处理玻璃基材表面的方法技术

适于平板显示器的玻璃基材的制造方法，所述玻璃基材具有上主表面和下主表面。在传送玻璃基材的同时，通过两个连续工艺步骤来处理下表面；i)与干燥HF气体接触，其中干燥HF气体可以通过常压等离子体增强产生，和ii)与含HF的润湿用水溶液接触，以获得通过AFM确定的0.5‑1.5nm的平均表面粗糙度。

Methods of surface treatment of glass substrate

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】处理玻璃基材表面的方法本申请根据35U.S.C.§119要求2017年6月16日提交的系列号为62/520,928的美国临时申请的优先权权益，本文以该申请的内容为基础并将其通过引用全文纳入本文。
本公开一般涉及处理玻璃基材表面的方法，更具体地，涉及通过使用大气压等离子体增强和湿法蚀刻的组合来处理玻璃基材表面的方法。
技术介绍
玻璃基材广泛用于平板显示器。例如，液晶显示器(LCD)由被两个玻璃背板夹住的极薄的液晶层制成，这两个玻璃背板是所谓的薄膜晶体管(TFT)背板和滤色器(CF)背板。LCD应用中常用的一类玻璃是无碱金属玻璃。无碱金属玻璃一般不含碱金属氧化物并且常用作LCD和有机发光二极管(OLED)应用的背板。这些玻璃需要具有高的应变点，因为这些背板在膜成形工艺或退火期间被加热到几百摄氏度的温度，并且在TFT成形过程期间，这些玻璃的形状或尺寸的变化应最小化。LCD背板的其他考虑因素包括：(1)玻璃惰性，对化学品的稳定性，例如对光刻蚀刻工艺期间使用的酸性溶液的稳定性，(2)表面清洁度，在玻璃表面上不含外来物质或颗粒，以及在使用之前的长时本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于制造玻璃基材的方法，所述玻璃基材具有在其相对侧上的第一主表面和第二主表面，所述方法包括：/n将玻璃基材放置在传送装置上并且使第一主表面面向上；以及/n在传送玻璃基材的同时，/n(i)使第二主表面与含氢氟酸(HF)气体的工艺气体接触，所述氢氟酸气体由常压等离子体产生，和/n(ii)使第二主表面与含HF的水溶液接触，其中(i)和(ii)以非特定的顺序依次进行，并且得到表面粗糙度(Ra)不小于0.5nm且不超过1.5nm的第二主表面。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170616 US 62/520,9281.一种用于制造玻璃基材的方法，所述玻璃基材具有在其相对侧上的第一主表面和第二主表面，所述方法包括：
将玻璃基材放置在传送装置上并且使第一主表面面向上；以及
在传送玻璃基材的同时，
(i)使第二主表面与含氢氟酸(HF)气体的工艺气体接触，所述氢氟酸气体由常压等离子体产生，和
(ii)使第二主表面与含HF的水溶液接触，其中(i)和(ii)以非特定的顺序依次进行，并且得到表面粗糙度(Ra)不小于0.5nm且不超过1.5nm的第二主表面。


2.如权利要求1所述的方法，所述方法还包括：
用去离子水洗涤第二主表面，清洗第二主表面和干燥第二主表面。


3.如权利要求1或2...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林秀树，水嶋康之，中西久典，
申请(专利权)人：康宁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US