数据处理方法、装置与系统、以及计算器可读取记录介质制造方法及图纸

一种数据处理方法、装置与系统、以及计算器可读取记录介质，在对多个单位处理数据(各单位处理数据包含多种时间序列数据)进行处理的数据处理方法中，包含：单位处理数据选择步骤，从多个单位处理数据中选择两个以上的单位处理数据；第一评价值计算步骤，算出关于被选择单位处理数据中所含的各时间序列数据的评价值，所述被选择单位处理数据是在单位处理数据选择步骤中所选择的单位处理数据；以及第一评价值分布制作步骤，基于在第一评价值计算步骤中所算出的关于各时间序列数据的评价值，针对每种时间序列数据来制作评价值分布，所述评价值分布表示评价值的每个值的度数。

Data processing methods, devices and systems, and computer readable recording media

【技术实现步骤摘要】
数据处理方法、装置与系统、以及计算器可读取记录介质
本专利技术涉及一种数字数据(digitaldata)处理，尤其涉及一种对时间序列数据进行处理的数据处理方法、装置与系统、以及计算器可读取记录介质。
技术介绍
作为检测设备或装置的异常的方法，已知有下述方法：使用传感器(sensor)等来测定表示设备或装置的动作状态的物理量(例如长度、角度、时间、速度、力、压力、电压、电流、温度、流量等)，并对将测定结果按照发生顺序排列所得的时间序列数据进行分析。当设备或装置在相同的条件下进行相同的动作时，若无异常，则时间序列数据同样地变化。因此，通过将同样地变化的多个时间序列数据相互进行比较以检测异常的时间序列数据，并对所述异常的时间序列数据进行分析，可确定异常的产生部位或异常的原因。而且，近年来，计算机(computer)的数据处理能力显著提高。因此，即使数据量庞大，也能以实用性的时间得到所需结果的情况(case)多。因此，时间序列数据的分析逐渐变得盛行。例如，在半导体基板的制造领域中，时间序列数据的分析也逐渐变得盛行。在半导体基板(以下称作“基板”)的制造工序中，由基板处理装置执行一系列处理。基板处理装置包含对基板进行一系列处理中的特定处理的多个处理单元。各处理单元依据预定的流程(称作“配方(recipe)”)来对基板进行处理。此时，基于各处理单元中的测定结果，得到时间序列数据。通多对所得到的时间序列数据进行分析，能够确定发生异常的处理单元或异常的原因。此外，“配方”一词不仅仅用于对基板进行的处理，也用于在基板处理之前进行的前处理、或者用以在处理单元未进行对基板的处理的期间进行处理单元的状态维持/管理或与处理单元相关的各种测定的处理等。但是，本说明书中，着眼于对基板进行的处理。另外，与通过基板的制造而获得的时间序列数据的异常度的计算相关的专利技术在日本专利特开2017-83985号公报中有所公开。一般而言，在基板的制造工序中，通过配方的执行，获得关于数量庞大的参数(各种物理量)的时间序列数据。时间序列数据是如下所述的数据，即，在执行配方时，使用传感器等来测定各种物理量(例如，从喷嘴(nozzle)供给的处理流体的流量或温度、腔室(chamber)内的湿度、腔室的内压、腔室的排气压等)，并将测定结果按照时间序列排列所得的数据。而且，将对由摄像机(camera)所拍摄的图像实施分析所得的数据按照时间序列所得者也成为时间序列数据。并且，各时间序列数据是否异常的判定是通过下述方式来进行，即，将时间序列数据的数据值与阈值进行比较，或者将由所述数据值按照规定的计算规则(rule)计算所得的值与阈值进行比较。另外，阈值是针对每个参数而设定。此外，决定关于各参数的阈值的作业是非常繁琐的作业，对于数量庞大的参数分别求出理想的阈值是极为困难的。而且，由于所设定的阈值并不一定是理想值，因此异常判定的精度并不良好。即，根据以往的方法，无法精度良好地检测时间序列数据的异常。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供一种数据处理方法，不需要用户进行繁琐的作业，而能够较以往精度良好地进行使用时间序列数据的异常检测。