【技术实现步骤摘要】
一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜
本专利技术涉及光学技术元件领域和MEMS领域，具体为一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜。
技术介绍
近年来，随着信息技术的发展，基于微透镜的摄像头的性能研究就成为了当前信息领域的研究热点。传统的摄像系统是控制透镜的焦距不变，而利用音圈马达调节透镜间的相对位置来实现变焦，使整体光学结构所占空间较大。因此，传统的微透镜存在结构复杂、机械磨损严重、能耗高、电磁干扰、响应时间长等缺点，且不利于微型化。当前，国内外的专家和学者已经开始探索可以改变透镜自身焦距的微透镜。在目前所报道的可变焦微透镜中，可变焦微透镜是通过一种或多种外加可调控物理量（如力、热、电等）来改变微透镜的表面形状和折射率分布，从而实现其焦距的变化。对于表面形状调控方法，通常采用液体作为微透镜的主体结构，利用压力、电湿润、热形变等效应来改变微透镜的表面曲率，从而实现对透镜焦距的控制。液体可变焦微透镜有变焦范围广的优点，但是它容易漏液，容易受重力影响且其使用磁驱动时会产生电磁干扰，响应速度慢，体积...
【技术保护点】
1.一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜，其特征在于：包括两片圆环状压电致动器（1）、玻璃薄膜（2）、橡胶、支撑玻璃（4）和固定框架（5），两片压电致动器（1）分别固定在玻璃薄膜（2）上下表面，橡胶固定在玻璃薄膜（2）和支撑玻璃（4）之间，橡胶的上端端部位于玻璃薄膜（2）下表面处的压电致动器环内，固定框架（5）固定压电致动器（1）和玻璃薄膜（2）的边缘。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜，其特征在于：包括两片圆环状压电致动器（1）、玻璃薄膜（2）、橡胶、支撑玻璃（4）和固定框架（5），两片压电致动器（1）分别固定在玻璃薄膜（2）上下表面，橡胶固定在玻璃薄膜（2）和支撑玻璃（4）之间，橡胶的上端端部位于玻璃薄膜（2）下表面处的压电致动器环内，固定框架（5）固定压电致动器（1）和玻璃薄膜（2）的边缘。
2.根据权利要求1所述的一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜，其特征在于：微透镜变焦由压电驱动，通过控制所加电压的大小实现微透镜的焦距变化。
3.根据权利要求2所述的一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜，其特征在于：玻璃薄膜（2）为二氧化硅玻璃薄膜。
4.根据权利要求3所述的一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜，其特征在于：橡胶材料是SEBS。
5.根据权利要求4所述的一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜，其特征在于：将颗粒状的SEBS放入圆筒状模具通孔中加热塑型，制作出来圆柱体橡胶。
6.根据权利要求1或2或3或4或5所述的一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜，其特征在于：采用压电陶瓷材料制作压电驱动器（1）的过程如下：
a.将压电陶瓷粉末和聚乙烯醇粘结剂混合，造粒并过筛后，取出粉末放入模具中，挤压成型，得到圆形素坯，即压电致动器素坯；
b.将上述圆形素坯先烧除掉其中含有的粘结剂有机物，同时使素坯保持一定的机械强度；
c.在圆形素坯的几何中心处打孔，形成圆环形结构的压电板；
d.进行烧结，得到致密、均一的圆环形压电板；
e.在圆环形结构的压电板的上下表面上焙烧银电极，之后对其进行高压极化；
f.用砂纸打磨掉圆环形结构的压电板的上下表面的银电极，并经过超声清洗、烘干后，通过溅射或化学电镀方法在压电陶瓷的上下表面制备镀一层金膜。
技术研发人员：吴玉程，王开鹰，李刚，李廷鱼，张文磊，余志超，孙旭宇，杨翠，
申请(专利权)人：太原理工大学，
类型：发明
国别省市：山西;14
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