气路控制方法及装置、半导体处理设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种气路控制方法及装置、半导体处理设备。所述方法包括：接收用户的配置气路控制模式请求；根据所述配置气路控制模式请求，从所述控制集合中选取特定的若干个阀门和/或特定的若干个流量计，并为每个所述阀门配置开关状态和/或为每个所述流量计配置流量值，以形成若干种气路控制模式；接收用户的模式选择请求；根据所述模式选择请求，从所述若干种气路控制模式中调用与所述模式选择请求相符合的气路控制模式，以实现对气路的控制。能够有效解决用户对气路控制的自主性和多样性需求，能够有效解决复杂多变的气路控制难题，让气路变成可配置的，从而可以节省人力成本，提高经济效益。

Gas path control method and device, semiconductor processing equipment

【技术实现步骤摘要】
气路控制方法及装置、半导体处理设备
本专利技术涉及自动化控制
，具体涉及一种气路控制方法、一种气路控制装置以及一种半导体处理设备。
技术介绍
在超大规模集成电路行业中，很多薄膜采用化学工艺气相沉积(CVD)方法制备。CVD设备需要用到多种气体，气体通过气路通到腔室或者干泵中，通过控制气路中的阀门和流量计来控制气体的流向和流量。除此之外，这些气体中也包含特殊气体，会对人体和环境产生危害，这就需要对气路和腔室进行吹扫，这同样需要通过气路中的阀门来实现。另外，CVD中除了在半导体设备中可见的一般气路外，还有一些用原液钢瓶进行供气的气路。如此多类型的气路加上如此多的应用需求，也对气路的控制提出了更高的要求。因此，提供一种满足用户对气路控制的自主性和多样性的气路控制方法成为本领域亟需解决的技术问题。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种气路控制方法、一种气路控制装置以及一种半导体处理设备。为了实现上述目的，本专利技术的第一方面，提供了一种气路控制方法，气路包括若干个阀门和若干个流量计组成的控制集合，所述方法包括：步骤S110、接收用户的配置气路控制模式请求；步骤S120、根据所述配置气路控制模式请求，从所述控制集合中选取特定的若干个阀门和/或特定的若干个流量计，并为每个所述阀门配置开关状态和/或为每个所述流量计配置流量值，以形成若干种气路控制模式；步骤S130、接收用户的模式选择请求；步骤S140、根据所述模式选择请求，从所述若干种气路控制模式中调用与所述模式选择请求相符合的气路控制模式，以实现对气路的控制。可选地，所述方法还包括在步骤S120之后、步骤S130之前进行的：步骤S121、将所述若干种气路控制模式存储为可编辑配置文件。可选地，步骤S140具体包括：步骤S141、根据所述模式选择请求的名称，从所述若干种气路控制模式中调用与所述模式选择请求的名称相符合的气路控制模式，以获得目标气路控制模式；步骤S142、对所述目标气路控制模式进行解析，获得所述目标气路控制模式对应的目标阀门的开关状态和/或目标流量计的流量值；步骤S143、根据所述目标阀门的开关状态和/或目标流量计的流量值，设定气路中所述目标阀门的开关状态和/或流量计的流量值。可选地，步骤S142之后，步骤S143之前，还包括：判断获得的所述目标阀门和/或目标流量计是否属于所述控制集合中的阀门和/或流量计，若是，则执行步骤S143，反之，输出报警。可选地，步骤S143具体包括：当所述目标阀门的开关状态为开时，则调用开的指令将所述气路对应的阀门设定为开启；当所述目标阀门的开关状态为关时，则调用关的指令将所述气路对应的阀门设定为关闭；和/或，当所述流量计的流量值为A时，则调用设定的指令将所述气路中对应的流量计设定为流量值A。本专利技术的第二方面，提供了一种气路控制装置，气路包括若干个阀门和若干个流量计组成的控制集合，所述装置包括：第一接收模块，用于接收用户的配置气路控制模式请求；配置模块，用于根据所述配置气路控制模式请求，从所述控制集合中选取特定的若干个阀门和/或特定的若干个流量计，并为每个所述阀门配置开关状态和/或为每个所述流量计配置流量值，以形成若干种气路控制模式；第二接收模块，用于接收用户的模式选择请求；调用模块，用于根据所述模式选择请求，从所述若干种气路控制模式中调用与所述模式选择请求相符合的气路控制模式，以实现对气路的控制。可选地，所述装置还包括存储模块，用于将所述若干种气路控制模式存储为可编辑配置文件。可选地，所述调用模块包括调用子模块、解析子模块和设定子模块；所述调用子模块，用于根据所述模式选择请求的名称，从所述若干种气路控制模式中调用与所述模式选择请求的名称相符合的气路控制模式，以获得目标气路控制模式；所述解析子模块，用于对所述目标气路控制模式进行解析，获得所述目标气路控制模式对应的目标阀门的开关状态和/或目标流量计的流量值；所述设定子模块，用于根据所述目标阀门的开关状态和/或目标流量计的流量值，设定气路中所述目标阀门的开关状态和/或流量计的流量值。可选地，所述调用模块还包括判断子模块和报警子模块；所述判断子模块，用于判断获得的所述目标阀门和/或目标流量计是否属于所述控制集合中的阀门和/或流量计，若是，则向所述设定子模块发出匹配信号，反之，向所述报警子模块发出不匹配信号；所述报警子模块，用于在接收到所述不匹配信号时，输出报警。可选地，所述设定子模块，具体用于：当所述目标阀门的开关状态为开时，则调用开的指令将所述气路对应的阀门进行开启；当所述目标阀门的开关状态为关时，则调用关的指令将所述气路对应的阀门进行关闭；和/或，当所述流量计的流量值为A时，则调用设定的指令将所述气路中对应的流量计设定为流量值A。本专利技术的第三方面，提供了一种半导体处理设备，包括前文记载的所述的气路控制装置。本专利技术的气路控制方法及装置、半导体处理设备。首先，可以根据用户的配置气路控制模式请求，配置获得若干种气路控制模式，也就是说，可以根据用户实际需求，定义若干种气路控制模式。之后，在实际应用时，用户可以根据自己的实际需求，选择其中的一种气路控制模式，从而可以实现对气路的控制。因此，能够有效解决用户对气路控制的自主性和多样性需求，能够有效解决复杂多变的气路控制难题，让气路变成可配置的，从而可以节省人力成本，提高经济效益。附图说明附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本专利技术，但并不构成对本专利技术的限制。在附图中：图1为本专利技术第一实施例中气路控制方法的流程图；图2为本专利技术第二实施例中气路控制方法的流程图；图3为本专利技术第三实施例中气路的布局图；图4为本专利技术应用第一种气路控制模式的气路连通图；图5为本专利技术应用第二种气路控制模式的气路连通图；图6为本专利技术应用第三种气路控制模式的气路连通图；图7为本专利技术应用第四种气路控制模式的气路连通图；图8为本专利技术应用第五种气路控制模式的气路连通图；图9为本专利技术第四实施例中气路控制装置的结构示意图；图10为本专利技术第五实施例中气路控制装置的结构示意图。具体实施方式以下结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。如图1所示，本专利技术的第一方面，涉及一种气路控制方法S100，气路包括若干个阀门和若干个流量计组成的控制集合，方法S100包括：S110、接收用户的配置气路控制模式请求。S120、根据配置气路控制模式请求，从控制集合中选取特定的若干个阀门和/或特定的若干个流量计，并为每本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气路控制方法，气路包括若干个阀门和若干个流量计组成的控制集合，其特征在于，所述方法包括：/n步骤S110、接收用户的配置气路控制模式请求；/n步骤S120、根据所述配置气路控制模式请求，从所述控制集合中选取特定的若干个阀门和/或特定的若干个流量计，并为每个所述阀门配置开关状态和/或为每个所述流量计配置流量值，以形成若干种气路控制模式；/n步骤S130、接收用户的模式选择请求；/n步骤S140、根据所述模式选择请求，从所述若干种气路控制模式中调用与所述模式选择请求相符合的气路控制模式，以实现对气路的控制。/n

