波纹管以及薄膜沉积设备制造技术

本发明专利技术提供一种波纹管以及薄膜沉积设备，属于沉积设备技术领域，其可至少部分解决现有的可伸长或者收缩的波纹管不能自限位的问题。本发明专利技术的一种波纹管，包括：本体，本体能够在轴向上伸长或者缩短；销轴，设于本体外侧，且处于本体的轴向上的第一位置；挂钩，挂钩的第一端与本体外侧连接，且处于本体的轴向上的第二位置，挂钩的第二端具有与销轴匹配的挂接结构，当第一位置与第二位置之间的轴向长度处于预定长度时，销轴能卡入挂接结构内，以限定第一位置与第二位置之间的轴向长度。

Bellows and film deposition equipment

【技术实现步骤摘要】
波纹管以及薄膜沉积设备
本专利技术属于沉积设备
，具体涉及一种波纹管以及薄膜沉积设备。
技术介绍
波纹管作为一种特殊的管道，其应用范围十分广泛，例如可作为沉积设备的通气管道、作为压力测量仪表的测量元件等。现有技术中一种波纹管94可作为一种薄膜沉积设备的通气管道，如图1a所示。该薄膜沉积设备的加热基座91的工作台(用于承载待沉积薄膜的基底)位于加热腔室92中，而加热基座91的支撑柱与设于加热腔室92外的升降基座95连接，使得升降基座95的升降可以调整加热基座91的位置。为在升降基座95运动时能保持加热腔室92的密封，在位于加热腔室92外面的支撑柱上套设一个波纹管94，波纹管94两端分别密封的连接加热腔室92具有通孔的外壁和升降基座95，故当升降基座95升降时，波纹管94伸缩，但加热腔室92一直保持密封。同时，波纹管94与支撑柱形成与加热腔室92连通的环状空腔，从而可通过该环状空腔向加热基座91背面吹气体，避免在加热基座91背面成膜。由于波纹管94的一端与加热腔室92外侧固定、另一端与升降基座95固定，而加热基座91的支撑柱需要固定在波纹管94内，因此，对加热基座91的安装或者拆卸过程如下，如图1b所示，首先需要人工将波纹管94与升降基座95固定的一端拆下并抬升，此时的波纹管94收缩，然后在波纹管94与升降基座95之间放置支撑件93，以固定波纹管94收缩后的形状，使升降基座95与波纹管94具有一定距离，最后再进行加热基座91的安装或者拆卸。然而，位于波纹管94与升降基座之间的用于限定波纹管94形状的支撑件93在实际安装或者拆卸过程中需要挪动位置，这样不仅可能导致收缩后波纹管94不稳定，从而影响加热基座91拆卸或者安装的效率，而且可能产生一些安全隐患，例如由于波纹管94的被支撑的一端突然下落而挤伤工作人员手。
技术实现思路
本专利技术至少部分解决现有的可伸长或者收缩的波纹管不能自限位的问题，提供一种自限位的可伸长或者收缩的波纹管。解决本专利技术技术问题所采用的技术方案是一种波纹管，包括：本体，所述本体能够在轴向上伸长或者缩短；销轴，设于所述本体外侧，且处于所述本体的轴向上的第一位置；挂钩，所述挂钩的第一端与所述本体外侧连接，且处于所述本体的轴向上的第二位置，所述挂钩的第二端具有与所述销轴匹配的挂接结构，当所述第一位置与所述第二位置之间的轴向长度处于预定长度时，所述销轴能卡入所述挂接结构内，以限定所述第一位置与所述第二位置之间的轴向长度。进一步优选的是，所述销轴与所述挂钩的第一端之间的连线平行于所述本体的轴向。进一步优选的是，所述本体外侧设有转轴，所述挂钩的第一端与所述转轴转动连接，从而使所述挂钩与所述本体转动连接。进一步优选的是，所述挂钩为板状，包括两个相对的主表面和连接在两所述主表面间的侧面，所述挂钩的第一端具有连通两所述主表面的孔，所述转轴穿设于所述孔中；所述挂钩的第二端具有远离所述第一端的下侧面，以及与所述下侧面相连的两个边侧面，所述挂接结构为设于其中一个所述边侧面的凹槽；当所述第一位置与所述第二位置之间的轴向长度缩短到预定长度时，所述挂钩的下侧面能够在所述销轴上滑动，以使所述销轴卡入所述凹槽内。进一步优选的是，所述挂钩的下侧面与所述凹槽所在的所述边侧面之间的夹角为120°至150°。进一步优选的是，所述第一位置和所述第二位置分别处于所述本体的两端。进一步优选的是，所述本体两端分别具有第一法兰和第二法兰。进一步优选的是，所述预定长度不大于所述挂钩的第一端与所述挂接结构之间的距离。进一步优选的是，所述销轴与所述挂钩的数量相同，均为至少两个，且分别沿所述本体的周向均匀分布。解决本专利技术技术问题所采用的技术方案是一种薄膜沉积设备，包括：加热腔室，包括位于所述加热腔室底部的安装孔，所述安装孔将所述加热腔室与外界连通；上述任意之一所述的波纹管，所述波纹管的本体的一端与所述加热腔室外壁连接，并与所述安装孔对应；升降基座，设于所述加热腔室外，所述波纹管的本体的另一端与所述升降基座连接，所述升降基座上升或者下降时，带动所述波纹管缩短或者伸长；加热基座，包括位于所述加热腔室内的工作台以及用于支撑所述工作台的支撑杆，所述支撑杆的一端与所述工作台连接，另一端穿过所述安装孔和所述波纹管通道安装在所述升降基座上。本专利技术的波纹管，其销轴和挂钩结构的相互配合可以限定波纹管本体的长度，从而使得该波纹管的运用范围更加广泛。此外，该波纹管可运用在避免加热基座底面沉积的薄膜沉积设备中，在拆卸或者安装该薄膜沉积设备的加热基座的过程中，该波纹管可以自行限定其被压缩后的形状，可以不必使用现有技术中的支撑件，这样不仅使收缩后波纹管形状更加稳定，从而提高加热基座拆卸或者安装的效率，而且避免一些安全隐患，例如可以避免由于波纹管的被支撑的一端突然下落而挤伤工作人员手的事故等。附图说明图1a和图1b为现有的具有波纹管的薄膜沉积设备的结构示意图；图2a为本专利技术的实施例的一种波纹管的结构示意图；图2b为本专利技术的实施例的一种波纹管的挂钩的结构示意图；图3a-图3e为本专利技术的实施例的一种薄膜沉积设备安装加热基座的各个步骤示的结构示意图；其中，附图标记为：10、94波纹管；11本体；20销轴；30挂钩；31转轴；32边侧面；33下侧面；34挂接结构；41第一法兰；42第二法兰；50、92加热腔室；60、95升降基座；70、91加热基座；93支撑件。具体实施方式为使本领域技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细描述。实施例1：如图2a和图2b所示，本实施例提供一种波纹管10，包括：本体11，本体11能够在轴向上伸长或者缩短；销轴20，设于本体11外侧，且处于本体11的轴向上的第一位置；挂钩30，挂钩30的第一端与本体11外侧连接，且处于本体11的轴向上的第二位置，挂钩30的第二端具有与销轴20匹配的挂接结构34，当第一位置与第二位置之间的轴向长度处于预定长度时，销轴20能卡入挂接结构34内，以限定第一位置与第二位置之间的轴向长度。其中，也就是说波纹管10的本体11是具有波纹的管状，并且该管状的波纹管10的长短可以改变。销轴20和挂钩30分别连接在波纹管10长度变化的方向上的不同位置，即第一位置和第二位置在波纹管10长度变化的方向上的不同位置。第一位置和第二位置之间的自然长度(无外力作用下的长度)一般不等于预定长度，当波纹管10由于外力作用的使其第一位置和第二位置之间达到预定长度时，销轴20卡入挂接结构34将第一位置和第二位置之间的长度固定。本实施例的波纹管10具有可以限定波纹管10本体11的长度的结构，从而可以适应实际运用中对不同长度的波纹管10的需求，进而使得该波纹管10的运用范围更加广泛。优选的，销轴20与挂钩30的第一端之间本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种波纹管，其特征在于，包括：/n本体，所述本体能够在轴向上伸长或者缩短；/n销轴，设于所述本体外侧，且处于所述本体的轴向上的第一位置；/n挂钩，所述挂钩的第一端与所述本体外侧连接，且处于所述本体的轴向上的第二位置，所述挂钩的第二端具有与所述销轴匹配的挂接结构，当所述第一位置与所述第二位置之间的轴向长度处于预定长度时，所述销轴能卡入所述挂接结构内，以限定所述第一位置与所述第二位置之间的轴向长度。/n

