显微镜制造技术

本发明专利技术涉及一种显微镜(2)，包括：产生相干光束(7)的相干光源(4)；包括被配置为将所述相干光束(7)分成参考波束(7a)和样本照明波束(7b)的分束器(14)的光束引导系统(6)；被配置为保持所要观察的样本(1)的样本保持器(18)；被配置为指引样本照明波束(7b)通过样本并进入显微镜物镜(37)的样本照明装置(28)；被配置为在样本照明波束穿过所要观察的样本之后使参考波束和样本照明波束重新聚合的波束重聚器(16)；以及被配置为捕获波束重聚器下游的相干光束的至少相位和强度值的光感测系统(8)。

Microscope

【技术实现步骤摘要】
显微镜本申请是申请日为2015年9月18日、申请号为201580060936.6、专利技术名称为“显微镜”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及显微镜，具体地，涉及用于生物学物质(包括细胞和微生物)的三维层析成像的显微镜。本专利技术还可以更一般性地用于非生物学透明材料的三维层析成像的领域。
技术介绍
能够对生物学细胞及其内部结构进行三维成像的显微镜一般基于数字层析成像技术，并且往往基于标记染料的使用，以增强细胞的成分之间的强度对比度。但是，标记染料可能影响所要观察的物质(尤其是在活细胞的情况下)，而且也会致使过程更加复杂。在国际专利申请PCT/IB2011/051306中描述了基于3D折射率计算的无标记非侵入式显微镜检查方法。但是，对非常小的对象计算具有内部结构的足够细节的基于折射率的图像所需的图像数据的捕获需要非常精确的显微镜。常规显微镜的精确度依赖于透镜的质量以及在显微镜的各种部件的组装中的非常低的制造公差。这导致显微镜成本高昂。此外，为了具有高数值孔径以增加捕获数据的分辨率，针对所要观察的样本的可用工作距离和空间是非常有限本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显微镜(2)，包括：产生光束(7)的光源(4)；包括分束器(14)的光束引导系统(6)，其中所述分束器(14)被配置为将所述光束(7)分成穿过所述光束引导系统的参考波束(7a)和样本照明波束(7b)，至少一个可枢转操作的方向改变反射镜(TM1、TM2、TM3、TM4)指引所述参考波束(7a)和所述样本照明波束(7b)，从而引导所述参考波束和样本波束沿着其相应的光路；被配置为在所述样本照明波束的路径中接纳所要观察的样本(1)的样本观察区(17)；被配置为在所述样本照明波束穿过所述样本观察区之后使所述参考波束和所述样本照明波束重新聚合的波束重聚器(16)；被配置为取得所述波束重聚器下游的光...

【技术特征摘要】
20140922 EP 14185718.51.一种显微镜(2)，包括：产生光束(7)的光源(4)；包括分束器(14)的光束引导系统(6)，其中所述分束器(14)被配置为将所述光束(7)分成穿过所述光束引导系统的参考波束(7a)和样本照明波束(7b)，至少一个可枢转操作的方向改变反射镜(TM1、TM2、TM3、TM4)指引所述参考波束(7a)和所述样本照明波束(7b)，从而引导所述参考波束和样本波束沿着其相应的光路；被配置为在所述样本照明波束的路径中接纳所要观察的样本(1)的样本观察区(17)；被配置为在所述样本照明波束穿过所述样本观察区之后使所述参考波束和所述样本照明波束重新聚合的波束重聚器(16)；被配置为取得所述波束重聚器下游的光束的至少相位和强度值的光感测系统(8)；以及控制系统，其特征在于，所述控制系统被配置为生成用于自动控制所述至少一个可枢转操作方向改变反射镜的角度的反射镜角度控制信号，所述反射镜角度控制信号至少部分地基于借助于所述控制系统的反馈环从所述光感测系统接收到的并由所述光束生成的信号，所述至少一个可枢转操作反射镜(TM1)位于所述样本照明波束的路径中，以校正所述样本照明波束的光路的偏离，和/或调整该波束的样本照明角度。


2.根据权利要求1所述的显微镜，其中，所述反射镜角度控制信号所基于的、从所述光感测系统接收并且由所述光束生成的所述信号包括通过所述光感测系统接收的光束的强度、相干性、干涉条纹频率和相位中的任意一个或多个。


3.根据权利要求1所述的显微镜，其中，所述可枢转操作反射镜(TM1)基本上位于所述样本观察区之上，与显微镜物镜(37)的光轴对齐。


4.根据权利要求1所述的显微镜，还包括位于所述参考波束的路径中至少一个可枢转操作反射镜(TM2、TM3、TM4)。


5.根据权利要求3或4所述的显微镜，其中，位于所述参考波束的路径中的所述可枢转操作反射镜(TM2、TM3、TM4)位于光程差(OPD)调整装置(32)之前、之后或者作为该光程差(OPD)调整装置(32)的一部分，被配置为校正所述参考波束在所述光程差(OPD)调整装置中的偏离。


6.根据权利要求1所述的显微镜，还包括位于光程差(OPD)调整装置(32)和所述波束重聚器之间的至少一个可枢转操作反射镜(TM2)，被配置用于创建和调整通过所述光感测系统捕获的干涉测量信号。


7.根据权利要求1所述的显微镜，还包括位于所述参考波束的光路中的光程差(OPD)调整装置(32)，所述光程差(OPD)调整装置被配置为调整所述参考波束相对于所述样本照明波束的光程长度，所述光程差(OPD)调整装置包括第一可枢转调整光偏离元件(42，30a)和第二可枢转调整光偏离元件(44，30c)，它们每个包括位于所述参考波束的所述光路中的透明材料(42，44)或反射材料(30a，30b，30c)，由此所述光偏离元件的倾斜角度被所述控制系统控制，以调整所述光程差。


8.根据权利要求1所述的显微镜，其中，所述可枢转操作反射镜是MEMS类型部件。


9.根据权利要求1所述的显微镜，包括被配置为指引所述样本照明波束(7b)通过所述样本观察区并进入显微镜物镜(37)的样本照明装置(28)，所述样本照明装置(28)包括被配置为指引...

【专利技术属性】
技术研发人员：Y·科特，PA·科特，S·伊奎斯，A·克恩，
申请(专利权)人：纳诺利弗股份有限公司，
类型：发明
国别省市：瑞士;CH