真空机台内发光材料废料量检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种真空机台内发光材料废料量检测装置，所述检测装置设置在机台内，包括能够激发发光材料发光的发光源，及能够监控发光材料发光的图像接收装置，所述图像接收装置将机台内残余发光材料的信息以图片形式传送至图像分析终端，经灰阶分析判断是否需要对腔体进行开腔清理，避免了频繁开腔影响机台稼动率及密封性能的问题。

Measuring device for waste amount of luminescent materials in vacuum machine

【技术实现步骤摘要】
真空机台内发光材料废料量检测装置
本专利技术涉及显示面板制造领域，尤其涉及一种真空机台内发光材料废料量检测装置。
技术介绍
显示技术的发展，使显示装置从阴极射线管显示装置不断发展为液晶显示装置、柔性显示装置，为更好的适应市场需求，降低生产成本，利用喷墨打印法制备取向层、彩色滤光片、发光材料等以替代现有的蒸镀等制备方法，在降低生产成本的同时，可提高对材料的利用效率，且喷墨打印法具有工艺简单的优势，将其应用到柔性显示装置的制备流程中，将有助于扩大柔性显示装置的产量。在喷墨打印法中，材料多以混合溶液的形式被制备在基材表面，此后还需经过预干燥和后干燥制程得到要制备的膜层。但在这个过程中，往往会配合溶剂蒸发过程，以辅助膜层的制备，此时，微量的溶剂就会转变为蒸汽，并以蒸汽的形式附着在腔体内，在后续进行抽真空或加热干燥后，这些附着于腔体内的溶剂又会不断的积累，长此以往，就可能滴落在被加工器件的表面，对被加工器件造成污染，影响正常的制程工序。因此，在溶剂累积到一定程度后就需要对机台进行清洗，以保证器件性能。但是在密闭腔室内衡量溶剂是否已经累计至本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.真空机台内发光材料废料量检测装置，其特征在于，所述机台包括一密闭的腔体，所述检测装置包括设置于所述腔体内的至少一个发光源，以及至少一个图像接收装置；/n所述发光源用于激发所述腔体内的残余发光材料发光；/n所述图像接收装置用于采集所述残余发光材料发出的光信号，并将其转变为图像信号传送至所述腔体外部的图像分析终端；/n其中，所述图像分析终端对所采集的图像的灰阶信息进行分析，检测出所述发光材料的废料量。/n

【技术特征摘要】
1.真空机台内发光材料废料量检测装置，其特征在于，所述机台包括一密闭的腔体，所述检测装置包括设置于所述腔体内的至少一个发光源，以及至少一个图像接收装置；
所述发光源用于激发所述腔体内的残余发光材料发光；
所述图像接收装置用于采集所述残余发光材料发出的光信号，并将其转变为图像信号传送至所述腔体外部的图像分析终端；
其中，所述图像分析终端对所采集的图像的灰阶信息进行分析，检测出所述发光材料的废料量。


2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述图像接收装置与所述发光源相对设置，且位于可监控所述残余发光材料发光的位置处。


3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述发光源为紫外灯，所述紫外灯的照射波长为270nm～380nm。


4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述紫外灯的照射波长为300nm～375nm。


5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述图像接...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋媛媛，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44