本专利技术的一方面是一种数据处理方法，将通过单位处理所得到的多种时间序列数据作为单位处理数据，对多个单位处理数据进行处理，所述数据处理方法包括：单位处理数据选择步骤，从所述多个单位处理数据中选择两个以上的单位处理数据；第一评价值计算步骤，算出关于被选择单位处理数据中所含的各时间序列数据的评价值，所述被选择单位处理数据是在所述单位处理数据选择步骤中所选择的单位处理数据；以及第一评价值分布制作步骤，基于在所述第一评价值计算步骤中所算出的关于各时间序列数据的评价值，针对每种时间序列数据来制作评价值分布，所述评价值分布表示评价值的每个值的度数。根据此种结构，算出关于由用户所选择的单位处理数据中所含的各时间序列数据的评价值。并且，制作表示评价值的分布的评价值分布。此处，在新获得时间序列数据时，能够使用评价值分布来进行所述时间序列数据的异常检测。此时，例如，能够基于根据评价值分布的制作源数据(评价值的数据)而获得的统计值，来设定用于进行异常判定的阈值。根据以上所述，不需要用户进行繁琐的作业，而能够较以往精度良好地进行使用时间序列数据的异常检测。本专利技术的另一方面是一种数据处理装置，将通过单位处理所得到的多种时间序列数据作为单位处理数据，对多个单位处理数据进行处理，所述数据处理装置包括：单位处理数据选择部，从所述多个单位处理数据中选择两个以上的单位处理数据；评价值计算部，算出关于被选择单位处理数据中所含的各时间序列数据的评价值，所述被选择单位处理数据是由所述单位处理数据选择部所选择的单位处理数据；以及评价值分布制作部，基于由所述评价值计算部所算出的关于各时间序列数据的评价值，针对每种时间序列数据来制作评价值分布，所述评价值分布表示评价值的每个值的度数。本专利技术的又一方面是一种数据处理系统，将通过由基板处理装置所执行的单位处理而得到的多种时间序列数据作为单位处理数据，对多个单位处理数据进行处理，且所述数据处理系统包含多个基板处理装置，所述数据处理系统包括：单位处理数据选择部，从所述多个单位处理数据中选择两个以上的单位处理数据；评价值计算部，算出关于被选择单位处理数据中所含的各时间序列数据的评价值，所述被选择单位处理数据是由所述单位处理数据选择部所选择的单位处理数据；以及评价值分布制作部，基于由所述评价值计算部所算出的关于各时间序列数据的评价值，针对每种时间序列数据来制作评价值分布，所述评价值分布表示评价值的每个值的度数。本专利技术的进而又一方面是一种计算器可读取记录介质，存储有数据处理程序，数据处理程序用于使计算机(computer)执行单位处理数据选择步骤、评价值计算步骤及评价值分布制作步骤，所述计算机将通过单位处理所得到的多种时间序列数据作为单位处理数据，对多个单位处理数据进行处理，所述单位处理数据选择步骤是从所述多个单位处理数据中选择两个以上的单位处理数据，评价值计算步骤是算出关于被选择单位处理数据中所含的各时间序列数据的评价值，所述被选择单位处理数据是在所述单位处理数据选择步骤中所选择的单位处理数据，所述评价值分布制作步骤是基于在所述评价值计算步骤中所算出的关于各时间序列数据的评价值，针对每种时间序列数据来制作评价值分布，所述评价值分布表示评价值的每个值的度数。本专利技术的所述及其他目的、特征、形态及效果当可参照附图而根据本专利技术的下述详细说明来进一步明确。附图说明图1是表示本专利技术的一实施方式的数据处理系统(基板处理装置用的数据处理系统)的整体结构的框图。图2是在所述实施方式中表示基板处理装置的概略结构的图。图3是在所述实施方式中将某一个时间序列数据图表化而表示的图。图4是在所述实施方式中用于对单位处理数据进行说明的图。图5是在所述实施方式中表示数据处理装置的硬件(hard本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种数据处理方法，将通过单位处理所得到的多种时间序列数据作为单位处理数据，对多个单位处理数据进行处理，所述数据处理方法包括：/n单位处理数据选择步骤，从所述多个单位处理数据中选择两个以上的单位处理数据；/n第一评价值计算步骤，算出关于被选择单位处理数据中所含的各时间序列数据的评价值，所述被选择单位处理数据是在所述单位处理数据选择步骤中所选择的单位处理数据；以及/n第一评价值分布制作步骤，基于在所述第一评价值计算步骤中所算出的关于各时间序列数据的评价值，针对每种时间序列数据来制作评价值分布，所述评价值分布表示评价值的每个值的度数。/n

