【技术实现步骤摘要】
一种机器自动安全门装置
本技术涉及驱动芯片金凸块封装
,尤其涉及一种机器自动安全门装置。
技术介绍
驱动芯片金凸块在生产加工过程中,需要通过高压晶圆清洗机对驱动芯片金凸块进行处理,而高压晶圆清洗机,因机械手臂逻辑,放置区与取出区为同单元,即取放区。取放区为开放性空间,生产过程中,若有人员在手臂取片时或放片时,将晶圆盒取走,会造成晶圆破片,该装置将减少因人员操作失误而造成的破片事故,进而都会在取放区安装可以滑动的门板,来对内部进行保护。目前常使用的可以移动门板都是直接固定在移动滑轨上的,在工作的过程中,由于操作人员的不当会造成门板的损坏,不能及时方便的对门板进行更换,使得设备不能正常进行工作。为此,我们提出一种机器自动安全门装置。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中可以移动门板都是直接固定在移动滑轨上的,在工作的过程中,由于操作人员的不当会造成门板的损坏,不能及时方便的对门板进行更换,使得设备不能正常进行工作问题,而提出的一种机器自动安全门装置。为了实现上述目的,本技术 ...
【技术保护点】
1.一种机器自动安全门装置,包括支撑台(1),其特征在于,所述支撑台(1)的上端固定连接有加工罩(2),所述加工罩(2)的侧壁上开设有取放窗,所述取放窗的侧壁上对称开设有第一滑槽与第二滑槽,所述第一滑槽与第二滑槽内共同滑动连接有门板(3),所述加工罩(2)的上端固定连接有安装块(7),所述安装块(7)的侧壁上通过螺栓固定连接有气缸(6),且气缸(6)的驱动端与门板(3)的上端固定连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种机器自动安全门装置,包括支撑台(1),其特征在于,所述支撑台(1)的上端固定连接有加工罩(2),所述加工罩(2)的侧壁上开设有取放窗,所述取放窗的侧壁上对称开设有第一滑槽与第二滑槽,所述第一滑槽与第二滑槽内共同滑动连接有门板(3),所述加工罩(2)的上端固定连接有安装块(7),所述安装块(7)的侧壁上通过螺栓固定连接有气缸(6),且气缸(6)的驱动端与门板(3)的上端固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种机器自动安全门装置,其特征在于,所述第一滑槽与第二滑槽内分别滑动连接有第一滑板(4)与第二滑板(9),所述第二滑板(9)的一侧开设有安装槽,所述安装槽内滑动连接有卡板(10),且门板(3)卡合在第一滑板(4)与卡板(10)之间,所述卡板(10)与第二滑板(9...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙梦园,
申请(专利权)人:合肥新汇成微电子有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽;34
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