集成化光滤波器制造技术

一种集成化光滤波器，包括输入光波导，用于输入待处理的宽带光信号；微环光滤波器包括第一级微环光滤波器和第二级微环光滤波器，每级微环光滤波器均包括微环谐振腔和与其相邻的输入端直波导和下载段直波导；中间光波导包括第一中间光波导和第二中间光波导，用于传输微环光滤波器间的宽带光信号；输出光波导，用于输出经所述第二级微环光滤波器的滤波输出端的宽带光信号。该光滤波器仅采用两个微环谐振腔结构，结构简单、损耗低、体积小，且调节和控制难度小。

Integrated optical filter

【技术实现步骤摘要】
集成化光滤波器
本专利技术涉及光纤通信
，尤其涉及一种集成化光滤波器。
技术介绍
波分复用(WDM，Wavelength-DivisionMultiplexing)技术和掺铒光纤放大器(EDFA，ErbiumDopedFiberAmplifier)的出现使光通信得到突破性进展，光纤传输网速率不断提升。光学滤波器使用光学方法和光学元件，在光纤通信
的信号处理方面实现对光信号的滤波功能。与传统的电子技术相比，光学元件具有灵活和大范围的带宽特性，可以直接对高频带宽的微波信号进行滤波。在宽带接入、量子通信、激光雷达和天文系统的高级应用方面，有着重大意义。对目标频带的选择能力是应用于微波光子信号处理的光滤波器的重要指标，这就要求光学滤波器具有高滚降速率和较为狭窄的通带带宽，通带带宽在一个自由光谱区所占的比例越小，选择能力更强。基于集成光子学的光滤波器件，方便大规模集成，同时利用成熟的半导体工艺加工平台，可以实现大规模低成本的量产。常见的窄带宽、高滚降速率的光学滤波器常采用布拉格光纤光栅(FBG，FiberBraggGrating)、马赫-曾德本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成化光滤波器，其特征在于，包括：/n输入光波导(100)，用于输入待处理的宽带光信号；/n微环光滤波器(200)，包括第一级微环光滤波器(201)和第二级微环光滤波器(202)，每级微环光滤波器(201、202)均包括微环谐振腔和与其相邻的输入端直波导和下载段直波导，用于在宽带光信号进入所述微环光滤波器(201、202)的输入端，即输入端直波导的输入端后，当宽带光信号满足所述微环光滤波器(201、201)微环谐振腔的谐振条件时，通过所述微环谐振腔耦合至所述微环光滤波器(201、202)的下载端直波导中并从所述微环光滤波器(201、202)的下载端，即下载端直波导的输出端输出，而不满足...

【技术特征摘要】
1.一种集成化光滤波器，其特征在于，包括：
输入光波导(100)，用于输入待处理的宽带光信号；
微环光滤波器(200)，包括第一级微环光滤波器(201)和第二级微环光滤波器(202)，每级微环光滤波器(201、202)均包括微环谐振腔和与其相邻的输入端直波导和下载段直波导，用于在宽带光信号进入所述微环光滤波器(201、202)的输入端，即输入端直波导的输入端后，当宽带光信号满足所述微环光滤波器(201、201)微环谐振腔的谐振条件时，通过所述微环谐振腔耦合至所述微环光滤波器(201、202)的下载端直波导中并从所述微环光滤波器(201、202)的下载端，即下载端直波导的输出端输出，而不满足微环谐振腔的谐振条件的宽带光信号波段则保留在所述输入端直波导中并通过所述微环光滤波器(201、202)的直通端，即所述输入端直波导的直通端输出，从而实现对输入的宽带光信号的滤波；
中间光波导(300)，包括第一中间光波导(301)和第二中间光波导(302)，用于传输微环光滤波器间的宽带光信号；其中，所述微环光滤波器(200)与所述中间光波导(300)交错排列，所述输入光波导(100)连接所述第一级微环光滤波器(201)的输入端直波导的输入端，所述第一级微环光滤波器(202)的输入端直波导的直通端连接第一中间光波导(301)，所述第一中间光波导(301)连接所述第一级微环光滤波器(201)的下载端，所述下载端直波导的输出端连接所述第二中间光波导(302)，所述第二中间光波导(302)连接所述第二级微环光滤波器的输入端直波导的直通段；
输出光波导(400)，与所述第二级微环光滤波器(202)的下载段连接，用于输出经所述第二级微环光滤波器(202)的滤波输出端的宽带光信号，完成所述集成化...

【专利技术属性】
技术研发人员：张磊，王皓岩，杨林，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11