一种用于端面加工的真空腔体制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于端面加工的真空腔体。所述用于端面加工的真空腔体，包括底座，所述底座的顶部固定连接有爪盘体，所述爪盘体开设有滑槽，所述滑槽的两侧之间滑动连接有滑块，所述滑块的顶部固定连接有滑板，所述滑板的顶部设置有卡爪，所述滑板的外壁贴合设置有抵紧环，所述抵紧环的一侧贴合设置有限位块，所述限位块的底部与滑板的顶部贴合设置，所述限位块的顶部开设有插孔，所述插孔的内壁固定连接有卡环，所述限位块的一侧开设有连接孔，所述连接孔与插孔相连通。本实用新型专利技术提供的用于端面加工的真空腔体无需工人手工翻转缸体，便于操作，从而提升了加工效率，同时该装置结构简单，设计合理，整体通过螺栓连接，便于拆卸，从而方便对其进行维修。

A kind of vacuum cavity for end face machining

【技术实现步骤摘要】
一种用于端面加工的真空腔体
本技术涉及端面加工领域，尤其涉及一种用于端面加工的真空腔体。
技术介绍
这种真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的，而晶圆容量几乎不变。这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。产品的特点有改善的机台定位的静态、动态响应，抽气时间、稳定时间缩短等等。现有技术的用于端面加工的真空腔体，在进行不同端面加工时需要手动更换工件方向，将待加工的端面露出，操作步骤较多，造成了加工效率降低。因此，有必要提供一种用于端面加工的真空腔体解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术提供一种用于端面加工的真空腔体，解决了现有技术的用于端面加工的真空腔体操作步骤较多的问题。为解决上述技术问题，本技术提供的一种用于端面加工的真空腔体，包括底座，所述底座的顶部固定连接有爪盘体，所述爪盘体开设有滑槽，所述滑槽的两侧之间滑动连接有滑块，所述滑块的顶部固定连接有滑板，所述滑板的顶部设置有卡爪，所述滑板的外壁贴合设置有抵紧环，所述抵紧环的一侧贴合设置有限位块，所述限位块的底部与本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于端面加工的真空腔体，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的顶部固定连接有爪盘体（2），所述爪盘体（2）开设有滑槽（3），所述滑槽（3）的两侧之间滑动连接有滑块（4），所述滑块（4）的顶部固定连接有滑板（5），所述滑板（5）的顶部设置有卡爪（6），所述滑板（5）的外壁贴合设置有抵紧环（7），所述抵紧环（7）的一侧贴合设置有限位块（8），所述限位块（8）的底部与滑板（5）的顶部贴合设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于端面加工的真空腔体，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的顶部固定连接有爪盘体（2），所述爪盘体（2）开设有滑槽（3），所述滑槽（3）的两侧之间滑动连接有滑块（4），所述滑块（4）的顶部固定连接有滑板（5），所述滑板（5）的顶部设置有卡爪（6），所述滑板（5）的外壁贴合设置有抵紧环（7），所述抵紧环（7）的一侧贴合设置有限位块（8），所述限位块（8）的底部与滑板（5）的顶部贴合设置。


2.根据权利要求1所述的用于端面加工的真空腔体，其特征在于，所述限位块（8）的顶部开设有插孔（9），所述插孔（9）的内壁固定连接有卡环（10）。


3.根据权利要求2所述的用...

【专利技术属性】
技术研发人员：张孝锋，梅强，韩胜博，
申请(专利权)人：杭州川宙精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33