【技术实现步骤摘要】
一种生产含水量≤30ppb的电子级CO2的装置
本技术属于电子级CO2生产
，具体涉及一种生产含水量≤30ppb的电子级CO2的装置。
技术介绍
电子特种气体被称作电子行业的“血液”和“粮食”，是大规模集成电路、多晶硅、光纤等制造业的重要原材料，属于国家加快扶持发展的战略性新兴产业。然而，电子特种气体过去很长时间一直被国外企业垄断，严重影响我国半导体产业的发展，也影响我国集成电路、半导体相关产品的国际竞争力。而电子级CO2作为半导体器件、超大规模集成电路的清洗剂，在铸造中硬化模和芯子，是电子行业生产的主要材料。尤其是用于超大规模集成电路，电子级CO2产品对水含量要求极高，目前，工业上的高纯CO2一般通过低温精馏法、选择吸附法、催化氧化法等纯化方法得到，但通过上述方法得到的电子级CO2含水量均为微克级(即ppm)，上述级别的电子级CO2能够虽然能够满足相关的标准，但相对于精密电子行业要求的纳克级来说含水量太高，无法满足精密电子行业正常使用的需求。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中的缺陷，提供一...
【技术保护点】
1.一种生产含水量≤30ppb的电子级CO
【技术特征摘要】
1.一种生产含水量≤30ppb的电子级CO2的装置，该装置包括原料气储罐(1)、热泵(12)和产品罐(10)，其特征在于：所述原料气储罐(1)依次通过净化塔(2)和吸附塔(3)与第一精馏塔的原料气进口(27)相连，第一精馏塔(4)顶部的气相出口(28)通过干燥塔(5)与第二精馏塔(6)的原料气进口(31)，第二精馏塔(6)的底部液相出口(32)通过产品泵(9)与产品罐(10)相连；
第一精馏塔(4)底部的液相出口(36)通过换热器(7)的第一尾气进口(37)、换热器(7)的第一尾气出口(35)和第一调节阀(17)与废气炉(11)相连；
第二精馏塔(6)的顶部气相出口(34)通过换热器(7)的第二尾气进口(33)和换热器(7)的第二尾气出口(30)与气液分离器(8)相连，气液分离器(8)的底部液相出口分别与第一精馏塔的原料液进口(29)和第二精馏塔(6)的原料液进口(26)相连，气液分离器(8)的顶部气相出口通过换热器(7)的第三尾气进口(25)、换热器(7)的第三尾气出...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈剑军，银延蛟，郑梦杰，郭俊磊，闫红伟，杨茂强，张亚清，吕书山，
申请(专利权)人：河南心连心深冷能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41
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