机，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)的内壁安装有内胆(2)，所述外壳(1)和内胆(2)的下端内侧安装有电路(8)，所述外壳(1)的上方转动连接有顶盖(3)，所述外壳(1)的内壁下方安装有电机(7)，所述电机(7)的输出轴通过中空立柱与吸附盘(5)转动相连，所述内胆(2)的内壁上方左侧安装有喷淋头(4)，所述内胆(2)的内壁上方安装有超声波发生片(6)，所述外壳(1)的外壁右侧安装有操作板(9)。

【专利技术属性】
技术研发人员：张信华，刘威，游帆，王雨晗，陈莹，
申请(专利权)人：常州工学院，
类型：发明
国别省市：江苏;32