具有透明窗组合件的用于固持及传送光罩的容器制造技术

本发明专利技术涉及一种用于传送光罩的盒，所述盒包含内罩盖及内底板。所述内底板与所述罩盖合作以建立用于安装光罩的空间。所述内底板包含具有周边的孔及从所述周边向内延伸的第一凸缘及第二凸缘。窗组合件安装于所述孔中。所述窗组合件包含透明板、密封件及保持器。所述密封件接触所述透明板的外平坦表面或侧平坦表面及所述孔的所述周边以密封所述窗组合件与所述孔之间的界面。所述保持器接触所述第二凸缘以将所述密封件及透明板保持于所述孔内。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有透明窗组合件的用于固持及传送光罩的容器相关申请案的交叉参考本申请案主张在2017年7月21日申请的美国临时申请案第62/535660号的权利及优先权，所述申请案的全文出于全部目的以引用的方式并入本文中。
本专利技术涉及存储、传送、运输及处理易碎装置(例如光掩模、光罩、半导体衬底及晶片)的技术。
技术介绍
极紫外线(EUV)光刻是用于制造集成电路及其它半导体装置的显影技术。反射式光掩模(也称为光罩)经形成具有在大量衬底(也称为晶片)上再现的所要图案。光罩是平面玻璃板，且每一晶片优选地为半导体材料薄片。一般来说，光刻涉及将晶片暴露于辐射源(在此情况中，极紫外线辐射)。辐射反射离开光罩且到晶片上以将图案从光罩转印到晶片。在与常规光刻中使用的光罩相比时，运用EUV光刻，光罩对污染及损坏尤其敏感。敏感度差异部分因辐射反射离开光罩(如与透射穿过光罩相反)而引起。辐射因当前不存在可用于光罩的对EUV辐射透明的材料而反射离开光罩。光罩污染的风险一般发生在容器中传送光罩期间。容器通常经密封以防止污染物进入容器。但是，光罩与容器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于传送光罩的盒，其包括：/n罩盖；及/n内底板，其经配置以与所述罩盖合作以建立用于安装光罩的空间，所述内底板包含：/n孔，其具有周边，/n第一凸缘，其从所述周边向内延伸且具有安装表面，/n第二凸缘，其从所述周边向内延伸，及/n窗组合件，其经配置以安装于所述孔中，所述窗组合件具有/n透明板，其具有内平坦表面、外平坦表面及侧平坦表面，所述内表面经配置以接触所述安装表面，/n密封件，其接触所述透明板的所述外平坦表面或侧平坦表面，且经配置以接触所述孔的所述周边且密封所述窗组合件与所述孔之间的界面，及/n保持器，其经配置以接触所述第二凸缘且将所述密封件及透明板保持于所述孔内。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170721 US 62/535,6601.一种用于传送光罩的盒，其包括：
罩盖；及
内底板，其经配置以与所述罩盖合作以建立用于安装光罩的空间，所述内底板包含：
孔，其具有周边，
第一凸缘，其从所述周边向内延伸且具有安装表面，
第二凸缘，其从所述周边向内延伸，及
窗组合件，其经配置以安装于所述孔中，所述窗组合件具有
透明板，其具有内平坦表面、外平坦表面及侧平坦表面，所述内表面经配置以接触所述安装表面，
密封件，其接触所述透明板的所述外平坦表面或侧平坦表面，且经配置以接触所述孔的所述周边且密封所述窗组合件与所述孔之间的界面，及
保持器，其经配置以接触所述第二凸缘且将所述密封件及透明板保持于所述孔内。


2.根据权利要求1所述的盒，其中所述保持器由聚合物制成。


3.根据权利要求1所述的盒，其中所述保持器是卡环。


4.根据权利要求3所述的盒，其中所述窗组合件具有垫圈。


5.根据权利要求4所述的盒，其中所述卡环由不锈钢制成，且所述垫圈由不锈钢制成。


6.根据权利要求1所述的盒，其中所述透明板是圆角矩形或是圆形的。


7.根据权利要求1所述的盒，其中所述保持器经配置以接触所述第二凸缘且将所述密封件及透明板可移除地保持于所述孔内。


8.根据权利要求1所述的盒，其中所述内底板经形成具有促进用工具移除所述窗组合件的缺口凹槽及在所述周边处的用以接纳所述保持器的底切区域。


9.根据权利要求1所述的盒，其中所述透明板经配置以促进从所述盒外部观看支撑于所述内底板上的光罩。


10.一种经配置以安装于内底板中的窗组合件，所述内底板具有拥有周边的孔、从所述周边向内延伸且具有安装表面的第一凸缘，及从所述周边向内延伸的第二凸缘，所述窗组合件包括：
透明板，其具有内平坦表面、外平坦表面及侧平坦表面，所述内表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·D·埃格刚，R·拉施克，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：美国;US