【技术特征摘要】
20180920 JP 2018-1762571.一种数据处理方法，将通过单位处理所得到的多种时间序列数据作为单位处理数据，对多个单位处理数据进行处理，所述数据处理方法包括：
单位处理数据选择步骤，从所述多个单位处理数据中选择两个以上的单位处理数据；
第一评价值计算步骤，算出关于被选择单位处理数据中所含的各时间序列数据的评价值，所述被选择单位处理数据是在所述单位处理数据选择步骤中所选择的单位处理数据；以及
第一评价值分布制作步骤，基于在所述第一评价值计算步骤中所算出的关于各时间序列数据的评价值，针对每种时间序列数据来制作评价值分布，所述评价值分布表示评价值的每个值的度数。


2.根据权利要求1所述的数据处理方法，还包括：
基准数据选择步骤，从所述多个单位处理数据中，选择作为计算评价值时的基准的基准数据，
在所述第一评价值计算步骤中，将所述被选择单位处理数据中所含的各时间序列数据与在所述基准数据选择步骤中选择的基准数据进行比较，由此来进行评价值的计算。


3.根据权利要求2所述的数据处理方法，其中
所述基准数据选择步骤包括：
临时基准数据设定步骤，将所述被选择单位处理数据的一个定为临时基准数据；以及
比较值计算步骤，求出通过将所述临时基准数据与所述被选择单位处理数据中的所述临时基准数据以外的单位处理数据分别进行比较而获得的评价值的平均值或合计值，来作为比较值，
在所述基准数据选择步骤中，
重复所述临时基准数据设定步骤与所述比较值计算步骤，直至所述被选择单位处理数据全部被逐次定为临时基准数据为止，
选择在所述比较值计算步骤中求出的比较值达到最小时被定为临时基准数据的单位处理数据，来作为所述基准数据。


4.根据权利要求3所述的数据处理方法，其中
在所述基准数据选择步骤中，针对每种时间序列数据，选择在所述比较值计算步骤中求出的比较值达到最小时被定为临时基准数据的单位处理数据，来作为所述基准数据。


5.根据权利要求2所述的数据处理方法，其中
所述基准数据选择步骤包括：
中央值数据制作步骤，针对每种时间序列数据，制作中央值数据，所述中央值数据包含所述被选择单位处理数据在各时间点的中央值的数据；以及
得分计算步骤，将所述被选择单位处理数据分别与所述中央值数据进行比较，由此，针对每种时间序列数据来求出得分，所述得分相当于关于各个所述被选择单位处理数据的评价值，
在所述基准数据选择步骤中，选择针对每种时间序列数据而求出的得分的合计值为最佳的被选择单位处理数据，来作为所述基准数据。


6.根据权利要求2所述的数据处理方法，其中
所述基准数据选择步骤包括：
中央值数据制作步骤，针对每种时间序列数据，制作中央值数据，所述中央值数据包含所述被选择单位处理数据在各时间点的中央值的数据；以及
得分计算步骤，将所述被选择单位处理数据分别与所述中央值数据进行比较，由此，针对每种时间序列数据来求出得分，所述得分相当于关于各个所述被选择单位处理数据的评价值，
在所述基准数据选择步骤中，选择针对每种时间序列数据而在所述得分计算步骤中求出的得分为最佳的被选择单位处理数据，来作为所述基准数据。


7.根据权利要求2所述的数据处理方法，其中
所述单位处理是由具有多个处理单元的基板处理装置针对一片基板而作为一个配方来执行的处理，
所述基准数据选择步骤中的基准数据的选择是从通过指定期间、处理单元及配方中的至少任一者而提取的单位处理数据中进行。


8.根据权利要求1所述的数据处理方法，其中
所述单位处理是由具有多个处理单元的基板处理装置针对一片基板而作为一个配方来执行的处理，
所述单位处理数据选择步骤中的单位处理数据的选择是从通过指定期间、处理单元及配方中的至少任一者而提取的单位处理数据中进行。


9.根据权利要求1所述的数据处理方法，其中
在所述第一评价值计算步骤中，将所述被选择单位处理数据中所含的各时间序列数据与预定的基准数据进行比较，由此来进行评价值的计算。


10.根据权利要求1所述的数据处理方法，其中
所述单位处理是由具有多个处理单元的基板处理装置针对一片基板而作为一个配方来执行的处理，
所述单位处理数据选择步骤包括：
偏差计算步骤，基于关于各时间序列数据的评价值，针对每个处理单元来算出评价值的偏差；
处理单元指定步骤，在所述偏差计算步骤中所算出的偏差中得到的最小偏差的处理单元进行指定；以及
单位处理数据提取步骤，提取与在所述处理单元指定步骤中所指定的处理单元对应的单位处理数据，来作为所述两个以上的单位处理数据。


11.根据权利要求1所述的数据处理方法，其中
在所述第一评价值分布制作步骤中，进行在所述第一评价值计算步骤中所算出的评价值的标准化，基于标准化后的评价值来制作所述评价值分布。


12.根据权利要求1所述的数据处理方法，还包括：
评价值分布更新步骤，更新所述评价值分布。


13.根据权利要求12所述的数据处理方法，其中
所述单位处理是由具有多个处理单元的基板处理装置针对一片基板而作为一个配方来执行的处理，
所述评价值分布更新步骤包括：
偏差计算步骤，基于关于各时间序列数据的评价值，来对每个处理单元算出评价值的偏差；
处理单元指定步骤，在所述偏差计算步骤中算出的偏差中获得的最小偏差的处理单元进行指定；
...

【专利技术属性】
技术研发人员：犹原英司，山本麻友美，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本;JP