一种易量产的可调谐垂直光路窄线宽外腔激光器制造技术

本实用新型专利技术涉及激光器技术领域，且公开了一种易量产的可调谐垂直光路窄线宽外腔激光器，包括激光器壳体，激光器壳体的内壁左侧固定安装有VECSEL芯片，VECSEL芯片的右侧固定安装有光阑，激光器壳体上下两侧的内壁上均固定安装有位于光阑右侧的限位块，限位块的相对侧固定安装有准直透镜，激光器壳体上下两侧的内壁上均活动安装有位于准直透镜右侧的调谐块，调谐块的相对侧固定安装有滤光片。该量产的可调谐垂直光路窄线宽外腔激光器，通过设计基于VECSEL芯片的垂直外腔光路，相对于传统的边发射激光器，外腔光路易调节，从而达到了便于调节光路的目的，并且容易进行量产，降低了成本，提高其经济效益，使用也比较方便，光路的设计支持极高输出功率。

A tunable vertical narrow linewidth external cavity laser

【技术实现步骤摘要】
一种易量产的可调谐垂直光路窄线宽外腔激光器
本技术涉及激光器
，具体为一种易量产的可调谐垂直光路窄线宽外腔激光器。
技术介绍
激光器为能发射激光的装置，而且可调谐激光器与其他传统的固态激光器相比，具有从近紫外到近红外的宽波段调谐范围，并且其本身尺寸小、线宽窄和光学效率高，这使其在光芯片实验室、通信、传感等领域具有重要的应用前景，并且外腔技术是激光器中非常重要的手段，常用于激光波长的调谐和线宽的压窄，同时外腔结构的激光器容易产生高输出功率，因此其在冷原子物理、环境监测、生物监测、工业测量和光谱学等诸多领域中被广泛应用，其中VECSEL激光器中文全称为垂直外腔面发射激光器，垂直外腔面发射激光器是激光器中的一种。当前已有的外腔激光器结构，使用的多是FP激光器，激光器侧面发光后，经过外腔端面返回激光器芯片中，形成振荡，这一类外腔激光器的光路调节要求非常高，严重制约了产能和成本，不容易进行量产，降低了经济效益，同时不便于对光路进行调节，调节起来过程比较繁琐，使用起来很不方便，故而提出一种易量产的可调谐垂直光路窄线宽外腔激光器来解决上述的问题本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种易量产的可调谐垂直光路窄线宽外腔激光器，包括激光器壳体(1)，其特征在于：所述激光器壳体(1)的内壁左侧固定安装有VECSEL芯片(2)，所述VECSEL芯片(2)的右侧固定安装有光阑(3)，所述激光器壳体(1)上下两侧的内壁上均固定安装有位于光阑(3)右侧的限位块(4)，所述限位块(4)的相对侧固定安装有准直透镜(5)，所述激光器壳体(1)上下两侧的内壁上均活动安装有位于准直透镜(5)右侧的调谐块(6)，所述调谐块(6)的相对侧固定安装有滤光片(7)，所述激光器壳体(1)上下两侧的内壁上均活动安装有位于滤光片(7)右侧的活动块(8)，所述活动块(8)的相对侧固定安装有反射镜(9)，所...

【技术特征摘要】
1.一种易量产的可调谐垂直光路窄线宽外腔激光器，包括激光器壳体(1)，其特征在于：所述激光器壳体(1)的内壁左侧固定安装有VECSEL芯片(2)，所述VECSEL芯片(2)的右侧固定安装有光阑(3)，所述激光器壳体(1)上下两侧的内壁上均固定安装有位于光阑(3)右侧的限位块(4)，所述限位块(4)的相对侧固定安装有准直透镜(5)，所述激光器壳体(1)上下两侧的内壁上均活动安装有位于准直透镜(5)右侧的调谐块(6)，所述调谐块(6)的相对侧固定安装有滤光片(7)，所述激光器壳体(1)上下两侧的内壁上均活动安装有位于滤光片(7)右侧的活动块(8)，所述活动块(8)的相对侧固定安装有反射镜(9)，所述反射镜(9)的右侧固定安装有压电陶瓷片(10)，所述激光器壳体(1)的右侧活动安装有与压电陶瓷片(10)固定连接的出光镜筒(11)。


2.根据权利要求1所述的一种易量产的可调谐垂直光路窄线宽外腔激光器，其特征在于：所述激光器壳体(1)的内壁上开设有滑槽，且活动块(8)通过滑槽与壳体(1)活动连接。


3.根据权利要求1所述的一种易量产的可调谐垂直光路窄线宽外腔激光器，其特征在于：所述VECSEL芯片(2)的基板上固定安装有VECSEL激光器，VECSEL激光器的结构中包含衬底，背光面高反射率分布式布拉格反射区(DBR)，出光面低反射率分布式布拉格反射区(DBR)，有源区、抗氧化层和电极，相对于一般的VCSEL激光器芯片，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱晓琪，段志儒，李建平，吴昊林，
申请(专利权)人：微源光子深圳科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44