一种带插板阀的紧凑型真空室结构及离子束加工系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种带插板阀的紧凑型真空室结构，包括插板阀、主真空室和副真空室，所述插板阀设在主真空室和副真空室之间用于控制二者通断，所述主真空室和副真空室与插板阀相对的侧壁上开设有供工件传送通过的通孔，所述通孔周围设有主真空室和/或副真空室的侧壁连接部，所述主真空室和/或副真空室与插板阀之间不设置连接法兰，所述主真空室和/或副真空室通过侧壁连接部直接与插板阀固接。本实用新型专利技术还公开了一种离子束加工系统，所述离子束加工系统采用了上述的带插板阀的紧凑型真空室结构。本实用新型专利技术的真空室结构和离子束加工系统具有连接距离较短、成本低、结构紧凑、外形简洁美观等优点。

A compact vacuum chamber structure with plug valve and ion beam machining system

【技术实现步骤摘要】
一种带插板阀的紧凑型真空室结构及离子束加工系统
本技术属于真空设备领域，尤其涉及一种带插板阀的紧凑型真空室结构及离子束加工系统。
技术介绍
在真空设备中，插板阀是真空室之间必不可少的组件。例如双真空室离子束加工设备中，申请号为CN201811261305.2的专利技术公开的一种双真空室离子束加工系统，包括主真空室和副真空室，在更换工件时，工件需要通过导轨从一个真空室运动到另外一个真空室。主真空室安装离子源，通过副真空室来更换工件。为了提高生产效率，主真空室和副真空室通过插板阀连接起来，通过插拔阀控制两个真空室的通断，更换工件时主真空室不破空，而仅对副真空室破空。对于这类设备以及类似的设备，两个真空室的连接距离很关键。如申请号为201210265722.0的专利技术公开的一种双真空离子束抛光系统，两个真空室中都设有导轨，导轨在插板阀处隔断。两个真空室的连接距离越大，所需的导轨越长，而导轨结构复杂，长度越长成本越高。当插板阀厚度一定时，两个真空室之间的连接距离就取决于插板阀与两个真空室的连接结构。通常，两个真空室与插板阀采用标准法兰连接，例如CF法兰、LF法兰、ISO-F法兰等等。这些标准法兰焊接到真空壁上之后无疑增加了两个真空室的连接距离，这就需要更长的导轨，导致成本增加；同时，导轨长度增加，这就需要更大的真空室。此外，标准法兰连接结构，连接螺栓裸露，外形拖沓不美观。
技术实现思路
本技术提供了一种带插板阀的紧凑型真空室结构及离子束加工系统，以至少解决现有技术中的真空室之间连接距离过大的问题。<br>为解决上述技术问题，本技术提出的技术方案为：一种带插板阀的紧凑型真空室结构，包括插板阀、主真空室和副真空室，所述插板阀设在主真空室和副真空室之间用于控制二者通断，所述主真空室和副真空室与插板阀相对的侧壁上开设有供工件传送通过的通孔，所述通孔周围设有主真空室和/或副真空室的侧壁连接部，所述主真空室和/或副真空室与插板阀之间不设置连接法兰，所述主真空室和/或副真空室通过侧壁连接部直接与插板阀固接。本技术的带插板阀的紧凑型真空室结构，主真空室和/或副真空室通过侧壁连接部直接与插板阀固接，取消了连接法兰，主真空室与副真空室的连接距离缩短，从而缩短了导轨的长度，降低了成本。导轨的长度缩短，进而可以缩短主真空室和/或副真空室的长度。该真空室结构，结构紧凑，而且外形简洁美观。上述的带插板阀的紧凑型真空室结构，优选的，所述侧壁连接部上开设有第一安装孔，所述插板阀与侧壁连接部相对的一侧开设有第二安装孔，所述主真空室和/或副真空室通过紧固件穿过第一安装孔、第二安装孔后与插板阀连接。主真空室和/或副真空室与插板阀连接稳固、可靠，且拆装方便。上述的带插板阀的紧凑型真空室结构，优选的，所述侧壁连接部埋置于主真空室和/或副真空室的腔室内，所述主真空室和/或副真空室上设有可打开或关闭主真空室和/或副真空室的操作门，所述紧固件是以可在腔室内完成拆装的方式设置在侧壁连接部上。通过操作门，可从腔室内部拆装紧固件。紧固件安装在腔室内，紧固件得以隐藏在腔室内，外形更为简洁、美观，而且避免紧固件生锈。上述的带插板阀的紧凑型真空室结构，优选的，所述侧壁连接部上的第一安装孔为沉头孔。紧固件头部埋入沉头孔中，使得侧壁连接部表面平整，避免工件和人员被凸出紧固件头部损伤，利于提高操作的安全性，而且防止紧固件松动。上述的带插板阀的紧凑型真空室结构，优选的，所述供工件传送通过的通孔的长度L等于所述侧壁连接部的厚度L1与插板阀的厚度L2之和。作为一个总的技术构思，本技术还提供了一种离子束加工系统，所述离子束加工系统包括上述的带插板阀的紧凑型真空室结构。上述的离子束加工系统，优选的，所述主真空室中设有离子源以及用于带动离子源运动的离子源运动机构，所述副真空室中设有用于固定工件的夹具以及带动工件运动的工件运动机构。与现有技术相比，本技术的优点在于：本技术的带插板阀的紧凑型真空室结构，主真空室和/或副真空室通过侧壁连接部直接与插板阀固接，取消了连接法兰，主真空室与副真空室的连接距离缩短，从而缩短了导轨的长度，降低了成本。导轨的长度缩短，进而可以缩短主真空室和/或副真空室的长度。该真空室结构，结构紧凑，外形简洁美观。本技术的离子束加工系统采用了上述的插板阀的紧凑型真空室结构，具有连接距离较短、结构紧凑、外形简洁美观等优点。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：图1是本技术实施例的带插板阀的紧凑型真空室结构的外形示意图。图2是本技术实施例的带插板阀的紧凑型真空室结构的结构示意图。图3是图2中A的局部放大视图。图4是本技术实施例的离子束加工系统的结构示意图。其中，上述附图包括以下附图标记：1、插板阀；2、主真空室；3、副真空室；4、紧固件；5、离子源；6、离子源运动机构；7、夹具；8、工件运动机构；9、侧壁连接部；10、操作门；11、通孔。具体实施方式为了便于理解本技术，下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本技术作更全面、细致地描述，但本技术的保护范围并不限于以下具体的实施例。需要特别说明的是，当某一元件被描述为“固定于、固接于、连接于或连通于”另一元件上时，它可以是直接固定、固接、连接或连通在另一元件上，也可以是通过其他中间连接件间接固定、固接、连接或连通在另一元件上。除非另有定义，下文中所使用的所有专业术语与本领域技术人员通常理解的含义相同。本文中所使用的专业术语只是为了描述具体实施例的目的，并不是旨在限制本技术的保护范围。除非另有特别说明，本技术中用到的各种原材料、试剂、仪器和设备等均可通过市场购买得到或者可通过现有方法制备得到。实施例：如图1至图4所示，本实施例的离子束加工系统包括带插板阀的紧凑型真空室结构，带插板阀的紧凑型真空室结构包括插板阀1、主真空室2和副真空室3，所述插板阀1设在主真空室2和副真空室3之间用于控制二者通断，主真空室2和副真空室3与插板阀1相对的侧壁上开设有供工件传送通过的通孔11，通孔11周围设有主真空室2和副真空室3的侧壁连接部9，主真空室2和副真空室3与插板阀1之间不设置连接法兰，主真空室2和副真空室3通过侧壁连接部9直接与插板阀1固接。本实施例中，侧壁连接部9上开设有第一安装孔，插板阀1与侧壁连接部9相对的一侧开设有第二安装孔，主真空室2和副真空室3通过紧固件4穿过第一安装孔、第二安装孔后与插板阀1连接。本实施例中，侧壁连接部9埋置于主真空室2和副真空室3的腔室内，主真空室2和副真空室3上设有可打开或关闭主真空室2和副真空室3的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带插板阀的紧凑型真空室结构，包括插板阀(1)、主真空室(2)和副真空室(3)，所述插板阀(1)设在主真空室(2)和副真空室(3)之间用于控制二者通断，所述主真空室(2)和副真空室(3)与插板阀(1)相对的侧壁上开设有供工件传送通过的通孔(11)，其特征在于：所述通孔(11)周围设有主真空室(2)和/或副真空室(3)的侧壁连接部(9)，所述主真空室(2)和/或副真空室(3)与插板阀(1)之间不设置连接法兰，所述主真空室(2)和/或副真空室(3)通过侧壁连接部(9)直接与插板阀(1)固接。/n

