含氟弹性共聚物及其制造方法、含氟弹性共聚物组合物以及交联橡胶物品技术

提供金属元素的含量少、交联性优异的含氟弹性共聚物。一种含氟弹性共聚物，其具有碘原子，并且具有如下单元：单元a，其为基于四氟乙烯的单元；单元b，其为基于具有1个聚合性不饱和键的单体(其中，不包括四氟乙烯。)的单元；及单元c，其为基于具有2个以上聚合性不饱和键的含氟单体的单元，所述含氟弹性共聚物的金属含量为0.3质量ppm以上且20.0ppm以下。

Fluoroelastomer and its manufacturing method, fluoroelastomer composition and cross-linked rubber articles

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】含氟弹性共聚物及其制造方法、含氟弹性共聚物组合物以及交联橡胶物品
本专利技术涉及含氟弹性共聚物及其制造方法、包含前述含氟弹性共聚物的含氟弹性共聚物组合物、以及将前述含氟弹性共聚物或前述含氟弹性共聚物组合物交联而成的交联橡胶物品。
技术介绍
将含氟弹性共聚物交联而成的交联橡胶物品由于耐化学药品性、耐溶剂性、耐热性等优异，因此适合作为在严苛的环境下使用的半导体制造装置用密封材料。对于半导体制造装置用密封材料要求尽可能不释放对半导体制品产生影响的金属成分。因此，半导体制造装置用密封材料需要使用金属元素的含量少的材料。作为金属元素的含量少的含氟弹性共聚物，提出下述方案。一种含氟弹性共聚物，其是如下得到的：通过未使用金属化合物的乳液聚合法得到包含含氟弹性共聚物的胶乳，使用不含金属元素的酸使胶乳中的含氟弹性共聚物凝聚，用非水溶性溶剂对凝聚了的含氟弹性共聚物进行清洗从而得到(专利文献1)。专利文献1中，TFE(四氟乙烯)和CF3CF2CF2O(CF(CF3)CF2O)2CF＝CF2所示的PNVE和ICH2CF2CF2OCF＝C本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种含氟弹性共聚物，其具有碘原子，并且具有如下单元：单元a，其为基于四氟乙烯的单元；单元b，其为基于具有1个聚合性不饱和键的单体的单元，所述具有1个聚合性不饱和键的单体不包括四氟乙烯；及单元c，其为基于具有2个以上聚合性不饱和键的含氟单体的单元，所述含氟弹性共聚物的金属含量为0.3质量ppm以上且20.0ppm以下。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170627 JP 2017-1248901.一种含氟弹性共聚物，其具有碘原子，并且具有如下单元：单元a，其为基于四氟乙烯的单元；单元b，其为基于具有1个聚合性不饱和键的单体的单元，所述具有1个聚合性不饱和键的单体不包括四氟乙烯；及单元c，其为基于具有2个以上聚合性不饱和键的含氟单体的单元，所述含氟弹性共聚物的金属含量为0.3质量ppm以上且20.0ppm以下。


2.根据权利要求1所述的含氟弹性共聚物，其中，所述单元b为选自基于下述式(1)所示的化合物的单元、基于下述式(2)所示的化合物的单元、基于乙烯的单元及基于丙烯的单元中的至少一种，
CF2＝CFORf1(1)
式(1)中，Rf1为碳数1～10的全氟烷基，
CF2＝CF(OCF2CF2)n-(OCF2)m-ORf2(2)
式(2)中，Rf2为碳数1～4的全氟烷基，n为0～3的整数，m为0～4的整数，n+m为1～7的整数。


3.根据权利要求2所述的含氟弹性共聚物，其中，所述单元b为选自基于Rf1的碳数为1～3的所述式(1)所示的化合物的单元、基于所述式(2)所示的化合物的单元、及基于丙烯的单元中的至少一种，所述式(2)所示的化合物为下述式所示的任意化合物，
CF2＝CF-OCF2CF2-OCF2-OCF2-OCF2-OCF2-OCF3
CF2＝CF-OCF2CF2-OCF2-OCF2-OCF3
CF2＝CF-OCF2CF2-OCF2CF2-OCF2CF3。

【专利技术属性】
技术研发人员：服部裕纪子，巨势丈裕，
申请(专利权)人：AGC株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP