一种宽带反射器及电磁波反射方法技术

本发明专利技术涉及一种宽带反射器及电磁波反射方法，反射器包括基底、平行于所述基底设置的两层或者多层高折射率差光栅，各层高折射率差光栅之间以及最下层高折射率差光栅距离所述基底之间都有一定间隔。各层高折射率差光栅的高反射率波段主体部分互不相同；同时对于高反射率波段主体部分相邻的两层高折射率差光栅来说，它们的高反射率波段主体部分相互交叠，重合的波段也具有高反射率。本发明专利技术的宽带反射器具有无损耗、反射率高、带宽较宽、成本低、制作工艺简单的优点，对高光谱成像，可调滤波器等光学领域器件的加工及设计有很大的帮助。

A broadband reflector and method of electromagnetic wave reflection

【技术实现步骤摘要】
一种宽带反射器及电磁波反射方法
本专利技术属于集成光学
，具体涉及一种基于两层及两层以上的级联反射式光栅的，能够在激光器、高光谱成像、可调滤波器等众多领域进行应用的宽带反射器。
技术介绍
宽带反射器用于实现特定波长电磁波的反射，是重要的光学元件，在激光器、高光谱成像、可调滤波器等众多领域都有广泛的应用。比较常见的一种是使用金属反射镜，例如银或铝，虽然此类反射器具有较宽的反射带宽，但是金属的本征损耗对反射率却有较大影响。另一种常用的反射器是分布式布拉格光栅(DBR)，采用多层高低折射率不同的材料堆叠而成，具有较高的反射率，但是此类反射器的厚度都比较高，通常在微米级，并且在加工过程中对实验环境要求比较高，成本也比较高。2004年加利福尼亚大学ConnieJ.Chang-Hasnain首次提出来使用硅材料做光栅，SiO2做衬底，形成高折射率差光栅(HCG)，从而实现红外波段1.33-1.8μm处的高反射率，该波段的反射率大于99％，相对带宽30％。自此，基于HCG的宽带反射器引起人们广泛的关注。由于对于红外波段可以使用硅等材料来制作器件本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种宽带反射器，包括基底、两层或者多层高折射率差光栅；/n其中，所述两层或者多层高折射率差光栅平行于所述基底设置，并且最下层高折射率差光栅距离所述基底有一定间隔；各层高折射率差光栅之间也具有一定间隔；/n各层高折射率差光栅的高反射率波段主体部分互不相同；同时对于高反射率波段主体部分相邻的两层高折射率差光栅来说，它们的高反射率波段主体部分相互交叠，重合的波段也具有高反射率。/n

【技术特征摘要】
1.一种宽带反射器，包括基底、两层或者多层高折射率差光栅；
其中，所述两层或者多层高折射率差光栅平行于所述基底设置，并且最下层高折射率差光栅距离所述基底有一定间隔；各层高折射率差光栅之间也具有一定间隔；
各层高折射率差光栅的高反射率波段主体部分互不相同；同时对于高反射率波段主体部分相邻的两层高折射率差光栅来说，它们的高反射率波段主体部分相互交叠，重合的波段也具有高反射率。


2.根据权利要求1所述的宽带反射器，其特征在于：所述各层高折射率差光栅的制作材料为折射率高并且无损耗的材料，针对可见光波段优选为GaN或者TiO2，针对红外波段优选为Si。


3.根据权利要求1所述的宽带反射器，其特征在于：各层高折射率差光栅的高度范围为100-500nm，占空比为0.5-0.8，周期小于工作波长。优选地，针对可见光波段，周期范围为200-500nm；针对红外波段，周期范围为400-800nm。


4.根据权利要求1所述的宽带反射器，其特征在于：工作波段覆盖可见光波段或者覆盖可见光至红外波段。


5.根据权利要求1所述的宽带反射器，其特征在于：所述高反射率波段的反射率为大于95％。


6.一种使电磁波反射的方法，包括：
构建两层或者多层高折射率差光栅，...

【专利技术属性】
技术研发人员：李光元，师星哲，鲁远甫，张锐，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，
类型：发明
国别省市：广东;44