一种扩束镜装置及激光设备制造方法及图纸

技术编号:23309520 阅读:66 留言:0更新日期:2020-02-11 16:27
本实用新型专利技术提供了一种扩束镜装置及激光设备,其中,扩束镜装置包括扩束镜,第一反射镜和第二反射镜,入射光依次经所述第一反射镜的反射和所述第二反射镜的反射,然后进入所述扩束镜;所述第一反射镜在第一平面上为可调节的,用于调节经所述第一反射镜反射产生的第一反射光的出射方向;所述第二反射镜在第二平面上为可调节的,用于调节经所述第二反射镜反射产生的第二反射光的出射方向;所述第一平面与所述第二平面相互垂直。本方案通过第一反射镜和第二反射镜分别在两个维度对激光的出射方向进行调整,从而实现对激光进行4个维度的调整,使激光的光轴与扩束镜能够保持同轴。本方案中,扩束镜固定安装,无调节量,结构紧凑。

A beam expander and laser equipment

【技术实现步骤摘要】
一种扩束镜装置及激光设备
本技术属于激光设备领域,尤其涉及一种扩束镜装置及激光设备。
技术介绍
激光加工设备,通常需要对光路进行调整,调整的原则是要光路中的每个器件达到一定要求的光学同轴度。扩束镜作为光路中的辅助器件,起到增大光束直径、调节聚焦光斑尺寸的作用,如果各器件的轴线与激光光束轴线偏差过大会造成经过扩束后的激光光束能量沿轴心分布不均匀,降低加工效率。现有的扩束镜的准直调节方式,主要是通过增加一个四维调节装置来调节扩束镜的位置,使光束轴线与扩束镜保持较高的同轴度,扩束镜的位置是可调节的。但是随着激光加工设备的日益小型化,激光加工设备中,扩束镜处没有足够的空间安放扩束镜四维调节装置,此外,由于与扩束镜上存在可调节部件,稳定性较差。因此,现有技术还有待改进。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于提供一种扩束镜装置及激光设备,旨在解决现有的小型激光加工设备没有足够的空间来设置四维调节装置以及稳定性差的问题。为解决上述技术问题,本技术是这样实现的,一种扩束镜装置,包括扩束镜、第一反射镜和第二反射镜,入本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩束镜装置,包括扩束镜,其特征在于,还包括第一反射镜和第二反射镜,入射光依次经所述第一反射镜的反射和所述第二反射镜的反射,然后进入所述扩束镜;/n所述第一反射镜在第一平面上为可调节的,用于调节经所述第一反射镜反射产生的第一反射光的出射方向;/n所述第二反射镜在第二平面上为可调节的,用于调节经所述第二反射镜反射产生的第二反射光的出射方向;/n所述第一平面与所述第二平面相互垂直。/n

【技术特征摘要】
1.一种扩束镜装置,包括扩束镜,其特征在于,还包括第一反射镜和第二反射镜,入射光依次经所述第一反射镜的反射和所述第二反射镜的反射,然后进入所述扩束镜;
所述第一反射镜在第一平面上为可调节的,用于调节经所述第一反射镜反射产生的第一反射光的出射方向;
所述第二反射镜在第二平面上为可调节的,用于调节经所述第二反射镜反射产生的第二反射光的出射方向;
所述第一平面与所述第二平面相互垂直。


2.根据权利要求1所述的扩束镜装置,其特征在于,还包括位于所述第二反射镜和所述扩束镜之间的准直器,用于辅助调节和判断所述扩束镜与所述第二反射光的同轴度。


3.根据权利要求2所述的扩束镜装置,其特征在于,所述准直器包括镜筒,所述镜筒具有沿轴向贯穿的通光孔,所述镜筒的第一端与所述扩束镜连接,所述镜筒的第二端用于接收所述第二反射光。


4.根据权利要求3所述的扩束镜装置,其特征在于,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:梁宗森陈国栋吕洪杰翟学涛杨朝辉高云峰
申请(专利权)人:大族激光科技产业集团股份有限公司深圳市大族数控科技有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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