【技术特征摘要】
1.一种带插板阀的紧凑型真空室结构，包括插板阀(1)、主真空室(2)和副真空室(3)，所述插板阀(1)设在主真空室(2)和副真空室(3)之间用于控制二者通断，所述主真空室(2)和副真空室(3)与插板阀(1)相对的侧壁上开设有供工件传送通过的通孔(11)，其特征在于：所述通孔(11)周围设有主真空室(2)和/或副真空室(3)的侧壁连接部(9)，所述主真空室(2)和/或副真空室(3)与插板阀(1)之间不设置连接法兰，所述主真空室(2)和/或副真空室(3)通过侧壁连接部(9)直接与插板阀(1)固接。


2.根据权利要求1所述的带插板阀的紧凑型真空室结构，其特征在于：所述侧壁连接部(9)上开设有第一安装孔，所述插板阀(1)与侧壁连接部(9)相对的一侧开设有第二安装孔，所述主真空室(2)和/或副真空室(3)通过紧固件(4)穿过第一安装孔、第二安装孔后与插板阀(1)连接。


3.根据权利要求2所述的带插板阀的紧凑型真空室结构，其特征在于：所述侧壁连接部(9)埋置于...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶尚，其他发明人请求不公开姓名，
申请(专利权)人：长沙埃福思科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南;43