流量测定装置制造方法及图纸

一种流量测定装置，降低由测定对象流体的物性变化造成的输出特性的变化。流量测定装置(1)具备：流量传感器(8)，其用于检测在主流路(21)中流通的测定对象流体的流量；物性值传感器(7)，其具有微加热器和热电堆，用于检测测定对象流体的物性值；副流路部(3)，其具有配置有物性值传感器(7)的物性值检测用流路(32)；流量修正部，其使用基于从物性值传感器(7)输出的温度信号而计算出的测定对象流体的物性值，对基于从流量传感器(8)输出的温度信号而计算出的测定对象流体的流量进行修正。微加热器和热电堆在与测定对象流体的流动方向正交的方向上排列配置，流量传感器(8)配置在除了物性值检测用流路(32)之外的位置。

Flow measuring device

【技术实现步骤摘要】
流量测定装置
本技术涉及用于对在流路内流通的流体的流量进行测定的流量测定装置，更详细而言，涉及能够降低流体的物性变化所造成的输出特性变化并对流量进行高精度测定的流量测定装置。
技术介绍
以往，为了测定在流路内流通的气体等流体(以下，称为测定对象流体)的流量，使用基于流路内的温度分布的变化对测定对象流体的流量进行测定的热式流量测量装置。图14是用于对热式流量测量装置中的温度分布的变化进行说明的示意图，图14的(a)表示的是测定对象流体不流通的状态下的温度分布，图14的(b)表示的是测定对象流体流通的状态下的温度分布。如图14的(a)所示，在测定对象流体不流通的状态下，利用微加热器181对位于周边的测定对象流体进行加热，在相对于微加热器181配置在上游侧的热电堆182和配置在微加热器181的下游侧的热电堆183产生均等的温度分布。在该状态下，当测定对象流体沿着图中的箭头方向流通时，如图14的(b)所示，微加热器181周边的温度分布偏向测量对象流体流的下游侧，即热电堆183侧。因此，在热电堆182检测到比测定对象流体不流通的状本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流量测定装置，其特征在于，具备：/n流量检测部，其用于检测在主流路中流通的测定对象流体的流量；/n物性值检测部，其具有对测定对象流体进行加热的加热部和对测定对象流体的温度进行检测的温度检测部，用于检测测定对象流体的物性值；/n副流路部，其具有一端与在所述主流路内开口的第一流入口连通且另一端与在所述主流路内开口的第一流出口连通，并且配置有所述物性值检测部的物性值检测流路；/n所述加热部和所述温度检测部在与测定对象流体的流动方向正交的方向上排列配置，/n所述流量检测部配置在除了所述物性值检测流路之外的位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种流量测定装置，其特征在于，具备：
流量检测部，其用于检测在主流路中流通的测定对象流体的流量；
物性值检测部，其具有对测定对象流体进行加热的加热部和对测定对象流体的温度进行检测的温度检测部，用于检测测定对象流体的物性值；
副流路部，其具有一端与在所述主流路内开口的第一流入口连通且另一端与在所述主流路内开口的第一流出口连通，并且配置有所述物性值检测部的物性值检测流路；
所述加热部和所述温度检测部在与测定对象流体的流动方向正交的方向上排列配置，
所述流量检测部配置在除了所述物性值检测流路之外的位置。


2.根据权利要求1所述的流量测定装置，其特征在于，
所述副流路部还具有配置有所述流量检测部的流量检测流路，
所述流量检测流路的一端与所述第一流入口以从该第一流入口流入的测定对象流体能够向所述物性值检测流路和所述流量检测流路分流的方式连通，所述流量检测流路的另一端与所述第一流出口连通。


3.根据权利要求2所述的流量测定装置，其特征在于，
所述流量检测部和所述物性值检测部在所述第一流入口与所述第一流出口之间具有弯折的形状，
所述副流路部还具备一端与所述第一流入口连通且另一端与所述第一流出口连通并将所述第一流入口与...

【专利技术属性】
技术研发人员：山本克行，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP