传感器单元、具备传感器单元的传输器、传感器单元的制造方法及该传输器的制造方法技术

在传感器单元形成用于确保稳定的传输线路的金属覆膜。传感器单元具备：主体部，其具有通孔；外部电极，其插入设置于所述通孔；凹部，其形成于所述外部电极的端面；金属覆膜，其形成于所述凹部；以及传感器部，其经由所述金属覆膜与所述外部电极电连接。

Sensor unit, transmitter with sensor unit, manufacturing method of sensor unit and manufacturing method of the transmitter

【技术实现步骤摘要】
传感器单元、具备传感器单元的传输器、传感器单元的制造方法及该传输器的制造方法
本专利技术涉及传感器单元、具备传感器单元的传输器、传感器单元的制造方法、以及具备传感器单元的传输器的制造方法。
技术介绍
在车间、工厂等中，构建有一种过程控制系统，该过程控制系统对在各过程中生成(或者使用)的气体以及液体的状态量(例如压差、压力、温度以及流量)进行控制。在这样的过程控制系统设置有用于测定上述状态量的各种传输器。传输器例如包含压差传输器、压力传输器、温度传输器以及流量传输器。传输器对状态量进行测定，并且将其测定结果传输至外部(例如进行过程控制的控制器等)。因而，在传输器设置有传感器单元(例如，参照日本特开2013－7606号公报)。传感器单元具有对状态量进行测定的传感器部、以及与该传感器部电连接而用于向外部传输测定结果的外部电极。在上述传感器单元中，为了确保稳定的传输线路，要求在外部电极形成金属覆膜、以及经由该金属覆膜将传感器部和外部电极通过导线键合而电连接。
技术实现思路
因此，本专利技术的1个目的在于，在传本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传感器单元，其具备：/n主体部，其具有通孔；/n外部电极，其插入设置于所述通孔；/n凹部，其形成于所述外部电极的端面；/n金属覆膜，其形成于所述凹部；以及/n传感器部，其经由所述金属覆膜与所述外部电极电连接。/n

【技术特征摘要】
20180928 JP 2018-1832391.一种传感器单元，其具备：
主体部，其具有通孔；
外部电极，其插入设置于所述通孔；
凹部，其形成于所述外部电极的端面；
金属覆膜，其形成于所述凹部；以及
传感器部，其经由所述金属覆膜与所述外部电极电连接。


2.根据权利要求1所述的传感器单元，其中，
所述凹部具有能够收容在具有希望膜厚的所述金属覆膜的形成中使用的纳米墨水的深度。


3.根据权利要求1或2所述的传感器单元，其中，
所述金属覆膜具有通过多次覆膜形成而形成的层叠构造。


4.一种传输器，其是具备气密构造的传感器单元的传输器，
作为所述传感器单元而具有权利要求1至3中任一项所述的传感器单元。


5.一种传感器单元的制造方法，其是具备主体部、外部电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：北村健太郎，鲛岛诚一，浅川菜穂，
申请(专利权)人：横河电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP