一种密齿立式石英舟制造技术

本发明专利技术公开了一种密齿立式石英舟，包括第一端板、第二端板、上开槽棒、下开槽棒、固定柱、连接板、定位孔，所述第一端板与第一端板之间焊接有上开槽棒、下开槽棒，所述上开槽棒、下开槽棒两侧固定焊接有固定柱与第一端板、第一端板固定焊接，所述固定柱位于第一端板、第一端板两侧，所述上开槽棒、下开槽棒上固定焊接有连接板，所述第一端板上开有120度的豁口，豁口深度4‑5mm，所述第二端板一侧开有定位孔，所述定位孔下固定开有通孔，通孔为腰型孔结构，所述通孔与定位孔垂直，且相互贯通。

A kind of vertical stone boat with dense teeth

【技术实现步骤摘要】
一种密齿立式石英舟
本专利技术涉及炉管设备
，具体涉及一种密齿立式石英舟。
技术介绍
现有的舟体槽部窄而且浅，一般石英舟槽深15-20mm，硅片利用率较低，且原有舟槽粘板方法方式进行，粘板时间长，蜡化，从而产生的破损掉槽现象的可能性大，操作繁琐，且浪费人力资源，同时采用粘板方法操作舟槽部抛光难度大。为此本申请人经过长时间的实践研发出一种新的石英舟以此来满足使用的需要。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种密齿立式石英舟，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。本专利技术的目的是通过下述技术方案予以实现：一种密齿立式石英舟，包括第一端板、第二端板、上开槽棒、下开槽棒、固定柱、连接板、定位孔，所述第一端板与第一端板之间焊接有上开槽棒、下开槽棒，所述上开槽棒、下开槽棒两侧固定焊接有固定柱与第一端板、第一端板固定焊接，所述固定柱位于第一端板、第一端板两侧，所述上开槽棒、下开槽棒上固定焊接有连接板，所述第一端板上开有120度的豁口，豁口深度4-5mm；所述第二端板一侧开有定位孔，所述定位孔下固定开有通孔，通孔为腰型孔结构，所述通孔与定位孔垂直，且相互贯通。进一步地，所述连接板呈弧形，且连接板位于上开槽棒、下开槽棒上间隔设置两组，为相互平行设置。进一步地，所述上开槽棒宽度小于下开槽棒，且上开槽棒与第一端板、第二端板端面平行设置。进一步地，所述下开槽棒设置两个，且位于第一端板、第二端板之间相互对称设置。进一步地，所述下开槽棒位于第一端板、第二端板之间倾斜设置，所述下开槽棒与第一端板、第二端板中心垂直夹角为35-45度。进一步地，所述上开槽棒、下开槽棒上设置若干插槽，且插槽间距为8-9mm，所述上开槽棒、下开槽棒左右两端固定有焊接端头与第一端板、第二端板固定连接。进一步地，所述上开槽棒、下开槽棒两侧对称的固定柱相邻之间的夹角为78度。进一步地，所述所述上开槽棒、下开槽棒上设置的插槽深度为80mm。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：该专利技术舟槽利用专用治具装卡，研发成现在槽片全抛光，可减少颗粒，保证槽部无碎崩口，槽部圆滑光洁，减少了尖角与硅片产生的摩擦，从而减少硅片产生颗粒。舟槽槽深度增加，使用时可使硅片利用率增加1倍以上。附图说明图1是本专利技术整体示意图；图2是本专利技术侧视图；图3是本专利技术连接板示意图；图4是本专利技术上开槽棒示意图；图5是本专利技术下开槽棒示意图；图6是本专利技术第一端板示意图；图7是本专利技术第二端板剖视图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。如图1-7所示，一种密齿立式石英舟，包括第一端板1、第二端板2、上开槽棒3、下开槽棒4、固定柱5、连接板6、定位孔7，所述第一端板1与第一端板2之间焊接有上开槽棒3、下开槽棒4，所述上开槽棒3、下开槽棒4两侧固定焊接有固定柱5与第一端板1、第一端板2固定焊接，所述固定柱5位于第一端板1、第一端板2两侧，所述上开槽棒3、下开槽棒4上固定焊接有连接板6，所述第一端板1上开有120度的豁口，豁口深度4-5mm；所述第二端板2一侧开有定位孔7，所述定位孔7下固定开有通孔，通孔为腰型孔结构，所述通孔与定位孔7垂直，且相互贯通。本实施例中，所述连接板6呈弧形，且连接板6位于上开槽棒3、下开槽棒4上间隔设置两组，为相互平行设置。本实施例中，所述上开槽棒3宽度小于下开槽棒4，且上开槽棒3与第一端板1、第二端板2端面平行设置。本实施例中，所述下开槽棒4设置两个，且位于第一端板1、第二端板2之间相互对称设置。本实施例中，所述下开槽棒4位于第一端板1、第二端板2之间倾斜设置，所述下开槽棒4与第一端板1、第二端板2中心垂直夹角为35-45度。本实施例中，所述上开槽棒3、下开槽棒4上设置若干插槽，且插槽间距为8-9mm，所述上开槽棒3、下开槽棒4左右两端固定有焊接端头与第一端板1、第二端板2固定连接。本实施例中，所述上开槽棒3、下开槽棒4两侧对称的固定柱5相邻之间的夹角为78度。本实施例中，所述所述上开槽棒3、下开槽棒4上设置的插槽深度为80mm。所述该专利技术的立式石英舟，置于保温桶天板上，保温桶与立式舟受台，用石英垫片固定，保证石英舟与保温桶同心，位置准确定位后，机械手每次装五片，机械手间距与槽间距相同，当硅片匀速置于槽部时，由于是斜槽，而且三点确定一个平面，所以可使硅片的接触范围最小化，提高了硅片的使用面积，增加了利用率，降低了生产成本。对于本领域技术人员而言，显然本专利技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本专利技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本专利技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本专利技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本专利技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种密齿立式石英舟，其特征在于：包括第一端板(1)、第二端板(2)、上开槽棒(3)、下开槽棒(4)、固定柱(5)、连接板(6)、定位孔(7)，所述第一端板(1)与第一端板(2)之间焊接有上开槽棒(3)、下开槽棒(4)，所述上开槽棒(3)、下开槽棒(4)两侧固定焊接有固定柱(5)与第一端板(1)、第一端板(2)固定焊接，所述固定柱(5)位于第一端板(1)、第一端板(2)两侧，所述上开槽棒(3)、下开槽棒(4)上固定焊接有连接板(6)，所述第一端板(1)上开有120度的豁口，豁口深度4-5mm；/n所述第二端板(2)一侧开有定位孔(7)，所述定位孔(7)下固定开有通孔，通孔为腰型孔结构，所述通孔与定位孔(7)垂直，且相互贯通。/n

