一种有毒废气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种有毒废气的处理装置，主要包含湿式电除尘器（1）、一级洗涤塔（3）、二级洗涤塔（6）、三级洗涤塔（9），进入湿式电除尘系统除去废气中含氟颗粒物，然后进入一至三级洗涤塔，在塔内使用化学药剂处理废气中的酸碱性气体、N0x、氟化物等，尾气达标排放。

A toxic waste gas treatment device

【技术实现步骤摘要】
一种有毒废气处理装置
本技术涉及一种有毒废气的净化系统，尤其涉及一种TFT-LCD行业排放的有毒废气处理装置。
技术介绍
TFT-LCD行业有毒废气主要来自于化学气相沉积（CVD）和干法刻蚀（DE）等工序中使用SiH4、NH3、PH3、NF3、SF6、N2O、Cl2等特殊废气，除部分在工艺中反应消耗外，少量以尾气的形式放，主要污染物为氯气、氨气、氯化氢、氟化物、氮氧化物等，复杂的废气成分，单一的处理方式或技术已无法实际有毒废气的达标排放，需要一套特殊的系统来实现各类有毒污染物的达标排放。
技术实现思路
针对复杂的有毒废气难以通过单一的技术实现达标排放，本技术提供了一种有毒废气处理装置。本技术提供的有毒废气处理装置，包括湿式电除尘器1、NaOH储罐2、一级洗涤塔3、H2SO4储罐4、NaCLO2储罐5、二级洗涤塔6、NaOH储罐7、NaHS储罐8、三级洗涤塔9、NaOH储罐10、风机11、控制系统12、废气在线监测系统13。所述的NaOH储罐2向湿式电除尘器1内喷撒NaOH与有毒废气充分混合反应。所述的H2SO4储罐4、NaCLO2储罐5向一级洗涤塔3内喷撒H2SO4和NaCLO2与有毒废气充分混合反应。所述的NaOH储罐7、NaHS储罐8向二级洗涤塔6内喷撒NaOH和NaHS与有毒废气充分混合反应。所述的NaOH储罐10向三级洗涤塔9内喷撒NaOH与有毒废气充分混合反应所述的有毒废气的流动途径是依次经过湿式电除尘器1、一级洗涤塔3、二级洗涤塔6、三级洗涤塔9、风机11，最后达标排放。作为进一步地优先，本技术所述的湿式电除尘器1、一级洗涤塔3、二级洗涤塔6、三级洗涤塔9出口烟气处都装有ORP值监测仪，控制系统12根据ORP值来调节各类储罐中化学试剂的喷撒量。作为进一步地优先，本技术所述的湿式电除尘器1用于去除废气中含氟颗粒物；作为进一步地优先，本技术所述的NaOH储罐2用于中和有毒废气中的酸性气体；作为进一步地优先，本技术所述的H2SO4储罐4、NaCLO2储罐5用于酸性环境中将NO氧化成NO2；作为进一步地优先，本技术所述的NaOH储罐7、NaHS储罐8用于将废气中的NO2还原成N2及盐类；作为进一步地优先，本技术所述的NaOH储罐10用于中和废气中残留的CL2、氟化物等酸性气体。附图说明图1是实施例中有毒废气处理装置结构图。具体实施方式为了使本技术实施的目的、技术方案、控制、和优点更加清楚明确，结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的流程、技术方案进行明确、完整的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。针对TFT-LCD行业排放的有毒废气，有毒废气主要来自于化学气相沉积（CVD）和干法刻蚀（DE）等工序中使用SiH4、NH3、PH3、NF3、SF6、N2O、Cl2等特殊废气，除部分在工艺中反应消耗外，少量以尾气的形式放，主要污染物为氯气、氨气、氯化氢、氟化物、氮氧化物等。本技术提供的有毒废气处理装置，包括湿式电除尘器1、NaOH储罐2、一级洗涤塔3、H2SO4储罐4、NaCLO2储罐5、二级洗涤塔6、NaOH储罐7、NaHS储罐8、三级洗涤塔9、NaOH储罐10、风机11、控制系统12、废气在线监测系统13。