基板处理装置及基板处理方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够将多个基板在装置间统一搬运并在依次处理部及同时处理部适当地进行搬运及处理的基板处理装置。基板处理装置具有接受部、依次处理部、同时处理部和控制部。接受部接受附加有包括识别信息、位置信息和工艺信息的整体基板数据的多个基板。依次处理部依次搬运并处理多个基板(W)。同时处理部同时处理多个基板。控制部根据整体基板数据生成多个基板的每一个基板固有的个别基板数据，并根据个别基板数据控制依次处理部对多个基板的每一个基板的搬运及处理，当经依次处理部处理后的多个基板聚齐在出口位置时，根据个别基板数据生成整体基板数据，并根据整体基板数据控制所述同时处理部对所述多个基板的搬运及处理。

Substrate treatment device and substrate treatment method

【技术实现步骤摘要】
基板处理装置及基板处理方法
本专利技术涉及一种基板处理装置及基板处理方法。
技术介绍
已知具有多个处理装置的涂布机/显影装置。例如，在专利文献1所记载的涂布机/显影装置中，从分度器部所承载的盒中取出的多个基板被按顺序投入清洗装置，然后，依次经过脱水焙烧装置、抗蚀剂涂敷装置、预焙烧装置、曝光装置、显影装置以及后焙烧装置，再次收纳于盒中。该涂布机/显影装置中混用下面两个类型的处理装置，即，混用依次处理装置和可变搬运型处理装置。向该依次处理装置逐枚地搬入基板。依次处理装置将这些基板依次地向一个方向搬运并对基板逐枚地进行处理。作为该依次处理装置，可例示出清洗装置及显影装置。同样，向可变搬运型处理装置逐枚地搬入基板。可变搬运型处理装置具有多个处理部和向该多个处理部搬运基板的基板搬运单元。基板搬运单元具有接收基板的手部和使该手部向各个处理部移动的移动机构。该基板搬运单元从上游侧的装置逐枚地接收基板并将基板传递给处理部。另外，基板搬运单元也能够在处理部之间搬运基板。作为该可变搬运型处理装置，例如，可例示出脱水焙烧装置。在该脱水焙烧装置中，作为本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板处理装置，其中，具有：/n接受部，接受附加有整体基板数据的多个基板，所述整体基板数据包括用于识别多个基板的固有的识别信息、表示所述多个基板的在搬运方向上的位置关系的位置信息和用于规定处理内容的所述多个基板通用的工艺信息；/n依次处理部，依次搬运并处理所述多个基板；/n同时处理部，同时处理所述多个基板；以及/n控制部，/n所述控制部根据所述整体基板数据生成作为所述多个基板的每一个基板固有的数据的个别基板数据，所述个别基板数据包括所述识别信息、所述位置信息及所述工艺信息，/n所述控制部根据所述个别基板数据，控制所述依次处理部中的对所述多个基板的每一个基板的搬运及处理，/n当经所述依次处...

【技术特征摘要】
20180725 JP 2018-1390151.一种基板处理装置，其中，具有：
接受部，接受附加有整体基板数据的多个基板，所述整体基板数据包括用于识别多个基板的固有的识别信息、表示所述多个基板的在搬运方向上的位置关系的位置信息和用于规定处理内容的所述多个基板通用的工艺信息；
依次处理部，依次搬运并处理所述多个基板；
同时处理部，同时处理所述多个基板；以及
控制部，
所述控制部根据所述整体基板数据生成作为所述多个基板的每一个基板固有的数据的个别基板数据，所述个别基板数据包括所述识别信息、所述位置信息及所述工艺信息，
所述控制部根据所述个别基板数据，控制所述依次处理部中的对所述多个基板的每一个基板的搬运及处理，
当经所述依次处理部处理后的多个基板聚齐在出口位置时，所述控制部根据所述个别基板数据生成所述整体基板数据，
所述控制部根据所述整体基板数据控制所述同时处理部中的所述多个基板的搬运及处理。


2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，
当在所述依次处理部中针对所述多个基板中的一个基板发生错误时，所述控制部针对所述多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：福原文人，三林武，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本;JP