一种晶圆检测设备制造技术

本发明专利技术公开了一种晶圆检测设备，其结构包括支脚、箱体、控制键盘、显示屏、报警器、检测室、动力箱，箱体底部焊接有支脚，箱体外侧连接有控制键盘、显示屏，箱体底部设有动力箱，检测室设在动力箱上方，检测室内设有转向装置，转向装置包括缩径装置、固定装置、移动装置、圆盘，圆盘设在缩径装置中心，移动装置设有3个分别安装在圆盘的正西、正南、正东方向，固定装置安装在圆盘的正北方位，本发明专利技术的有益效果是：利用晶圆的平缺口对晶圆的方向进行统一，使视觉检测时更加直观，无法进行方向旋转变化，提高检测准确率和效率。

A wafer testing equipment

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆检测设备
本专利技术涉及晶圆领域，具体地说是一种晶圆检测设备。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，而晶圆在出厂时需要经过检测测定是否为合格产品。目前的晶圆检测设备通过振动盘下料，利用视觉检测晶圆的缺陷，而晶圆一般设有一个平的缺口，便于进行方向对准，现有的设备在检测时没有对晶圆的方向进行统一，在视觉检测时需要自动寻找方向，降低检测的效率。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于克服现有技术的不足，提供一种晶圆检测设备。本专利技术采用如下技术方案来实现：一种晶圆检测设备，其结构包括支脚、箱体、控制键盘、显示屏、报警器、检测室、动力箱，所述箱体底部焊接有支脚，所述箱体外侧连接有控制键盘、显示屏，所述箱体底部设有动力箱，所述检测室设在动力箱上方，所述检测室内设有转向装置，所述转向装置包括缩径装置、固定装置、移动装置、圆盘，所述圆盘设在缩径装置中心，所述移动装置设有3个分别安装在圆盘的正西、正南、正东方向，所述固定装置安装在圆盘的正北方位。作为优化，所述缩径装置包括电机齿轮、齿环、低位挡块、高位挡块、推进块，所述齿环外侧与电机齿轮相啮合，所述齿环内部设有个推进块、低位挡块，所述低位挡块设在推进块较低一端的侧面，所述推进块较高一端连接有高位挡块。作为优化，所述圆盘包括盘体、导槽、弹簧、滑槽、电磁铁装置，所述盘体的正西、正南、正东方位分别设有导槽，所述导槽内安装有弹簧，所述盘体正北方位设有滑槽，所述滑槽靠近中心的一端与电磁铁装置相连接，所述电磁铁装置设在盘体中间。作为优化，所述移动装置包括弧形块、凹槽、导杆、滑轮，所述弧形块面向盘体的一侧设有凹槽，所述凹槽的内部两侧分别安装有滑轮，所述弧形块底部与导杆一端相连接，所述导杆另一端设在导槽并与弹簧相接触。作为优化，所述固定装置包括方形块、滚轮、移动杆、金属块，所述方形块设有条形槽，该条形槽内安装有滚轮，所述方形块通过移动杆与金属块相连接，所述金属块设在滑槽内部。作为优化，所述电磁铁装置包括衔铁、线圈、电池、下触片、上触片、弹力片，所述衔铁连接在滑槽内端，所述衔铁上缠绕有线圈，所述线圈的一端与电池相连接，另一端与上触片相连接，所述上触片设在下触片上方并通过弹力片连接在盘体内，所述下触片与电池相连接。作为优化，所述滚轮设有3个。作为优化，3个滚轮中间的那个底部与微电机相连接。作为优化，所述盘体中间设有通孔，所述盘体正北方向设有缺口。作为优化，所述移动杆上套设有弹力弹簧。有益效果本专利技术在使用时，通过振动盘将晶圆放到盘体上，晶圆会将被弹力片上弹的上触片向下压，使下触片、上触片两者接触，衔铁通电产生磁场吸附金属块，金属块拉动方形块向内移动，同时电机齿轮带动齿环进行旋转，使推进块与弧形块得接触点不断变宽，从而同时推进3个弧形块的滑轮与晶圆接触，通过微电机带动中间的滚轮旋转使晶圆进行旋转，直到晶圆的平缺口与方形块的3个滚轮都接触时停止工作，然后通过机械手对已经确定方向的晶圆进行搬运到检测平台进行检测。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：利用晶圆的平缺口对晶圆的方向进行统一，使视觉检测时更加直观，无法进行方向旋转变化，提高检测准确率和效率。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本专利技术一种晶圆检测设备的结构示意图。图2为本专利技术转向装置的结构示意图。图3为本专利技术缩径装置的结构示意图。图4为本专利技术圆盘内部的结构示意图。图5为本专利技术圆盘的俯视图。图6为本专利技术移动装置的结构示意图。图7为本专利技术固定装置的结构示意图。图8为本专利技术电磁铁装置的结构示意图。图9为本专利技术弹力片的侧视图。图中：支脚1、箱体2、控制键盘3、显示屏4、报警器5、检测室6、动力箱7、转向装置8、缩径装置9、固定装置10、移动装置11、圆盘12、电机齿轮90、齿环91、低位挡块92、高位挡块93、推进块94、盘体120、导槽121、弹簧122、滑槽123、电磁铁装置13、弧形块110、凹槽111、导杆112、滑轮113、方形块100、滚轮101、移动杆102、金属块103、衔铁130、线圈131、电池132、下触片133、上触片134、弹力片135。