一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器制造技术

本发明专利技术属于可调滤波器技术领域，具体涉及一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器，包括衬底，所述衬底上固定有两个镜像设置的单刀多掷开关，所述单刀多掷开关包括一个输入端和至少两个输出端，所述单刀多掷开关的输入端连接有输入信号线，两个单刀多掷开关的输出端之间设置有交指型滤波器，所述单刀多掷开关的输出端与交指型滤波器之间通过输出信号线连接，所述输入信号线和输出信号线的两侧设有地线。本发明专利技术可减小整体系统尺寸，降低开关功耗，具有高Q值、低插损、低功耗、高线性度、易集成等优点。在0‑20GHz的范围内，有着优越的实用性。本发明专利技术可实现DC‑20GHz的多通道选通，实现了MEMS开关与滤波器的高度集成。本发明专利技术用于不同频率的滤波。

A multi-channel interdigital tunable filter based on MEMS switch

【技术实现步骤摘要】
一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器
本专利技术属于可调滤波器
，具体涉及一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器。
技术介绍
多通道可调滤波器是一类可过滤杂散或无用信号以及具有选频作用的重要电子元器件，在实现信道选择、镜像抑制、双工、多通道通讯等方面有着重要的意义。与传统带通滤波器相比，它可减小整体系统尺寸，降低开关功耗，具有高Q值、低插损、低功耗、高线性度、易集成等优点。它可以广泛应用在通信系统、仪器设备、雷达及武器装备中。目前国内对多通道可调滤波器开展研究的机构主要有南京电子器件研究所、中电五十四所、武汉大学、中北大学等。例如中国电子科技集团公司第五十四研究所设计了一种C波段多通道带通滤波器（申请号：201320615572.1），此滤波器包括盒体、腔体以及设在腔体中的多个滤波器等结构组成，滤波器与两个开关电路相连接，通过开关控制频率实现多通道带通滤波器。南京电子器件研究所设计了一款片上集成三通道MEMS开关滤波器，此滤波器由两个单刀多掷开关和三个不同频率的滤波器组成。但这两种多通道滤波器存在结构复杂、插损差、体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器，其特征在于：包括衬底（1），所述衬底（1）上固定有两个镜像设置的单刀多掷开关（2），所述单刀多掷开关（2）包括一个输入端（2-1）和至少两个输出端（2-2），所述单刀多掷开关（2）的输入端（2-1）连接有输入信号线（4），两个单刀多掷开关（2）的输出端（2-2）之间设置有交指型滤波器（3），所述单刀多掷开关（2）的输出端（2-2）与交指型滤波器（3）之间通过输出信号线（5）连接，所述输入信号线（4）和输出信号线（5）的两侧设有地线（6）。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器，其特征在于：包括衬底（1），所述衬底（1）上固定有两个镜像设置的单刀多掷开关（2），所述单刀多掷开关（2）包括一个输入端（2-1）和至少两个输出端（2-2），所述单刀多掷开关（2）的输入端（2-1）连接有输入信号线（4），两个单刀多掷开关（2）的输出端（2-2）之间设置有交指型滤波器（3），所述单刀多掷开关（2）的输出端（2-2）与交指型滤波器（3）之间通过输出信号线（5）连接，所述输入信号线（4）和输出信号线（5）的两侧设有地线（6）。


2.根据权利要求1所述的一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器，其特征在于：所述单刀多掷开关（2）的输出端（2-2）上固定有锚点（2-3），所述锚点（2-3）上固定连接在悬臂桥（2-4）的一端，所述输出信号线（5）靠近输出端（2-2）的一端上固定有触点（2-5），所述悬臂桥（2-4）的另一端悬在触点（2-5）的正上方。


3.根据权利要求2所述的一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器，其特征在于：所述悬臂桥（2-4）的正下方设置有驱动电极（2-6），所述驱动电极（2-6）连接有引线（2-7）。


4.根据权利要求2所述的一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器，其特征在于：所述悬臂桥（2-4）上设置有释放孔（2-8）阵列，所述释放孔（2-8）阵列为1-5排、3-10列，所述释放孔（2-8）直径大小为8-15μm，两个相近释放孔（2-8）之间的距离为15-25μm。


5.根据权利要求3所述的一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器，其特征在于：所述驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴倩楠，韩路路，李孟委，李强，王姗姗，张世义，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：山西;14