【技术特征摘要】
1.一种波纹管，其特征在于，包括：
本体，所述本体能够在轴向上伸长或者缩短；
销轴，设于所述本体外侧，且处于所述本体的轴向上的第一位置；
挂钩，所述挂钩的第一端与所述本体外侧连接，且处于所述本体的轴向上的第二位置，所述挂钩的第二端具有与所述销轴匹配的挂接结构，当所述第一位置与所述第二位置之间的轴向长度处于预定长度时，所述销轴能卡入所述挂接结构内，以限定所述第一位置与所述第二位置之间的轴向长度。


2.根据权利要求1所述的波纹管，其特征在于，所述销轴与所述挂钩的第一端之间的连线平行于所述本体的轴向。


3.根据权利要求1所述的波纹管，其特征在于，所述本体外侧设有转轴，所述挂钩的第一端与所述转轴转动连接，从而使所述挂钩与所述本体转动连接。


4.根据权利要求3所述的波纹管，其特征在于，所述挂钩为板状，包括两个相对的主表面和连接在两所述主表面间的侧面，所述挂钩的第一端具有连通两所述主表面的孔，所述转轴穿设于所述孔中；
所述挂钩的第二端具有远离所述第一端的下侧面，以及与所述下侧面相连的两个边侧面，所述挂接结构为设于其中一个所述边侧面的凹槽；当所述第一位置与所述第二位置之间的轴向长度缩短到预定长度时，所述挂钩的下侧面能够在所述销轴上滑动，以使所述销轴卡入所述凹槽内。


5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：王帅伟，兰云峰，王勇飞，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11