使用面镜及/或棱镜的激光重复率倍增器及平顶射束轮廓产生器制造技术

本申请涉及一种使用面镜及/或棱镜的激光重复率倍增器及平顶射束轮廓产生器。一种重复率(脉冲)倍增器包含一或多个射束分裂器及棱镜，从而形成具有延迟每一脉冲的能量的部分的不同光学路径长度的一或多个环形腔。一系列输入激光脉冲在所述环形腔中循环且每一脉冲的所述能量的部分在横穿较短腔路径之后离开系统，而所述能量的另一部分在横穿较长腔路径及/或两个腔路径的组合之后离开所述系统。通过所述环形腔光学路径长度的适当选择，输出系列的激光脉冲的所述重复率可变为输入重复率的倍数。可通过选择所述射束分裂器的透射及反射系数来控制所述输出脉冲的相对能量。一些实施例产生基本上在一个维度上平坦的时间平均输出射束轮廓。

Laser repetition rate multiplier and flat top beam profile generator using mirrors and / or prisms

【技术实现步骤摘要】
使用面镜及/或棱镜的激光重复率倍增器及平顶射束轮廓产生器本申请是申请日为2015年6月18日，申请号为“201580027977.5”，而专利技术名称为“使用面镜及/或棱镜的激光重复率倍增器及平顶射束轮廓产生器”的专利技术专利申请的分案申请。相关申请案本申请案主张2014年6月20日申请的标题为“使用棱镜的激光脉冲倍增(LaserPulseMultiplicationUsingPrisms)”的第62/015,01号美国临时专利申请案的优先权，且所述案以引用的方式并入本文中。本申请案还主张2014年8月18日申请的标题为“激光重复率倍增器及平顶射束轮廓产生器(LaserRepetitionRateMultiplierandFlat-TopBeamProfileGenerators)”的第62/038,471号美国临时专利申请案的优先权，且所述案以引用的方式并入本文中。此申请案涉及Chuang等人在2012年6月1日申请的标题为“使用激光脉冲倍增器的半导体检验及计量系统(SemiconductorInspectionAndMetrology本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光脉冲重复率倍增器，其用于接收输入激光脉冲且用于产生输出脉冲，所述输出脉冲具有多于两倍的所述输入激光脉冲的重复率的输出脉冲重复率，所述激光脉冲重复率倍增器包括：/n赫里奥特池，其包含形成光学腔的第一曲面镜和第二曲面镜、第一射束分裂器和第二射束分裂器及至少两个折叠面镜，以及定位在所述光学腔外部的直角棱镜，所述赫里奥特池经配置以使得每一所述输入脉冲的部分沿所述光学腔内部的主腔回路传输，随后传递到所述直角棱镜，随后在作为所产生的所述输出脉冲中的一者离开所述光学腔之前沿所述光学腔内部的次腔回路传输，/n其中所述两个曲面镜具有约等于所述输入激光脉冲之间的空间分离的四分之一的奇整数倍的曲率半径，...

【技术特征摘要】
20140620 US 62/015,016;20140818 US 62/038,471;20151.一种激光脉冲重复率倍增器，其用于接收输入激光脉冲且用于产生输出脉冲，所述输出脉冲具有多于两倍的所述输入激光脉冲的重复率的输出脉冲重复率，所述激光脉冲重复率倍增器包括：
赫里奥特池，其包含形成光学腔的第一曲面镜和第二曲面镜、第一射束分裂器和第二射束分裂器及至少两个折叠面镜，以及定位在所述光学腔外部的直角棱镜，所述赫里奥特池经配置以使得每一所述输入脉冲的部分沿所述光学腔内部的主腔回路传输，随后传递到所述直角棱镜，随后在作为所产生的所述输出脉冲中的一者离开所述光学腔之前沿所述光学腔内部的次腔回路传输，
其中所述两个曲面镜具有约等于所述输入激光脉冲之间的空间分离的四分之一的奇整数倍的曲率半径，且
其中所述两个曲面镜具有共同曲率半径，且分开实质上等于所述曲率半径的距离。


2.根据权利要求1所述的激光脉冲重复率倍增器，其中所述赫里奥特池经配置以使得所述输出脉冲重复率是所述原始输入脉冲的重复率的四倍。


3.根据权利要求1所述的激光脉冲重复率倍增器，
其中所述赫里奥特池经配置以使得每一所述输入激光脉冲的至少一部分由所述第一射束分裂器引导以使得当其在所述主腔回路上时由所述第一曲面镜和第二曲面镜的第一部分反射，且由所述第二射束分裂器引导以使得当其在所述次腔回路上时由所述第一曲面镜和第二曲面镜的第二部分反射，
其中所述赫里奥特池还包括安置于所述主腔回路中的棱镜，且
其中所述棱镜、所述至少两个折叠面镜以及所述直角棱镜中的一者经配置以将来自所述主腔回路的激光脉冲转向到所述次腔回路中。


4.根据权利要求3所述的激光脉冲重复率倍增器，其中所述赫里奥特池经配置以使得所述主腔回路位于不同于所述次腔回路的平面中。


5.根据权利要求4所述的激光脉冲重复率倍增器，其中所述第一射束分裂器接收所述输入激光脉冲且将每一所述输入激光脉冲的能量的约三分之二反射到所述主腔回路中。


6.根据权利要求1所述的激光脉冲重复率倍增器，其中第二射束分裂器具有约三分之一的反射率。


7.根据权利要求1所述的激光脉冲重复率倍增器，其中所述赫里奥特池经配置以使得：
每一所述输入激光脉冲被引导到所述第一射束分裂器上；
所述第一射束分裂器经配置以引导所述每一输入激光脉冲的至少第一部分以使得当所述第一部分在所述主腔回路上时由第一平面中的所述第一曲面镜和第二曲面镜反射，且随后经引导朝向所述直角...

【专利技术属性】
技术研发人员：勇霍·亚历克斯·庄，贾斯汀·典桓·刘，陆晓旭，J·约瑟夫·阿姆斯特朗，邓宇俊，约翰·费尔登，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US