【技术特征摘要】
1.一种气路控制方法，气路包括若干个阀门和若干个流量计组成的控制集合，其特征在于，所述方法包括：
步骤S110、接收用户的配置气路控制模式请求；
步骤S120、根据所述配置气路控制模式请求，从所述控制集合中选取特定的若干个阀门和/或特定的若干个流量计，并为每个所述阀门配置开关状态和/或为每个所述流量计配置流量值，以形成若干种气路控制模式；
步骤S130、接收用户的模式选择请求；
步骤S140、根据所述模式选择请求，从所述若干种气路控制模式中调用与所述模式选择请求相符合的气路控制模式，以实现对气路的控制。


2.根据权利要求1所述的气路控制方法，其特征在于，所述方法还包括在步骤S120之后、步骤S130之前进行的：
步骤S121、将所述若干种气路控制模式存储为可编辑配置文件。


3.根据权利要求1所述的气路控制方法，其特征在于，步骤S140具体包括：
步骤S141、根据所述模式选择请求的名称，从所述若干种气路控制模式中调用与所述模式选择请求的名称相符合的气路控制模式，以获得目标气路控制模式；
步骤S142、对所述目标气路控制模式进行解析，获得所述目标气路控制模式对应的目标阀门的开关状态和/或目标流量计的流量值；
步骤S143、根据所述目标阀门的开关状态和/或目标流量计的流量值，设定气路中所述目标阀门的开关状态和/或流量计的流量值。


4.根据权利要求3所述的气路控制方法，其特征在于，步骤S142之后，步骤S143之前，还包括：
判断获得的所述目标阀门和/或目标流量计是否属于所述控制集合中的阀门和/或流量计，若是，则执行步骤S143，反之，输出报警。


5.根据权利要求3所述的气路控制方法，其特征在于，步骤S143具体包括：
当所述目标阀门的开关状态为开时，则调用开的指令将所述气路对应的阀门设定为开启；
当所述目标阀门的开关状态为关时，则调用关的指令将所述气路对应的阀门设定为关闭；和/或，
当所述流量计的流量值为A时，则调用设定的指令将所述气路中对应的流量计设定为流量值A。


6.一种气路控制装置，气路包括若干个阀门和若干个流量计组成的控制集合，其特征在于，所述装置包括：
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【专利技术属性】
技术研发人员：王晶，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11