【技术特征摘要】
1.一种密齿立式石英舟，其特征在于：包括第一端板(1)、第二端板(2)、上开槽棒(3)、下开槽棒(4)、固定柱(5)、连接板(6)、定位孔(7)，所述第一端板(1)与第一端板(2)之间焊接有上开槽棒(3)、下开槽棒(4)，所述上开槽棒(3)、下开槽棒(4)两侧固定焊接有固定柱(5)与第一端板(1)、第一端板(2)固定焊接，所述固定柱(5)位于第一端板(1)、第一端板(2)两侧，所述上开槽棒(3)、下开槽棒(4)上固定焊接有连接板(6)，所述第一端板(1)上开有120度的豁口，豁口深度4-5mm；
所述第二端板(2)一侧开有定位孔(7)，所述定位孔(7)下固定开有通孔，通孔为腰型孔结构，所述通孔与定位孔(7)垂直，且相互贯通。


2.根据权利要求1所述的一种密齿立式石英舟，其特征在于：所述连接板(6)呈弧形，且连接板(6)位于上开槽棒(3)、下开槽棒(4)上间隔设置两组，为相互平行设置。


3.根据权利要求1所述的一种密齿立式石英舟，其特征在于：所述上开槽棒(3)宽度小于下开槽棒(4)，且上开槽棒(3)与第一端板(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：张忠恕，王连连，赵鹤，陈强，于洋，冯继瑶，张娟，边占宁，孙云涛，李宝军，张连兴，王建立，
申请(专利权)人：张忠恕，
类型：发明
国别省市：北京;11