【技术实现步骤摘要】
数据处理方法、数据处理装置及记录介质
本专利技术涉及一种数字数据(digitaldata)处理，特别是涉及一种由基板处理装置测定的数据的处理方法、处理装置及处理程序。
技术介绍
作为检测设备或装置的异常的方法，已经知道如下的方法：利用传感器等，测定表示设备或装置的动作状态的物理量(例如，长度、角度、时间、速度、力、压力、电压、电流、温度、流量等)，并对按时序顺序排列测定结果而获得的时序数据进行分析。当设备或装置在相同条件下进行相同动作时，如果没有异常，时序数据就会同样地发生变化。因此，可以对同样地变化的多个时序数据进行相互比较，检测出异常的时序数据，并对其进行分析而确定异常的产生部位或原因。在半导体基板(以下称为基板)的制造工序中，利用多个基板处理装置而执行一系列的处理。基板处理装置包含一个以上的处理单元，所述一个以上的处理单元对基板进行一系列处理中的特定处理。处理单元按照预定的顺序(称为方案(recipe))对基板进行处理。这时，基于处理单元的测定结果，可获得时序数据。通过对所获得的时序数据进行分析，能够确定产生有...
【技术保护点】
1.一种数据处理方法，对包括一个以上的处理单元的基板处理装置中所获得的时序数据进行处理，所述数据处理方法包括：/n评估值计算步骤，通过对所述时序数据与基准数据进行比较，而求出所述时序数据的评估值；/n等级判定步骤，将所述评估值分类成多个等级；以及/n结果显示步骤，针对所述处理单元，显示包括第一曲线图的评估结果画面，所述第一曲线图表示所述评估值的各等级的产生比例。/n
【技术特征摘要】
20180920 JP 2018-1762561.一种数据处理方法，对包括一个以上的处理单元的基板处理装置中所获得的时序数据进行处理，所述数据处理方法包括：
评估值计算步骤，通过对所述时序数据与基准数据进行比较，而求出所述时序数据的评估值；
等级判定步骤，将所述评估值分类成多个等级；以及
结果显示步骤，针对所述处理单元，显示包括第一曲线图的评估结果画面，所述第一曲线图表示所述评估值的各等级的产生比例。
2.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，所述第一曲线图以等级越差越容易识别的形态来显示。
3.根据权利要求2所述的数据处理方法，其特征在于，所述第一曲线图以等级越差越深的颜色来显示。
4.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，所述第一曲线图是圆形曲线图或条形曲线图。
5.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，所述评估结果画面针对所述处理单元，还包括所述评估值的各等级的产生次数。
6.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，所述评估结果画面针对所述处理单元，还包括第二曲线图，所述第二曲线图表示利用规定的方法对基板进行了处理时的所述评估值的最差等级的产生次数的随时间的变化。
7.根据权利要求6所述的数据处理方法，其特征在于，所述第二曲线图是柱状曲线图或折线曲线图。
8.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，还包括：
等级选择步骤，从所述等级判定步骤中所求出的等级之中，选择满足所赋予的条件的基板所相关的等级；并且
所述结果显示步骤基于所述等级选择步骤中所选择的等级，显示所述评估结果画面。
9.根据权利要求8所述的数据处理方法，其特征在于，所述等级选择步骤至少以基板的处理期间、针对基板的处理、及对基板进行了处理的处理单元中的任一者为条件，选择所述等级。
10.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，所述结果显示步骤除了所述评估结果画面以外，还分层地显示用于选择求出所述评估值的方法的画面、显示求出所述评估值的历史的历史画面、用于选择显示对象的画面、及包括所述时序数据的曲线图的画面、或包括表示所述评估值的随时间的变化的曲线图的趋势画面中的任一者。
11.根据权利要求10所述的数据处理方法，其特征在于，所述结果显示步骤显示所述趋势画面，
在所述趋势画面内的曲线图中，在所述历史画面内所选择的处理结果所对应的位置标注有标记。
12.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：犹原英司，藤原友则，平藤祐美子，园田敦，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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