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-9，本专利技术提供一种晶圆检测设备技术方案：其结构包括支脚1、箱体2、控制键盘3、显示屏4、报警器5、检测室6、动力箱7，所述箱体2底部焊接有支脚1，所述箱体2外侧连接有控制键盘3、显示屏4，所述箱体2底部设有动力箱7，所述检测室6设在动力箱7上方，所述检测室6内设有转向装置8，所述转向装置8包括缩径装置9、固定装置10、移动装置11、圆盘12，所述圆盘12设在缩径装置9中心，所述移动装置11设有3个分别安装在圆盘12的正西、正南、正东方向，所述固定装置10安装在圆盘12的正北方位。所述缩径装置9包括电机齿轮90、齿环91、低位挡块92、高位挡块93、推进块94，所述齿环91外侧与电机齿轮90相啮合，所述齿环91内部设有3个推进块94、低位挡块92，所述低位挡块92设在推进块94较低一端的侧面，所述推进块94较高一端连接有高位挡块93，低位挡块92、高位挡块93能够对齿环91的旋转角度进行限定，防止推进块94与移动装置11脱离。所述圆盘12包括盘体120、导槽121、弹簧122、滑槽123、电磁铁装置13，所述盘体120的正西、正南、正东方位分别设有导槽121，所述导槽121内安装有弹簧122，所述盘体120正北方位设有滑槽123，所述滑槽123靠近中心的一端与电磁铁装置13相连接，所述电磁铁装置13设在盘体120中间。所述移动装置11包括弧形块110、凹槽111、导杆112、滑轮113，所述弧形块110面向盘体120的一侧设有凹槽111，所述凹槽111的内部两侧分别安装有滑轮113，所述弧形块110底部与导杆112一端相连接，所述导杆112另一端设在导槽121并与弹簧122相接触，弧形块110能够对晶圆的边界进行固定，滑轮113减少对晶圆的摩擦。所述固定装置10包括方形块100、滚轮101、移动杆102、金属块103，所述方形块100设有条形槽，该条形槽内安装有滚轮101，所述方形块100通过移动杆102与金属块103相连接，所述金属块103设在滑槽123内部。所述电磁铁装置13包括衔铁130、线圈131、电池132、下触片133、上触片134、弹力片135，所述衔铁130连接在滑槽123内端，所述衔铁130上缠绕有线圈131，所述线圈131的一端与电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆检测设备，其结构包括支脚（1）、箱体（2）、控制键盘（3）、显示屏（4）、报警器（5）、检测室（6）、动力箱（7），所述箱体（2）底部焊接有支脚（1），所述箱体（2）外侧连接有控制键盘（3）、显示屏（4），所述箱体（2）底部设有动力箱（7），所述检测室（6）设在动力箱（7）上方，其特征在于：/n所述检测室（6）内设有转向装置（8），所述转向装置（8）包括缩径装置（9）、固定装置（10）、移动装置（11）、圆盘（12），所述圆盘（12）设在缩径装置（9）中心，所述移动装置（11）设有3个分别安装在圆盘（12）的正西、正南、正东方向，所述固定装置（10）安装在圆盘（12）的正北方位。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆检测设备，其结构包括支脚（1）、箱体（2）、控制键盘（3）、显示屏（4）、报警器（5）、检测室（6）、动力箱（7），所述箱体（2）底部焊接有支脚（1），所述箱体（2）外侧连接有控制键盘（3）、显示屏（4），所述箱体（2）底部设有动力箱（7），所述检测室（6）设在动力箱（7）上方，其特征在于：
所述检测室（6）内设有转向装置（8），所述转向装置（8）包括缩径装置（9）、固定装置（10）、移动装置（11）、圆盘（12），所述圆盘（12）设在缩径装置（9）中心，所述移动装置（11）设有3个分别安装在圆盘（12）的正西、正南、正东方向，所述固定装置（10）安装在圆盘（12）的正北方位。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测设备，其特征在于：所述缩径装置（9）包括电机齿轮（90）、齿环（91）、低位挡块（92）、高位挡块（93）、推进块（94），所述齿环（91）外侧与电机齿轮（90）相啮合，所述齿环（91）内部设有3个推进块（94）、低位挡块（92），所述低位挡块（92）设在推进块（94）较低一端的侧面，所述推进块（94）较高一端连接有高位挡块（93）。


3.根据权利要求1所述的一种晶圆检测设备，其特征在于：所述圆盘（12）包括盘体（120）、导槽（121）、弹簧（122）、滑槽（123）、电磁铁装置（13），所述盘体（120）的正西、正南、正东方位分别设有导槽（121），所述导槽（121）内安装有弹簧（122），所述盘体（120）正北方位设有滑槽（123），所述滑槽（123...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐涛，
申请(专利权)人：唐涛，
类型：发明
国别省市：广东;44