具体的实施步骤：（1）所述的有毒废气的流动途径是依次经过湿式电除尘器1、一级洗涤塔3、二级洗涤塔6、三级洗涤塔9、风机11，最后达标排放；（2）所述的湿式电除尘器1用于去除废气中含氟颗粒物；（3）所述的NaOH储罐2用于中和有毒废气中的酸性气体；（4）所述的H2SO4储罐4、NaCLO2储罐5用于酸性环境中将NO氧化成NO2；（5）所述的NaOH储罐7、NaHS储罐8用于将废气中的NO2还原成N2及盐类；（6）所述的NaOH储罐10用于中和废气中残留的CL2、氟化物等酸性气体；（7）所述的湿式电除尘器1、一级洗涤塔3、二级洗涤塔6、三级洗涤塔9出口烟气处都装有ORP值监测仪，控制系统12根据ORP值来调节各类储罐中化学试剂的喷撒量。经过一整套的系统，可以处理废气中的颗粒物、酸性废气、N0x、氟化物等，处理效率在95%以上。案例1某TFT-LCD工厂排放有毒废气排放量60000m3/h。（1）废气依次经过湿式电除尘器，通过调节湿式水量和添加NaOH，通过控制碱洗后废水ORP值维持在400mv左右来控制NaOH投入量，该段处理工艺，将废气中含氟颗粒物吸附并中和废气中酸性气体；（2）经过湿式电除尘器后的废气进一级洗涤塔，加入H2SO4来保证塔内废气酸性环境，NaCLO2将烟气中的NO反应成NO2，设定一级洗涤塔出口ORP值维持在400mv，通过控制H2SO4和NaCLO2投加量来控制ORP值维持在400mv；（3）经过一级洗涤塔后的废气进入二级洗涤塔，加入NaOH来保证塔内废气碱性环境，NaHS将烟气中的NO2反应成N2和盐类，设定二级洗涤塔出口ORP值维持在450mv，通过控制NaOH和NaHS投加量来控制ORP值维持在450mv；（4）经过二级洗涤塔后的废气进入三级洗涤塔，加入NaOH中和废气中残留的CL2、氟化物等酸性气体，设定三级洗涤塔出口ORP值维持在450mv，通过控制NaOH投加量来控制ORP值维持在450mv。烟气通过三级洗涤塔之后，对处理后的排放的尾气进行监测，结果显示尾气排放的污染物均达到国家相关标准。排放尾气污染物监测值（单位：mg/m3）污染物名称1月2月3月4月5月氮氧化物52.968.059.932.165.2氨1.7161.30.00.0氯化氢1.70.421.14.70.4氟化物2.31.63.31.53.1氯气10.12.80.31.30.3本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有毒废气处理装置，其特征在于，包括湿式电除尘器(1)、NaOH储罐(2)、一级洗涤塔(3)、H

【技术特征摘要】
1.一种有毒废气处理装置，其特征在于，包括湿式电除尘器(1)、NaOH储罐(2)、一级洗涤塔(3)、H2SO4储罐(4)、NaCLO2储罐(5)、二级洗涤塔(6)、NaOH储罐(7)、NaHS储罐(8)、三级洗涤塔(9)、NaOH储罐(10)、风机(11)、控制系统(12)、废气在线监测系统(13)；
所述的NaOH储罐(2)向湿式电除尘器(1)内喷撒NaOH与有毒废气充分混合反应；所述的H2SO4储罐(4)、NaCLO2储罐(5)向一级洗涤塔(3)内喷撒H2SO4和NaCLO2与有毒废气充分混合反应；所述的NaOH储罐(7)、NaHS储罐(8)向二级洗涤塔(6)内喷撒NaOH和NaHS与有毒废气充分混合反应；所述的NaOH储罐(10)向三级洗涤塔(9)内喷撒NaOH与有毒废气充分混合反应；
所述的有毒废气的流动途径是依次经过湿式电...

【专利技术属性】
技术研发人员：盛守祥，冯俊亭，陈琛，冯连顺，马建，
申请(专利权)人：盛守祥，
类型：新型
国别省市：安徽;34