一种自动矫正激光标刻位置的方法技术

本发明专利技术提供一种自动矫正激光标刻位置的方法，包括：提供标刻模板；按照标刻模板进行标刻试验，获得标刻试样；图像采集系统采集试验结果；试验结果与标刻模板比较得到偏离值；依据偏离值进行标刻；其中，标刻模板包括n个标刻内容的坐标x1、y1，x2、y2，……，xn、yn，其中n为大于或等于1的自然数；试验结果为n个标刻内容的实际标刻坐标x1＇、y1＇，x2＇、y2＇，……，xn＇、yn＇；偏离值为△x1、△y1，△x2、△y2，……，△xn、△yn，△x1＝x1‑x1＇，△y1＝y1‑y1＇，△x2＝x2‑x2＇，△y2＝y2‑y2＇，……，△xn＝xn‑xn＇，△yn＝yn‑yn＇。利用本发明专利技术的激光标刻方法进行标刻，得到的标刻结果精度较高，无需后期调整，标刻效率较高。

A method of automatically correcting laser marking position

【技术实现步骤摘要】
一种自动矫正激光标刻位置的方法
本专利技术涉及激光标刻
，更具体地，本专利技术涉及一种自动矫正激光标刻位置的方法。
技术介绍
微电子行业，激光标刻的应用越来越广泛，标刻精度要求越来越高。激光标刻设备使用的光学镜头存在球差失真，这是透镜的固有特性，无法消除，激光入射到透镜聚焦后，落在工作平面上会产生畸变差。通常，需要对标刻内容(模板)进行矫正，以便减小或消除畸变差，满足标刻精度要求。普遍采用的标刻矫正方法有两种。一种是确定某一标刻高度和标刻范围，制作相应的矫正文件，利用矫正文件矫正畸变。该方法的缺点是只适用于固定标刻高度和范围的情况，实际应用中各型号产品的高度和尺寸不可能保持一致，因此矫正文件的通用性差。而且矫正文件的制作需要专业人员使用高精度测量仪器和专用工具，矫正文件制作成本高，实际生产也无法承受这样的高成本。另一种方法是所有产品采用同一个矫正文件，在标刻软件中将标刻内容按照实际标刻的位置进行调整，但这种操作需要逐个进行调整，而且需要反复多次观察后再调整，效率极低。因此，有必要对现有激光标刻的矫正方法进行改进，以提高激光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动矫正激光标刻位置的方法，其特征在于，包括：/n提供标刻模板；/n控制激光标刻系统按照标刻模板进行标刻试验，获得标刻试样；/n图像采集系统对标刻试样进行采集，获得试验结果；/n将试验结果与标刻模板进行比较，获得偏离值；/n控制激光标刻系统依据偏离值进行标刻；/n其中，所述的标刻模板包括n个标刻内容的坐标x1、y1，x2、y2，……，xn、yn，其中n为大于或等于1的自然数；/n所述试验结果为n个标刻内容的实际标刻坐标x1＇、y1＇，x2＇、y2＇，……，xn＇、yn＇；/n所述偏离值为△x1、△y1，△x2、△y2，……，△xn、△yn，所述的△x1＝x1-x1＇，△y1＝y1-y1...

【技术特征摘要】
1.一种自动矫正激光标刻位置的方法，其特征在于，包括：
提供标刻模板；
控制激光标刻系统按照标刻模板进行标刻试验，获得标刻试样；
图像采集系统对标刻试样进行采集，获得试验结果；
将试验结果与标刻模板进行比较，获得偏离值；
控制激光标刻系统依据偏离值进行标刻；
其中，所述的标刻模板包括n个标刻内容的坐标x1、y1，x2、y2，……，xn、yn，其中n为大于或等于1的自然数；
所述试验结果为n个标刻内容的实际标刻坐标x1＇、y1＇，x2＇、y2＇，……，xn＇、yn＇；
所述偏离值为△x1、△y1，△x2、△y2，……，△xn、△yn，所述的△x1＝x1-x1＇，△y1＝y1-y1＇，△x2＝x2-x2＇，△y2＝y2-y2＇，……，△xn＝xn-xn＇，△yn＝yn-yn＇。


2.根据权利要求1所述的自动矫正激光标刻位置的方法，其特征在于，控制所述激光标刻系统按照矫正模板进行标刻，所述矫正模板为n个标刻内容的标刻坐标x1+k*△x1，y1+k*△y1，x2+k*△x2，y2+k*△y2，……，xn+k*△xn，yn+k*△yn，其中k为误差系数。


3.根据权利要求2所述的自动矫正激光标刻位置的方法，其特征在于，所述误差系数k为1-...

【专利技术属性】
技术研发人员：李国华，林敬刚，冯春光，
申请(专利权)人：歌尔股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37