【技术实现步骤摘要】
复合传感器、复合传感器的制作方法及复合传感器系统
本专利技术实施例涉及传感器
，尤其涉及一种复合传感器、复合传感器的制作方法及复合传感器系统。
技术介绍
生理电信号传感器和机械信号传感器广泛地用在康复辅助设备中，如智能假肢，其关键技术之一是采用生理点信号和机械信号提取人体运动意图。高质量、多元信号的获取能够提高人体运动意图的识别率、提高系统的控制性能，而传感器的性能、体积和集成度直接关系到这些设备的性能。目前，生理电信号和机械信号的采集主要是通过在不同位置放置不同的传感器进行采集，当同时采用多种传感器时，不仅采集系统复杂、空间利用率有限，而且无法对同一区域的信号进行同步采集。复合传感器是在一个传感器中集成了两个及以上的能检测不同物理量的传感器单元，不仅能减小传感器的体积、重量实现高密度采集，而且能同时测量分析同一区域的力和电信号的关系，这对一些智能设备和医疗康复辅具设备具有十分重要的意。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种复合传感器、复合传感器的制作方法及复合传感器系统，可以实现同时对同...
【技术保护点】
1.一种复合传感器，其特征在于，包括：压电驻极体传感器、绝缘层和生理电信号采集电极；/n所述绝缘层设置于所述压电驻极体传感器和所述生理电信号采集电极之间。/n
【技术特征摘要】
1.一种复合传感器，其特征在于，包括：压电驻极体传感器、绝缘层和生理电信号采集电极；
所述绝缘层设置于所述压电驻极体传感器和所述生理电信号采集电极之间。
2.根据权利要求1所述的复合传感器，其特征在于，所述压电驻极体传感器上设置有两个导线接口；所述生理电信号采集电极包括两个电极接口。
3.一种复合传感器的制作方法，其特征在于，包括：
在压电驻极体传感器上以第一设定方式形成一绝缘层；
在所述绝缘层上以第二设定方式附着一金属层；
利用设定电极模板在所述金属层上生成生理电信号采集电极。
4.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述第一设定方式包括蒸镀或者层压。
5.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述第二设定方式包括蒸镀或者磁控溅射。
6.根据权利要求3-5任一所述的制作方法，其特征在于，在压电驻极体传感器上以第一设定方式形成一绝缘层之前，还包括：
对原始压电材料薄膜进行气体扩散膨胀处理；
在室温下使用设定电晕尖端电压充电设定时长，获得压电驻极体薄膜；
利用真空蒸发的方式在所述压电驻极体薄膜的两个表面上生成两个金属电极，获得金属化薄膜；
将所述金属化薄膜对称折叠，且内表面通过导电胶带粘合在一起；
将金属端子分别连接到两个金属电极上，获得压电驻极体传感器。
7.一种复合传感器系统，其特征在于，包括：权利要求1-2任一所述的复合传感器、信号采集电路、主控电路、无线传输模块和数据处理模块；
所述复合传感器的输出端与所述信号采集电路的输入端相连...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄品高，方鹏，李光林，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，
类型：发明
国别省市：广东;44
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