蒸镀掩模的制造方法技术

技术编号:23621884 阅读:48 留言:0更新日期:2020-03-31 20:01
本发明专利技术涉及蒸镀掩模的制造方法。本发明专利技术的目的是提供一种可制作翘曲小的蒸镀掩模的金属板。对从退火工序后的金属板中取得的样品进行了蚀刻的情况下,蚀刻后的样品的翘曲的曲率k为0.008mm

Manufacturing method of evaporated mask

【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模的制造方法本申请是分案申请,其原申请的中国国家申请号为201480003438.3,申请日为2014年1月10日,专利技术名称为“金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法”。
本专利技术涉及通过形成2个以上贯通孔而用于制造蒸镀掩模的金属板。本专利技术还涉及金属板的制造方法。此外,本专利技术还涉及使用金属板制造用于以所期望的图案进行蒸镀的蒸镀掩模的方法。
技术介绍
近年来,对于智能手机和平板电脑等可携带器件中使用的显示装置,要求高精细、例如像素密度为300ppi以上。另外,可携带器件中,在对应全高清上的需要正在提高,这种情况下,显示装置的像素密度要求为例如450ppi以上。由于响应性好、耗电低,有机EL显示装置受到瞩目。作为有机EL显示装置的像素形成方法,已知的方法是,使用包含以所期望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模,以所期望的图案形成像素。具体地说,首先,使蒸镀掩模密合于有机EL显示装置用的基板,接着,将密合的蒸镀掩模和基板一同投入蒸镀装置,进行有机材料等的蒸镀。蒸镀掩模一般如下制造得到:通过利用了照相平版印本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模的制造方法,所述方法包括:供给延伸成带状的长金属板的工序;将利用了照相平版印刷技术的蚀刻实施于长金属板,在长金属板上从第1面侧形成第1凹部的工序;和,将利用了照相平版印刷技术的蚀刻实施于长金属板,在长金属板上从第2面侧形成第2凹部的工序;并且,形成于长金属板的第1凹部和第2凹部相互相通,从而在长金属板上制作出贯通孔,第2凹部的形成工序在第1凹部的形成工序之前实施,并且在第2凹部的形成工序与第1凹部的形成工序之间进一步设置有对所制作的第2凹部进行密封的工序。/n

【技术特征摘要】
20130110 JP 2013-002924;20130724 JP 2013-1539201.一种蒸镀掩模的制造方法,所述方法包括:供给延伸成带状的长金属板的工序;将利用了照相平版印刷技术的蚀刻实施于长金属板,在长金属板上从第1面侧形...

【专利技术属性】
技术研发人员:池永知加雄
申请(专利权)人:大日本印刷株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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