一种弯折状态下具有电阻补偿功能的电阻式柔性气体传感器及其制备方法技术

本发明专利技术涉及传感器领域，公开了一种弯折状态下具有电阻补偿功能的电阻式柔性气体传感器及其制备方法，该传感器包括绝缘柔性衬底，绝缘柔性衬底的上表面和下表面上分别设有至少一个传感单元；每个所述传感单元包括一对电极以及设于电极之间的气体敏感材料薄膜，所述电极和气体敏感材料薄膜均设于绝缘柔性衬底表面。本发明专利技术在柔性材料上下两个表面设置电极与气体敏感材料薄膜(即传感单元)，弯折形变时，这两个传感单元受到相反的应变作用，产生相反的电阻值变化，从而起到补偿应变引起的电阻变化的作用。相对于目前基于材料或器件结构设计而获得的应变“免疫”，这种弯折应变导致电阻变化的补偿方法能在更具有普适性，更加简便易行，成本更低。

Resistance type flexible gas sensor with resistance compensation function in bending state and its preparation method

【技术实现步骤摘要】
一种弯折状态下具有电阻补偿功能的电阻式柔性气体传感器及其制备方法
本专利技术涉及传感器领域，尤其涉及一种弯折状态下具有电阻补偿功能的电阻式柔性气体传感器及其制备方法。
技术介绍
柔性电子器件是近年来兴起的热点研究领域。电阻式柔性器件，特别是柔性传感器，可大量应用于智能机器人、可穿戴及无人设备等。柔性电子器件一般是构筑在柔性/可延性基板上的。相对于传统电子，柔性电子具有更大的灵活性，能够在一定程度上适应不同的工作环境，满足设备的形变要求。但是相应的技术要求同样制约了柔性电子的发展。其中很重要的一点是，柔性电子在不损坏本身电子性能的基础上的伸展性和弯曲性，对电路的制作材料提出了新的挑战和要求。具体地讲，以电阻式柔性传感器为例，敏感材料以薄膜形式附着于柔性基材表面，当器件受外力而弯曲时，敏感材料的电阻值难免会随之发生变化，这种变化无疑会对处于工作状态的传感器造成干扰。解决这一问题的方法之一是开发具备一定应变“免疫”功能的敏感材料。例如，TakaoSomeya研究团队制备了一种超薄的电阻型压力传感器，其对器件的弯曲形变几乎“免疫”不会产本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弯折状态下具有电阻补偿功能的电阻式柔性气体传感器，包括绝缘柔性衬底，其特征在于：所述绝缘柔性衬底的上表面和下表面上分别设有至少一个传感单元；每个所述传感单元包括一对电极以及设于电极之间的气体敏感材料薄膜，所述电极和气体敏感材料薄膜均设于绝缘柔性衬底表面。/n

【技术特征摘要】
1.一种弯折状态下具有电阻补偿功能的电阻式柔性气体传感器，包括绝缘柔性衬底，其特征在于：所述绝缘柔性衬底的上表面和下表面上分别设有至少一个传感单元；每个所述传感单元包括一对电极以及设于电极之间的气体敏感材料薄膜，所述电极和气体敏感材料薄膜均设于绝缘柔性衬底表面。


2.如权利要求1所述的电阻式柔性气体传感器，其特征在于，位于绝缘柔性衬底上表面和下表面的气体敏感材料薄膜在形状、尺寸和材质上相同或不相同。


3.如权利要求1或2所述的电阻式柔性气体传感器，其特征在于，位于绝缘柔性衬底上表面和下表面的电极在形状、尺寸和材质上相同或不相同。


4.如权利要求1所述的电阻式柔性气体传感器，其特征在于，所述气体敏感材料薄膜的原料包括Pd、Ag、SnO2、ZnO、碳纳米管、石墨烯、MoS2、聚吡咯和聚(3,4-乙烯二氧噻吩)中的一种或多种。


5.如权利要求1所述的电阻式柔性气体传感器，其特征在于，所述导...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡军，谢波，王一涛，韩芳，
申请(专利权)人：杭州市富阳区浙工大银湖创新创业研究院，浙江固微科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33