激光烧蚀装置和制造显示设备的方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种激光烧蚀装置和制造显示设备的方法。该激光烧蚀装置包括：激光光束发生器，包括用于产生激光光束的光束源，激光光束发生器使用固态激光器；输出光束发生器，用于使用激光光束产生输出光束；以及基板台架，包括其上布置有载体基板的至少一个台架，面板基板形成在载体基板上。输出光束发生器可以包括：混合器，用于通过将激光光束混合而产生具有彼此正交的两个线性偏振的混合激光光束；以及光成型机，用于使用混合激光光束产生输出光束。

Laser ablation device and method of manufacturing display equipment

【技术实现步骤摘要】
激光烧蚀装置和制造显示设备的方法相关申请的交叉引用本申请要求2018年9月11日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请第10-2018-0108470号的优先权，其全部公开通过引用合并于此。
本公开总体上涉及使用固态激光器的激光烧蚀装置和制造显示设备的方法。
技术介绍
有机发光显示设备可以被实现为使用具有优异柔性的塑料基板的柔性显示器。然而，由于柔性基板具有高柔性，因此在显示设备的制造工艺期间，柔性基板应被支撑。因此，在柔性基板形成在由诸如玻璃的材料形成的载体基板上之后，平板显示设备的制造工艺被执行，并且载体基板然后被移除。可以使用各种方法移除载体基板，并且已经积极开展了使用激光的激光剥离方法的研究。
技术实现思路
实施例提供了一种使用固态激光器的激光烧蚀装置以及制造显示设备的方法。根据本公开的一个方面，提供了一种激光烧蚀装置，包括：激光光束发生器，包括用于产生激光光束的光束源，激光光束发生器使用固态激光器；输出光束发生器，被配置为使用激光光束产生输出光束；以及基板台架，包括其中布本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光烧蚀装置，包括：/n激光光束发生器，包括用于产生激光光束的光束源，所述激光光束发生器使用固态激光器；/n输出光束发生器，被配置为使用所述激光光束产生输出光束；以及/n基板台架，包括其中布置有载体基板的至少一个台架，面板基板形成在所述载体基板上，/n其中所述输出光束发生器包括：/n混合器，被配置为通过将所述激光光束混合而产生具有彼此正交的两个线性偏振的混合激光光束；和/n光成型机，被配置为使用所述混合激光光束产生所述输出光束。/n

【技术特征摘要】
20180911 KR 10-2018-01084701.一种激光烧蚀装置，包括：
激光光束发生器，包括用于产生激光光束的光束源，所述激光光束发生器使用固态激光器；
输出光束发生器，被配置为使用所述激光光束产生输出光束；以及
基板台架，包括其中布置有载体基板的至少一个台架，面板基板形成在所述载体基板上，
其中所述输出光束发生器包括：
混合器，被配置为通过将所述激光光束混合而产生具有彼此正交的两个线性偏振的混合激光光束；和
光成型机，被配置为使用所述混合激光光束产生所述输出光束。


2.根据权利要求1所述的激光烧蚀装置，其中，所述基板台架包括多个台架。


3.根据权利要求2所述的激光烧蚀装置，其中，所述基板台架进一步包括移动单元，所述移动单元被配置为沿第一移动导件将所述多个台架移动到激光入射区域，
其中所述多个台架在所述输出光束入射的同时在所述激光入射区域中沿第二移动导件移动，
其中所述第一移动导件沿第一方向延伸，并且
所述第二移动导件沿与所述第一方向不同的第二方向延伸。


4.根据权利要求1所述的激光烧蚀装置，进一步包括腔室，所述腔室被配置为从外部密封所述至少一个台架。

【专利技术属性】
技术研发人员：金俊亨，蔡永洙，金佑玹，李承俊，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR